公开(公告)号：US06859748B1

公开(公告)日：2005-02-22

申请号：US10190420

申请日：2002-07-03

申请人： Nian Yang ,  Zhigang Wang ,  Tien-Chun Yang

发明人： Nian Yang ,  Zhigang Wang ,  Tien-Chun Yang

IPC分类号： H01L23/544 ,  G01R27/29 ,  G01S31/00

CPC分类号： H01L22/34

摘要： An apparatus for measuring effects of isolation processes (280) on an oxide layer (286) in a memory device (255) is described. In one embodiment, the apparatus comprises a structure (110) comprised of an array (110c) of memory devices (255). A testing unit (120) is coupled with the structure (110). The testing unit (120) is for performing various electrical tests on the array (110c) of memory devices (255). The testing unit (120) is also for providing data regarding each memory device (255) in the array (110c) of memory devices (255). An analyzer (120) is coupled with the structure (110) for analyzing results of the various electrical tests. This determines the condition of the oxide layer (286) of each memory device (255) in the array of memory devices (110c).

摘要翻译： 描述了用于测量隔离过程（280）对存储器件（255）中的氧化物层（286）的影响的装置。 在一个实施例中，该装置包括由存储器件（255）的阵列（110c）组成的结构（110）。 测试单元（120）与结构（110）耦合。 测试单元（120）用于在存储器件（255）的阵列（110c）上执行各种电测试。 测试单元（120）还用于提供关于存储器件（255）的阵列（110c）中的每个存储器件（255）的数据。 分析器（120）与结构（110）耦合，用于分析各种电气测试的结果。 这决定了存储器件阵列（110c）中每个存储器件（255）的氧化物层（286）的状态。

公开(公告)号：US06812514B1

公开(公告)日：2004-11-02

申请号：US10660420

申请日：2003-09-10

申请人： Nian Yang ,  Zhigang Wang ,  Hyeon-seag Kim

发明人： Nian Yang ,  Zhigang Wang ,  Hyeon-seag Kim

IPC分类号： H01L2976

CPC分类号： H01L29/66825 ,  H01L21/28273 ,  H01L27/115 ,  H01L29/42324

摘要： A floating gate flash memory device including a substrate including a source region, a drain region and a channel region positioned therebetween; a stack gate including a floating gate electrode, at least one of sidewall/spacers, second sidewalls or a barrier layer, in which the floating gate is positioned above the channel region. The floating gate may be separated from the channel region by one or more of a reverse tunnel dielectric layer, the barrier layer and a pad dielectric layer. The floating gate may be a metal floating gate.

摘要翻译： 一种浮栅闪存器件，包括：衬底，其包括源极区，漏极区和位于其间的沟道区; 包括浮置栅电极的堆叠栅极，侧壁/间隔物，第二侧壁或阻挡层中的至少一个，浮栅位于沟道区的上方。 浮栅可以通过反向隧道介电层，阻挡层和焊盘介电层中的一个或多个与沟道区分离。 浮动栅极可以是金属浮动栅极。

公开(公告)号：US06808945B1

公开(公告)日：2004-10-26

申请号：US10339536

申请日：2003-01-08

申请人： Zhigang Wang ,  Hsiao Han Thio ,  Nian Yang

发明人： Zhigang Wang ,  Hsiao Han Thio ,  Nian Yang

IPC分类号： G01R3126

CPC分类号： H01L22/34 ,  G11C16/04 ,  G11C29/006 ,  G11C29/50 ,  G11C2029/0403 ,  G11C2029/5002 ,  G11C2029/5006 ,  H01L21/28282

摘要： A method for testing tunnel oxide on a memory-related structure. In one method embodiment, the present invention accesses a memory-related structure during a manufacturing process. Next, the present embodiment applies a constant voltage to a gate of the memory-related structure. The present embodiment then measures a first gate current for the memory-related structure when the constant voltage is initially applied, to obtain a first value. Next, the present embodiment measures a second gate current for the memory-related structure a period of time after the constant voltage is initially applied to obtain a second value. A calculation of ratio of the second value to the first value is then performed. The present embodiment then generates a graph of the first value and the ratio of the second value to the first value as a function of time, wherein a decrease in the graph signifies stress induced electron trapping behavior of the tunnel oxide.

