公开(公告)号：US20110224956A1

公开(公告)日：2011-09-15

申请号：US13128630

申请日：2009-11-10

申请人： Jun Ye ,  Yu Cao ,  Hanying Feng ,  Wenjin Shao

发明人： Jun Ye ,  Yu Cao ,  Hanying Feng ,  Wenjin Shao

IPC分类号： G06F17/50

CPC分类号： G06F17/50 ,  G03F1/14 ,  G03F1/44 ,  G03F1/68 ,  G03F7/70433 ,  G03F7/705 ,  G06F17/10 ,  G06F17/5009

摘要： Methods according to the present invention provide computationally efficient techniques for designing gauge patterns for calibrating a model for use in a simulation process, and which minimize degeneracy between model parameters, and thus maximize pattern coverage for parameter calibration. More specifically, the present invention relates to methods of designing gauge patterns that achieve complete coverage of parameter variations with minimum number of gauges and corresponding measurements in the calibration of a lithographic process utilized to image a target design having a plurality of features. According to some aspects, a method according to the invention includes transforming the space of model parametric space (based on CD sensitivity or Delta TCCs), then iteratively identifying the direction that is most orthogonal to existing gauges' CD sensitivities in this new space, and determining most sensitive line width/pitch combination with optimal assist feature placement which leads to most sensitive CD changes along that direction in model parametric space.

摘要翻译： 根据本发明的方法提供用于设计用于校准用于模拟过程中的模型的计量模式的计算有效的技术，并且使模型参数之间的简并性最小化，并且因此使参数校准的模式覆盖最大化。 更具体地说，本发明涉及设计规格图案的方法，该图形模式可以用最小数量的量规完成覆盖参数变化，并且在用于对具有多个特征的目标设计进行成像的光刻处理的校准中的对应测量。 根据一些方面，根据本发明的方法包括改变模型参数空间的空间（基于CD灵敏度或Delta TCC），然后迭代地识别在该新空间中与现有计量器的CD灵敏度最正交的方向，以及 确定最敏感的线宽/间距组合与最佳辅助功能放置，导致在模型参数空间中沿着该方向的最敏感的CD变化。

公开(公告)号：US07999920B2

公开(公告)日：2011-08-16

申请号：US11892407

申请日：2007-08-22

申请人： Jun Ye ,  Yu Cao

发明人： Jun Ye ,  Yu Cao

IPC分类号： G03B27/32 ,  G01B11/00

CPC分类号： G03F7/705 ,  G03F7/70125 ,  G03F7/70458 ,  G03F7/70516 ,  G03F7/70525

摘要： A model-based tuning method for tuning a first lithography system utilizing a reference lithography system, each of which has tunable parameters for controlling imaging performance. The method includes the steps of defining a test pattern and an imaging model; imaging the test pattern utilizing the reference lithography system and measuring the imaging results; imaging the test pattern utilizing the first lithography system and measuring the imaging results; calibrating the imaging model utilizing the imaging results corresponding to the reference lithography system, where the calibrated imaging model has a first set of parameter values; tuning the calibrated imaging model utilizing the imaging results corresponding to the first lithography system, where the tuned calibrated model has a second set of parameter values; and adjusting the parameters of the first lithography system based on a difference between the first set of parameter values and the second set of parameter values.

摘要翻译： 一种基于模型的调谐方法，用于利用参考光刻系统调整第一光刻系统，每个参考光刻系统具有用于控制成像性能的可调参数。 该方法包括定义测试图案和成像模型的步骤; 使用参考光刻系统成像测试图案并测量成像结果; 使用第一光刻系统成像测试图案并测量成像结果; 使用对应于参考光刻系统的成像结果校准成像模型，其中校准的成像模型具有第一组参数值; 使用对应于第一光刻系统的成像结果来调整校准的成像模型，其中调整的校准模型具有第二组参数值; 以及基于第一组参数值和第二组参数值之间的差异来调整第一光刻系统的参数。

