公开(公告)号：US5843600A

公开(公告)日：1998-12-01

申请号：US901168

申请日：1997-07-28

申请人： Tsu-Yu Chu ,  Jui-Yu Chang ,  Kun-Pi Cheng

发明人： Tsu-Yu Chu ,  Jui-Yu Chang ,  Kun-Pi Cheng

IPC分类号： G03F1/00 ,  G03F7/00 ,  G03F9/00

CPC分类号： G03F9/70 ,  G03F1/42 ,  G03F7/0035 ,  Y10S148/102 ,  Y10S438/975

摘要： A mask, which does not require additional reticles, and a method of using the mask for recovering alignment marks in a wafer after an inter-level dielectric layer has been planarized and a second layer of metal has been deposited on the planarized inter-level dielectric layer are described. An alignment mark protection pattern and a clearout window pattern are sub-divided so they can be formed from a first and a second mask element. These mask elements can be formed in the peripheral region of the reticle used to pattern the device region of the wafer. The mask elements are used to expose the alignment mark protection pattern in a first layer of photoresist and the clearout window pattern in a second layer of photoresist.

摘要翻译： 不需要额外的掩模版的掩模，以及在层间电介质层已被平坦化之后使用掩模来恢复晶片中的对准标记的方法，并且第二层金属已沉积在平坦化的层间电介质上 描述层。 对准标记保护图案和清晰窗口图案被细分，使得它们可以由第一和第二掩模元件形成。 这些掩模元件可以形成在用于对晶片的器件区域进行图案化的掩模版的周边区域中。 掩模元件用于在光致抗蚀剂的第一层中曝光对准标记保护图案，并在第二层光致抗蚀剂中露出清漆窗口图案。

公开(公告)号：US20130070876A1

公开(公告)日：2013-03-21

申请号：US13421872

申请日：2012-03-16

申请人： Hsin-Ta Wu ,  Jui-Yu Chang ,  Jau-Jr Lin

发明人： Hsin-Ta Wu ,  Jui-Yu Chang ,  Jau-Jr Lin

IPC分类号： H04B1/16

CPC分类号： H03D7/14 ,  H04B1/06 ,  H04B1/16 ,  H04B7/0452 ,  H04H40/90 ,  H04L27/00

摘要： A low-noise block downconverter (LNB) is disclosed. The low-noise block downconverter comprises a first input module, for outputting a first intermediate frequency (IF) signal after receiving a first polarization signal via a first input end; a second input module, for outputting a second IF signal after receiving a second polarization signal via a second input end; a first output module, coupled to the first input module, for amplifying the first IF signal, to output a first user signal to a first user; and a second output module, coupled to the second input module, for amplifying the second IF signal, to output a second user signal to a second user.

摘要翻译： 公开了一种低噪声块下变频器（LNB）。 低噪声块下变频器包括第一输入模块，用于经由第一输入端接收第一极化信号后输出第一中频（IF）信号; 第二输入模块，用于在经由第二输入端接收到第二偏振信号之后输出第二IF信号; 第一输出模块，耦合到第一输入模块，用于放大第一IF信号，以将第一用户信号输出到第一用户; 以及第二输出模块，耦合到第二输入模块，用于放大第二IF信号，以将第二用户信号输出到第二用户。

公开(公告)号：US08289008B2

公开(公告)日：2012-10-16

申请号：US12726340

申请日：2010-03-17

申请人： Jui-Yu Chang ,  Chih-Wei Chen ,  Jin-Lien Lin

发明人： Jui-Yu Chang ,  Chih-Wei Chen ,  Jin-Lien Lin

IPC分类号： G05F1/40

CPC分类号： G05F1/563 ,  G05F1/575

摘要： A voltage regulator includes an amplifier, a power device, a delay signal generator, and a voltage-generating circuit. The amplifier generates a control signal according to a reference voltage and a feedback voltage. The power switch generates the output voltage by regulating the output current according to the switch control signal. The delay signal generator generates a plurality of sequential delay signals each having distinct delay time with respect to an externally applied power-on burst signal. The voltage-generating circuit provides an equivalent resistance for generating the feedback voltage corresponding to the output voltage, and regulates the output voltage by adjusting the equivalent resistance according to the plurality of sequential delay signals.