摘要翻译： 一种用于在存储器相关结构上测试隧道氧化物的方法。 在一个方法实施例中，本发明在制造过程中访问存储器相关结构。 接下来，本实施例对存储器相关结构的栅极施加恒定电压。 然后，本实施例在最初施加恒定电压时测量用于存储器相关结构的第一栅极电流，以获得第一值。 接下来，本实施例在初始施加恒定电压之后的一段时间内测量存储器相关结构的第二栅极电流，以获得第二值。 然后执行第二值与第一值的比率的计算。 本实施例然后产生第一值和第二值与第一值的比值作为时间的函数的曲线图，其中图形的减小表示隧道氧化物的应力诱导的电子捕获行为。

公开(公告)号：US06759295B1

公开(公告)日：2004-07-06

申请号：US10224737

申请日：2002-08-20

申请人： Tien-Chun Yang ,  Nian Yang ,  Zhigang Wang

发明人： Tien-Chun Yang ,  Nian Yang ,  Zhigang Wang

IPC分类号： H01I21336

CPC分类号： H01L22/34 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： A method of determining the active region width (10) of an active region (4) by measuring the respective gate currents (Ig,100, Ig,100′, Ig,100″) of respective composite capacitance structures (100, 100′, 100″), respectively comprising at least one capacitor element (16, 17, 18; 16′, 17′, 18″; 16″, 17″, 18″) having respective predetermined widths (Wi) for fabricating a flash memory semiconductor device, and a device thereby fabricated. The present method also comprises plotting the respective gate currents (Ig,100, Ig,100 ′, Ig,100″) as a quasi-linear function (IW) of the respective predetermined widths (Wi), extrapolating a calibration term (WI=0) from the quasi-linear function (IW), and subtracting the calibration term (WIg=0) from the respective predetermined widths (Wi) to define and constrain the active region width (10) for facilitating device fabrication.

摘要翻译： 通过测量各个复合电容结构（100,100'）的相应栅极电流（Ig，100，Ig，100'，Ig，100“）来确定有源区（4）的有源区宽度（10）的方法， ，100“），分别包括至少一个具有相应预定宽度（Wi）的电容器元件（16,17,18; 16'，17”，18“，16”，17“，18”）， 制造闪速存储器半导体器件，以及由此制造的器件。 本方法还包括将相应的栅极电流（Ig，100，Ig，100'，Ig，100“）绘制为各个预定宽度（Wi）的准线性函数（IW），外推校准项 = 0），并从相应的预定宽度（Wi）减去校准项（WIg = 0），以限定和约束有源区宽度（10）以便于器件制造。

公开(公告)号：US06756806B1

公开(公告)日：2004-06-29

申请号：US10113017

申请日：2002-03-28

申请人： Nian Yang ,  Zhigang Wang ,  Tien-Chun Yang

发明人： Nian Yang ,  Zhigang Wang ,  Tien-Chun Yang

IPC分类号： G01R3106

CPC分类号： G01R31/2621 ,  G01R31/2623 ,  G01R31/275

摘要： A method of determining the location of the breakdown in the gate oxide of a MOSFET is disclosed. Additionally, the method determines the location of the breakdown in a manner that is convenient to use and can be easily employed. The method will determine whether there is a breakdown in the gate oxide. If there is a breakdown, the method will enable determination of the location of the breakdown in the gate oxide.