公开(公告)号：US07978884B1

公开(公告)日：2011-07-12

申请号：US11832763

申请日：2007-08-02

申请人： Christopher Thomas ,  Octavian Popescu ,  Jun Ye

发明人： Christopher Thomas ,  Octavian Popescu ,  Jun Ye

IPC分类号： G06K9/00 ,  G06K7/00 ,  G05B19/00

CPC分类号： G06K9/00006

摘要： A fingerprint sensor interface that connects to a standard camera interface and minimizes input and output signals to reduce sensor die area and cost. The sensor can connect to a standard camera interface of a cellular telephone baseband processor or other device intended to receive signals from a camera. Input and output pad are arranged on a single edge of the die. Circuitry between the pads and the sensor active array creates clearance from the array to the bond wires connected to the pads.

摘要翻译： 指纹传感器接口连接到标准摄像头接口，并最大限度地减少输入和输出信号，从而降低传感器裸片面积和成本。 传感器可以连接到蜂窝电话基带处理器或其他旨在从相机接收信号的设备的标准摄像机接口。 输入和输出焊盘布置在芯片的单个边缘上。 焊盘和传感器有源阵列之间的电路产生从阵列到连接到焊盘的接合线的间隙。

公开(公告)号：US20110116067A1

公开(公告)日：2011-05-19

申请号：US13003294

申请日：2009-07-07

申请人： Jun Ye ,  Yu Cao ,  Hanying Feng

发明人： Jun Ye ,  Yu Cao ,  Hanying Feng

IPC分类号： G03B27/54

CPC分类号： G03F7/70441 ,  G03F7/70091 ,  G03F7/70666

摘要： A method of optimizing an illumination pupil shape for a lithographic process 1 comprises identifying a target pattern (206) to be imaged by said lithographic process. It further comprises identifying at least one optimization point (262) in said target pattern and identifying at least one design for manufacturing metric (270) per optimization point. Additionally it comprises selecting a set of illumination source points (274) based on the identified at least one design for manufacturing metric and determining the illumination pupil shape (284) based on the selected set of illumination source points.

摘要翻译： 优化用于光刻工艺1的照明光瞳形状的方法包括识别通过所述光刻工艺成像的目标图案（206）。 它还包括识别所述目标图案中的至少一个优化点（262），并且识别用于每个优化点的制造度量（270）的至少一个设计。 另外，它包括基于所识别的用于制造度量的所述至少一个设计来选择一组照明源点（274），并且基于所选择的一组照明源点确定照明光瞳形状（284）。

公开(公告)号：US20110068705A1

公开(公告)日：2011-03-24

申请号：US12874096

申请日：2010-09-01

申请人： Changshan Zhang ,  Jun Ye ,  Lieyi Fang

发明人： Changshan Zhang ,  Jun Ye ,  Lieyi Fang

IPC分类号： H05B41/36

CPC分类号： H05B41/282 ,  H05B41/2853

摘要： System and method for driving a cold-cathode fluorescent lamp. The system includes a control subsystem configured to generate one or more control signals, and a power supply subsystem configured to receive the one or more control signals and a DC input voltage, convert the DC input voltage to an AC output voltage, and send the AC output voltage to a cold-cathode fluorescent lamp. If the DC input voltage is lower than a predetermined threshold, the system for driving the cold-cathode fluorescent lamp is turned off in response to the one or more control signals.