摘要翻译： 电压调节器包括放大器，功率器件，延迟信号发生器和产生电压的电路。 放大器根据参考电压和反馈电压产生控制信号。 电源开关通过根据开关控制信号调节输出电流来产生输出电压。 延迟信号发生器产生多个相对于外部施加的上电突发信号具有不同延迟时间的顺序延迟信号。 电压产生电路提供用于产生对应于输出电压的反馈电压的等效电阻，并且通过根据多个顺序延迟信号调整等效电阻来调节输出电压。

公开(公告)号：US5858588A

公开(公告)日：1999-01-12

申请号：US850133

申请日：1997-05-01

申请人： Jui-Yu Chang ,  Chunshing Chen ,  Syun-Ming Jang ,  Ying-Ho Chen

发明人： Jui-Yu Chang ,  Chunshing Chen ,  Syun-Ming Jang ,  Ying-Ho Chen

IPC分类号： H01L23/544 ,  G03F9/00

CPC分类号： H01L23/544 ,  H01L2223/54453 ,  H01L2223/54493 ,  H01L2924/0002

摘要： A mask pattern and method are described for the recovery of alignment marks on an integrated circuit wafer without the use of additional masks. The mask pattern and method provide means to recover the alignment marks after forming a metal layer on a planarized inter-level dielectric layer. The pattern which conventional methods have placed on a separate mask is formed in the end regions of a mask used for forming a pattern on the active region of the wafer. In order to fit the pattern in the end regions of the mask the pattern is divided into two parts. When the pattern is used to expose a layer of photoresist two exposure steps are used.

摘要翻译： 描述了用于在集成电路晶片上恢复对准标记的掩模图案和方法，而不使用附加掩模。 掩模图案和方法提供了在平坦化的层间电介质层上形成金属层之后恢复对准标记的装置。 在用于在晶片的有源区上形成图案的掩模的端部区域中形成常规方法已经放置在单独的掩模上的图案。 为了将图案装配在掩模的端部区域中，图案被分为两部分。 当使用图案曝光一层光致抗蚀剂时，使用两个曝光步骤。

公开(公告)号：US20110156667A1

公开(公告)日：2011-06-30

申请号：US12726340

申请日：2010-03-17

申请人： Jui-Yu Chang ,  Chih-Wei Chen ,  Jin-Lien Lin

发明人： Jui-Yu Chang ,  Chih-Wei Chen ,  Jin-Lien Lin

IPC分类号： G05F1/00

CPC分类号： G05F1/563 ,  G05F1/575

摘要： A voltage regulator includes an amplifier, a power device, a delay signal generator, and a voltage-generating circuit. The amplifier generates a control signal according to a reference voltage and a feedback voltage. The power switch generates the output voltage by regulating the output current according to the switch control signal. The delay signal generator generates a plurality of sequential delay signals each having distinct delay time with respect to an externally applied power-on burst signal. The voltage-generating circuit provides an equivalent resistance for generating the feedback voltage corresponding to the output voltage, and regulates the output voltage by adjusting the equivalent resistance according to the plurality of sequential delay signals.

摘要翻译： 电压调节器包括放大器，功率器件，延迟信号发生器和产生电压的电路。 放大器根据参考电压和反馈电压产生控制信号。 电源开关通过根据开关控制信号调节输出电流来产生输出电压。 延迟信号发生器产生多个相对于外部施加的上电突发信号具有不同延迟时间的顺序延迟信号。 电压产生电路提供用于产生对应于输出电压的反馈电压的等效电阻，并且通过根据多个顺序延迟信号调整等效电阻来调节输出电压。

公开(公告)号：US20080180162A1

公开(公告)日：2008-07-31

申请号：US11668473

申请日：2007-01-30

申请人： Jui-Yu Chang

发明人： Jui-Yu Chang

IPC分类号： G05F1/10

CPC分类号： H03L7/0896

摘要： A charge pump includes a first switch coupled between a first voltage source and a first node, second switch coupled between the first node and a second node, a third switch coupled between the second node and a third node, the third node is for outputting from the charge pump. A fourth switch is coupled between the output node and a fourth node, a fifth switch is coupled between the fourth node and a fifth node, and a sixth switch is coupled between the fifth node and ground. A seventh switch is coupled between ground and the first node and an eighth switch is coupled between a second voltage source and the fifth node. A first capacitor is coupled between the second node and a first voltage signal and a second capacitor is coupled between the fourth node and a second voltage signal.

摘要翻译： 电荷泵包括耦合在第一电压源和第一节点之间的第一开关，耦合在第一节点和第二节点之间的第二开关，耦合在第二节点和第三节点之间的第三开关，第三节点用于从 电荷泵。 第四开关耦合在输出节点和第四节点之间，第五开关耦合在第四节点和第五节点之间，第六开关耦合在第五节点和地之间。 第七开关耦合在地和第一节点之间，第八开关耦合在第二电压源和第五节点之间。 第一电容器耦合在第二节点和第一电压信号之间，第二电容器耦合在第四节点和第二电压信号之间。