摘要翻译： 公开了一种确定MOSFET栅极氧化层中击穿位置的方法。 此外，该方法以易于使用并且可以容易地使用的方式确定击穿的位置。 该方法将确定栅极氧化物是否有故障。 如果存在故障，则该方法将能够确定栅极氧化物中的击穿位置。

公开(公告)号：US06731130B1

公开(公告)日：2004-05-04

申请号：US10017832

申请日：2001-12-12

申请人： Nian Yang ,  Zhigang Wang ,  Tien-Chun Yang

发明人： Nian Yang ,  Zhigang Wang ,  Tien-Chun Yang

IPC分类号： G01R3126

CPC分类号： H01L22/20 ,  H01L22/12

摘要： A non-destructive and non-intrusive, user friendly, easy to setup and efficient system and method of determining the gate oxide thickness of an operational MOSFET used in real circuit applications is provided. Additionally, the present invention determines the gate oxide thickness when the operational MOSFET is operating in the inversion mode.

摘要翻译： 提供了一种用于确定在实际电路应用中使用的工作MOSFET的栅极氧化物厚度的非破坏性和非侵入性，用户友好的易于设置和有效的系统和方法。 此外，本发明在操作MOSFET以反转模式工作时确定栅极氧化物厚度。

公开(公告)号：US06689666B1

公开(公告)日：2004-02-10

申请号：US10126841

申请日：2002-04-19

申请人： Hsiao-Han Thio ,  Nian Yang ,  Zhigang Wang

发明人： Hsiao-Han Thio ,  Nian Yang ,  Zhigang Wang

IPC分类号： H01L21336

CPC分类号： H01L29/66553 ,  H01L21/28247 ,  H01L21/823468 ,  H01L21/823481 ,  H01L29/6656

摘要： A method (300) of fabricating a semiconductor device. An oxide layer (220) is produced on a sidewall (211) of a stacked gate (210) and over a shallow trench (212) adjacent to the stacked gate. The thickness of the oxide layer is sufficient to withstand a subsequent etch. A first layer (222) of material is deposited over the oxide layer. In a first etch, the first layer is reduced to a first thickness along the sidewall. Because the oxide layer has a depth sufficient to withstand the first etch, the oxide layer serves as a protective layer for the shallow trench during the first etch. Accordingly, a protective liner layer does not need to be deposited in addition to the oxide layer.

摘要翻译： 一种制造半导体器件的方法（300）。 在层叠栅极（210）的侧壁（211）上和与堆叠栅极相邻的浅沟槽（212）之上产生氧化物层（220）。 氧化物层的厚度足以承受随后的蚀刻。 材料的第一层（222）沉积在氧化物层上。 在第一蚀刻中，第一层沿侧壁被还原成第一厚度。 因为氧化物层具有足以承受第一蚀刻的深度，所以氧化物层在第一次蚀刻期间用作浅沟槽的保护层。 因此，除了氧化物层之外，不需要沉积保护衬垫层。

公开(公告)号：US06660588B1

公开(公告)日：2003-12-09

申请号：US10244229

申请日：2002-09-16

申请人： Nian Yang ,  Zhigang Wang ,  Hyeon-seag Kim

发明人： Nian Yang ,  Zhigang Wang ,  Hyeon-seag Kim

IPC分类号： H01L21336

CPC分类号： H01L29/66825 ,  H01L21/28273 ,  H01L27/115 ,  H01L29/42324

摘要： A process for fabrication of a floating gate flash memory device, and the device made thereby, including providing a semiconductor substrate; forming a pad dielectric layer overlying the substrate; forming a hard mask layer overlying the pad dielectric layer; forming an initial trench through the hard mask layer, wherein the initial trench has an initial lateral extent Li defined by opposite hard mask sidewalls in the hard mask layer; reducing the initial lateral extent Li of the initial trench to define a reduced trench having a reduced lateral extent Lrx, wherein x is at least one; and filling the reduced trench with a floating gate material.