摘要翻译： 用于驱动冷阴极荧光灯的系统和方法。 该系统包括配置成产生一个或多个控制信号的控制子系统和被配置为接收一个或多个控制信号和DC输入电压的电源子系统，将DC输入电压转换成AC输出电压，并且发送AC 输出电压到冷阴极荧光灯。 如果直流输入电压低于预定阈值，则根据一个或多个控制信号关闭用于驱动冷阴极荧光灯的系统。

公开(公告)号：US07812548B2

公开(公告)日：2010-10-12

申请号：US11871125

申请日：2007-10-11

申请人： Changshan Zhang ,  Jun Ye ,  Lieyi Fang

发明人： Changshan Zhang ,  Jun Ye ,  Lieyi Fang

IPC分类号： G05F1/00

CPC分类号： H05B41/282 ,  H05B41/2853

摘要： System and method for driving a cold-cathode fluorescent lamp. The system includes a control subsystem configured to generate one or more control signals, and a power supply subsystem configured to receive the one or more control signals and a DC input voltage, convert the DC input voltage to an AC output voltage, and send the AC output voltage to a cold-cathode fluorescent lamp. If the DC input voltage is lower than a predetermined threshold, the system for driving the cold-cathode fluorescent lamp is turned off in response to the one or more control signals.

摘要翻译： 用于驱动冷阴极荧光灯的系统和方法。 该系统包括配置成产生一个或多个控制信号的控制子系统和被配置为接收一个或多个控制信号和DC输入电压的电源子系统，将DC输入电压转换成AC输出电压，并且发送AC 输出电压到冷阴极荧光灯。 如果直流输入电压低于预定阈值，则根据一个或多个控制信号关闭用于驱动冷阴极荧光灯的系统。

公开(公告)号：US20100219802A1

公开(公告)日：2010-09-02

申请号：US12409287

申请日：2009-03-23

申请人： Yuan Lin ,  Jun Ye ,  Lieyi Fang

发明人： Yuan Lin ,  Jun Ye ,  Lieyi Fang

IPC分类号： G05F1/10

CPC分类号： H02M3/33507 ,  H02M2001/0022 ,  Y02B70/1433

摘要： Switch-mode power conversion system and method thereof. The switch-mode power conversion system includes a primary winding configured to receive an input voltage, and a secondary winding coupled to the primary winding and configured to, with one or more other components, generate an output signal. Additionally, the switch-mode power conversion system includes a feedback component configured to receive the output signal and generate a feedback signal based on at least information associated with the output signal, and a voltage detector configured to receive the input voltage and output a detection signal. Moreover, the switch-mode power conversion system includes a mode controller configured to receive the detection signal and the feedback signal and generate a switch signal based on at least information associated with the detection signal and the feedback signal, and a switch configured to receive the switch signal and affect a first current flowing through the primary winding.

摘要翻译： 开关电源转换系统及其方法。 开关模式功率转换系统包括被配置为接收输入电压的初级绕组和耦合到初级绕组的次级绕组，并且被配置成与一个或多个其他部件一起产生输出信号。 另外，开关模式功率转换系统包括被配置为接收输出信号并基于至少与输出信号相关联的信息产生反馈信号的反馈分量，以及被配置为接收输入电压并输出检测信号的电压检测器 。 此外，开关模式电力转换系统包括模式控制器，其被配置为接收检测信号和反馈信号，并且至少基于与检测信号和反馈信号相关联的信息产生开关信号，以及开关，被配置为接收 开关信号并影响流经初级绕组的第一电流。

公开(公告)号：US20100165675A1

公开(公告)日：2010-07-01

申请号：US12691624

申请日：2010-01-21

申请人： Jun Ye ,  Zhen Zhu ,  Shifeng Zhao ,  Lieyi Fang ,  Zhiliang Chen

发明人： Jun Ye ,  Zhen Zhu ,  Shifeng Zhao ,  Lieyi Fang ,  Zhiliang Chen

IPC分类号： H02M1/44

CPC分类号： H03K7/08 ,  H02M1/44 ,  H02M3/156

摘要： System and method for providing frequency control to a power converter. The system includes a pseudorandom signal generator configured to generate a digital signal. The digital signal is associated with at least an N-bit datum, and N is a positive integer. Additionally, the system includes a digital-to-analog converter configured to receive the digital signal and generate a first control signal, an output signal generator configured to receive the first control signal and generate at least a first output signal associated with a frequency, and a pulse-width-modulation generator configured to receive at least the first output signal. The N-bit datum represents a pseudorandom number.