公开(公告)号：US6043133A

公开(公告)日：2000-03-28

申请号：US121708

申请日：1998-07-24

申请人： Syun-Ming Jang ,  Ying-Ho Chen ,  Jui-Yu Chang ,  Chen-Hua Yu

发明人： Syun-Ming Jang ,  Ying-Ho Chen ,  Jui-Yu Chang ,  Chen-Hua Yu

IPC分类号： H01L21/762 ,  H01L21/76

CPC分类号： H01L21/76224

摘要： The present invention provides a method of removing an shallow trench isolation (STI) oxide layer 38 from over alignment marks 30. The invention has two major features: (1) A STI photoresist mask 42A that is used to etch Alignment area trenches 34 around alignment marks 30 and to etch STI trenches 35 in device areas 14; and (2) A "reverse tone" STI photoresist mask 42B that is used to remove the isolation oxide 38 from over the alignment marks 30 and from over the active areas 37. The method begins by providing a substrate 10 having a device area 14, an alignment mark trench area 16; and an alignment mark area 18. A polish stop layer 20 22 is formed over the substrate 10. A trench isolation resist layer 42A is used to etch alignment area trenches 34 around the alignment marks 34 and STI trenches 35 in the device areas. A dielectric layer 38 is formed over the substrate. In a key step, the reverse tone trench isolation resist layer 42B is used to etch the first dielectric layer 38 from over the alignment marks 30 and the Active areas 27. Next, the remaining first dielectric layer 38 is chemical-mechanical polished thereby planarizing the first dielectric layer 38.

摘要翻译： 本发明提供从超过对准标记30去除浅沟槽隔离（STI）氧化物层38的方法。本发明具有两个主要特征：（1）STI光刻胶掩模42A，用于蚀刻对准区域沟槽34周围的对准 标记30并蚀刻设备区域14中的STI沟槽35; 和（2）用于从对准标记30上方和从有源区域37上方去除隔离氧化物38的“反向色调”STI光刻胶掩模42B。该方法开始于提供具有器件区域14的衬底10， 对准标记沟槽区域16; 和对准标记区域18.在衬底10上形成抛光阻挡层20 22.沟槽隔离抗蚀剂层42A用于蚀刻围绕器件区域中的对准标记34和STI沟槽35的对准区域沟槽34。 介电层38形成在衬底上。 在关键步骤中，反向色调沟槽隔离抗蚀剂层42B用于从对准标记30和有源区27上方蚀刻第一介电层38.接下来，剩余的第一介电层38进行化学机械抛光，从而平面化 第一电介质层38。

公开(公告)号：US09258072B2

公开(公告)日：2016-02-09

申请号：US13421872

申请日：2012-03-16

申请人： Hsin-Ta Wu ,  Jui-Yu Chang ,  Jau-Jr Lin

发明人： Hsin-Ta Wu ,  Jui-Yu Chang ,  Jau-Jr Lin

IPC分类号： H04L27/00 ,  H04H40/90 ,  H04B1/06

CPC分类号： H03D7/14 ,  H04B1/06 ,  H04B1/16 ,  H04B7/0452 ,  H04H40/90 ,  H04L27/00

摘要： A low-noise block downconverter (LNB) is disclosed. The low-noise block downconverter comprises a first input module, for outputting a first intermediate frequency (IF) signal after receiving a first polarization signal via a first input end; a second input module, for outputting a second IF signal after receiving a second polarization signal via a second input end; a first output module, coupled to the first input module, for amplifying the first IF signal, to output a first user signal to a first user; and a second output module, coupled to the second input module, for amplifying the second IF signal, to output a second user signal to a second user.

摘要翻译： 公开了一种低噪声块下变频器（LNB）。 低噪声块下变频器包括第一输入模块，用于经由第一输入端接收第一极化信号后输出第一中频（IF）信号; 第二输入模块，用于在经由第二输入端接收到第二偏振信号之后输出第二IF信号; 第一输出模块，耦合到第一输入模块，用于放大第一IF信号，以将第一用户信号输出到第一用户; 以及第二输出模块，耦合到第二输入模块，用于放大第二IF信号，以将第二用户信号输出到第二用户。

公开(公告)号：US07514985B2

公开(公告)日：2009-04-07

申请号：US11668473

申请日：2007-01-30

申请人： Jui-Yu Chang

发明人： Jui-Yu Chang

IPC分类号： G05F1/10

CPC分类号： H03L7/0896

摘要： A charge pump includes a first switch coupled between a first voltage source and a first node, second switch coupled between the first node and a second node, a third switch coupled between the second node and a third node, the third node is for outputting from the charge pump. A fourth switch is coupled between the output node and a fourth node, a fifth switch is coupled between the fourth node and a fifth node, and a sixth switch is coupled between the fifth node and ground. A seventh switch is coupled between ground and the first node and an eighth switch is coupled between a second voltage source and the fifth node. A first capacitor is coupled between the second node and a first voltage signal and a second capacitor is coupled between the fourth node and a second voltage signal.

摘要翻译： 电荷泵包括耦合在第一电压源和第一节点之间的第一开关，耦合在第一节点和第二节点之间的第二开关，耦合在第二节点和第三节点之间的第三开关，第三节点用于从 电荷泵。 第四开关耦合在输出节点和第四节点之间，第五开关耦合在第四节点和第五节点之间，第六开关耦合在第五节点和地之间。 第七开关耦合在地和第一节点之间，第八开关耦合在第二电压源和第五节点之间。 第一电容器耦合在第二节点和第一电压信号之间，第二电容器耦合在第四节点和第二电压信号之间。