摘要翻译： 一种用于制造浮动栅极闪存器件的方法及其制造的器件，包括提供半导体衬底; 形成覆盖所述基板的焊盘电介质层; 形成覆盖所述焊盘介电层的硬掩模层; 通过所述硬掩模层形成初始沟槽，其中所述初始沟槽具有由所述硬掩模层中的相对的硬掩模侧壁限定的初始横向延伸度; 减小初始沟槽的初始横向范围Li以限定具有减小的横向范围Lrx的减小的沟槽，其中x为至少一个; 并用浮栅材料填充还原的沟槽。

公开(公告)号：US06617639B1

公开(公告)日：2003-09-09

申请号：US10176594

申请日：2002-06-21

申请人： Zhigang Wang ,  Xin Guo ,  Yue-Song He

发明人： Zhigang Wang ,  Xin Guo ,  Yue-Song He

IPC分类号： H01L29788

CPC分类号： H01L21/28194 ,  H01L21/28273 ,  H01L29/513 ,  H01L29/517 ,  H01L29/518 ,  H01L29/66825 ,  H01L29/7883

摘要： A floating gate flash memory device including a substrate comprising a source region, a drain region, and a channel region positioned therebetween; a floating gate electrode positioned above the channel region and separated from the channel region by a tunnel dielectric material layer; and a control gate electrode positioned above the floating gate electrode and separated from the floating gate electrode by an interpoly dielectric layer, the interpoly dielectric layer comprising a modified ONO structure having a bottom dielectric material layer adjacent to the floating gate electrode, a top dielectric material layer adjacent to the control gate electrode, and a center layer comprising a nitride and positioned between the bottom dielectric material layer and the top dielectric material layer, in which the tunnel dielectric material layer, and at least one of the bottom dielectric material layer and the top dielectric material layer, comprise a high-K dielectric material.

摘要翻译： 一种浮栅闪存器件，包括：衬底，包括源极区，漏极区和位于其间的沟道区; 位于通道区域上方并通过隧道介电材料层与沟道区分离的浮栅电极; 以及控制栅电极，其位于所述浮置栅电极的上方，并且通过间隔电介质层与所述浮栅电极分离，所述互聚电介质层包括具有与所述浮栅电极相邻的底电介质材料层的修饰的ONO结构，顶介电材料 层，以及包括氮化物并位于底部电介质材料层和顶部电介质材料层之间的中心层，其中隧道电介质材料层和底部电介质材料层和底部电介质材料层中的至少一个 顶部介电材料层，包括高K电介质材料。

公开(公告)号：US06596586B1

公开(公告)日：2003-07-22

申请号：US10152747

申请日：2002-05-21

申请人： Nian Yang ,  Un Soon Kim ,  Zhigang Wang

发明人： Nian Yang ,  Un Soon Kim ,  Zhigang Wang

IPC分类号： H01L21336

CPC分类号： H01L27/11521 ,  H01L27/115 ,  H01L27/11517

摘要： A low resistance common source line (12) for high performance NOR-type flash memories cells in different bit-lines but on the same word-line is used to reduce the memory core cell size and to improve the circuit density as the device dimensions are scaled down. For advanced flash memory technology where shallow trench isolation (STI) (4) is used, the common source formation (12) is facilitated by a VCI implant (11) performed before STI field oxide fill (5). The process sequence is to first form the trenches (4) for the subsequent STI (4), then apply the VCI mask (10) and perform the VCI high energy ion implant (11) to form the “future” source line (12). Then field oxide fill (5) is deposited into the STI trench (4) to form the desired field isolation structures and the memory circuit is completed using conventional techniques.

摘要翻译： 用于不同位线但在相同字线上的高性能NOR型闪速存储器单元的低电阻公共源线（12）用于减小存储器核心单元的尺寸并提高电路密度，因为器件尺寸 缩小比例。 对于使用浅沟槽隔离（STI）（4））的高级闪存技术，通过在STI场氧化物填充（5）之前执行的VCI注入（11）来促进公共源形成（12）。 处理顺序是首先形成随后的STI（4）的沟槽（4），然后施加VCI掩模（10）并执行VCI高能离子注入（11）以形成“未来”源极线（12） 。 然后将场氧化物填充物（5）沉积到STI沟槽（4）中以形成所需的场隔离结构，并且使用常规技术完成存储器电路。