摘要翻译： 向功率转换器提供频率控制的系统和方法。 该系统包括被配置为产生数字信号的伪随机信号发生器。 数字信号与至少一个N位数据相关联，N是正整数。 另外，该系统包括被配置为接收数字信号并产生第一控制信号的数模转换器，被配置为接收第一控制信号并产生与频率相关联的至少第一输出信号的输出信号发生器，以及 脉冲宽度调制发生器，被配置为至少接收第一输出信号。 N位数据表示伪随机数。

公开(公告)号：US20100162199A1

公开(公告)日：2010-06-24

申请号：US12721343

申请日：2010-03-10

申请人： Peng Liu ,  Yu Cao ,  Luoqi Chen ,  Jun Ye

发明人： Peng Liu ,  Yu Cao ,  Luoqi Chen ,  Jun Ye

IPC分类号： G06F17/50

CPC分类号： G06F17/5081 ,  G03F1/144 ,  G03F1/36 ,  G03F7/705 ,  G06F17/5009

摘要： A three-dimensional mask model of the invention provides a more realistic approximation of the three-dimensional effects of a photolithography mask with sub-wavelength features than a thin-mask model. In one embodiment, the three-dimensional mask model includes a set of filtering kernels in the spatial domain that are configured to be convolved with thin-mask transmission functions to produce a near-field image. In another embodiment, the three-dimensional mask model includes a set of correction factors in the frequency domain that are configured to be multiplied by the Fourier transform of thin-mask transmission functions to produce a near-field image.

摘要翻译： 本发明的三维掩模模型提供了比薄膜模型具有亚波长特征的光刻掩模的三维效果更逼真的近似。 在一个实施例中，三维掩模模型包括空间域中的一组过滤内核，其被配置为与薄膜传输函数进行卷积以产生近场图像。 在另一个实施例中，三维掩模模型包括频域中的一组校正因子，其被配置为乘以薄膜传输函数的傅立叶变换以产生近场图像。

公开(公告)号：US20100122225A1

公开(公告)日：2010-05-13

申请号：US12613244

申请日：2009-11-05

申请人： Yu Cao ,  Wenjin Shao ,  Jun Ye ,  Ronaldus Johannes Gljsbertus Goossens

发明人： Yu Cao ,  Wenjin Shao ,  Jun Ye ,  Ronaldus Johannes Gljsbertus Goossens

IPC分类号： G06F17/50

CPC分类号： G06F17/50 ,  G03F1/14 ,  G03F1/44 ,  G03F1/68 ,  G03F7/70433 ,  G03F7/705 ,  G06F17/10 ,  G06F17/5009

摘要： The present invention relates generally to methods and apparatuses for test pattern selection for computational lithography model calibration. According to some aspects, the pattern selection algorithms of the present invention can be applied to any existing pool of candidate test patterns. According to some aspects, the present invention automatically selects those test patterns that are most effective in determining the optimal model parameter values from an existing pool of candidate test patterns, as opposed to designing optimal patterns. According to additional aspects, the selected set of test patterns according to the invention is able to excite all the known physics and chemistry in the model formulation, making sure that the wafer data for the test patterns can drive the model calibration to the optimal parameter values that realize the upper bound of prediction accuracy imposed by the model formulation.

摘要翻译： 本发明一般涉及用于计算光刻模型校准的测试图案选择的方法和装置。 根据一些方面，本发明的模式选择算法可以应用于任何现有的候选测试模式池。 根据一些方面，与设计最佳图案相反，本发明自动选择从现有的候选测试图案池中确定最佳模型参数值最有效的测试图案。 根据另外的方面，根据本发明的所选择的一组测试图案能够激发模型配方中的所有已知物理和化学，确保用于测试图案的晶片数据可以将模型校准驱动到最佳参数值 实现了模型公式对预测精度的上限。