公开(公告)号：US08869565B2

公开(公告)日：2014-10-28

申请号：US13461374

申请日：2012-05-01

申请人： Naritoshi Yamada ,  Shunichirou Hirafune

发明人： Naritoshi Yamada ,  Shunichirou Hirafune

IPC分类号： C03B37/018 ,  C03B37/014

CPC分类号： C03B37/01413 ,  C03B37/0142 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/12 ,  C03B2207/20 ,  C03B2207/22 ,  C03B2207/36 ,  C03B2207/52 ,  C03B2207/54 ,  C03B2207/60 ,  C03B2207/80 ,  C03B2207/81 ,  C03B2207/85

摘要： A method of producing optical fiber preform includes: forming a deposited layer by depositing glass particles on a periphery of a target element in a deposition mode while burning a mixed gas containing a glass source material gas, a flaming gas, and a supporting gas by use of a flaming burner; maintaining a state where the supporting gas flows at a flow velocity greater than or equal to a flow velocity at which a nozzle end of the supporting gas discharge nozzles does not glow while maintaining a pilot burner by allowing the flaming gas to flow to the seal gas discharge nozzle after a seal gas is replaced with the flaming gas in a case where a mode is changed from the deposition mode to a non-deposition mode; and replacing the flaming gas flowing to the flaming gas port with a purge gas.

摘要翻译： 制造光纤预制棒的方法包括：通过以沉积模式在目标元件的周围沉积玻璃颗粒而形成沉积层，同时通过使用燃烧包含玻璃原料气体，燃烧气体和支持气体的混合气体 的燃烧器; 保持支持气体以大于或等于支持气体排出喷嘴的喷嘴端不发光的流速流动的状态，同时通过允许火焰气体流到密封气体而保持引燃燃烧器 在模式从沉积模式改变为非沉积模式的情况下，用燃烧气体替换密封气体之后的排出喷嘴; 并用吹扫气体代替流入燃烧气体端口的燃烧气体。

公开(公告)号：US07647792B2

公开(公告)日：2010-01-19

申请号：US10983599

申请日：2004-11-09

申请人： Kentaro Ichii ,  Takakazu Gotoh ,  Naritoshi Yamada ,  Koichi Harada

发明人： Kentaro Ichii ,  Takakazu Gotoh ,  Naritoshi Yamada ,  Koichi Harada

IPC分类号： C03B37/018

CPC分类号： C03B37/0142 ,  C03B37/01413 ,  C03B2201/12 ,  C03B2203/22 ,  C03B2207/22 ,  C03B2207/36 ,  C03B2207/50 ,  Y02P40/57

摘要： A method for fabricating a porous silica preform includes the steps of supplying fuel gas for generating an oxyhydrogen flame to a glass synthesizing burner; supplying Gas A containing silicon and Gas B containing fluorine to the burner; synthesizing glass particles; and depositing the glass particles around a starting rod, in which when glass particles are deposited directly on the starting rod, a supply of Gas A and a supply of Gas B supplied to the burner are adjusted so that a ratio of the number of fluorine atoms to the number of silicon atoms in the gas supplied to the burner satisfies the following Formula (1): {(number of F atoms)/(number of Si atoms)}≦0.1   (1).

摘要翻译： 制造多孔二氧化硅预制件的方法包括以下步骤：向玻璃合成燃烧器提供产生氢氧焰的燃料气体; 将含有硅的气体A和含氟的气体B供应到燃烧器; 合成玻璃颗粒; 并且将玻璃颗粒沉积在起始棒周围，其中当玻璃颗粒直接沉积在起始棒上时，调节供应气体A和供应到燃烧器的气体B的供应，使得氟原子数 与供给到燃烧器的气体中的硅原子数相符合下述式（1）：{（F原子数）/（Si原子数）}

公开(公告)号：US20090282870A1

公开(公告)日：2009-11-19

申请号：US12464680

申请日：2009-05-12

申请人： Makoto YOSHIDA

发明人： Makoto YOSHIDA

IPC分类号： C03B19/00 ,  C03B9/00

CPC分类号： C03B37/0142 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/22 ,  C03B2207/36 ,  C03B2207/70 ,  Y02P40/57

摘要： There is provided a method for manufacturing a porous glass base material by using a porous glass base material manufacturing burner having an oxidizing gas discharge port. The method includes supplying a gas mixture obtained by blending together an oxidizing gas and an inert gas to the oxidizing gas discharge port at a start of deposition of a glass fine particle, and increasing a flow rate of the oxidizing gas supplied to the oxidizing gas discharge port while decreasing a flow rate of the inert gas supplied to the oxidizing gas discharge port.

摘要翻译： 提供一种通过使用具有氧化性气体排出口的多孔玻璃母材制造用燃烧器来制造多孔玻璃基材的方法。 该方法包括在玻璃微粒沉积开始时将氧化性气体和惰性气体混合在一起而获得的气体混合物，并且增加供给氧化剂气体排出口的氧化气体的流量 同时减少供给到氧化气体排出口的惰性气体的流量。

公开(公告)号：US20090188281A1

公开(公告)日：2009-07-30

申请号：US12417466

申请日：2009-04-02

申请人： Hisatoshi Otsuka ,  Kazuo Shirota ,  Osamu Sekizawa

发明人： Hisatoshi Otsuka ,  Kazuo Shirota ,  Osamu Sekizawa

IPC分类号： C03C19/00

CPC分类号： C03B19/1469 ,  C03B19/1423 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/21 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/20 ,  C03B2207/22 ,  C03B2207/32 ,  C03B2207/34 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0071 ,  C03C2201/21 ,  Y02P40/57

摘要： When a synthetic quartz glass substrate is prepared from a synthetic quartz glass block, (I) the block has a hydrogen molecule concentration of 5×1017-1×1019 molecules/cm3, (II) the substrate has a hydrogen molecule concentration of 5×1015-5×1017 molecules/cm3, (III) the substrate has an in-plane variation of its internal transmittance at 193.4 nm which is up to 0.2%, and (IV) the substrate has an internal transmittance of at least 99.6% at 193.4 nm. The synthetic quartz glass substrate has a high transmittance and a uniform transmittance distribution, and is adapted for use with excimer lasers, particularly ArF excimer lasers.

摘要翻译： 当由合成石英玻璃块制备合成石英玻璃基板时，（I）该嵌段的氢分子浓度为5×10 17 -1×10 19分子/ cm 3，（II）底物的氢分子浓度为5×10 15 -5×10 17分子/ cm 3 ，（III）衬底的内部透射率在193.4nm处具有高达0.2％的面内变化，（IV）衬底在193.4nm具有至少99.6％的内透射率。 合成石英玻璃基板具有高透射率和均匀的透射率分布，并且适用于准分子激光器，特别是ArF准分子激光器。

公开(公告)号：US20060225464A1

公开(公告)日：2006-10-12

申请号：US11448186

申请日：2006-06-07

申请人： Manabu Saitou ,  Masahiro Horikoshi

发明人： Manabu Saitou ,  Masahiro Horikoshi

IPC分类号： C03B37/07 ,  C03B37/018

CPC分类号： C03B37/0142 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/12 ,  C03B2207/22 ,  C03B2207/70

摘要： The present invention provides an optical fiber preform manufacturing method and a burner apparatus employed for this method. In this manufacturing method, when glass particles are synthesized in an oxy-hydrogen flame emitted from a burner to form a porous optical fiber preform by depositing glass particles in the radial direction of a starting member, the relationship between the flow rate vm (m/sec) of a source material gas or a mixed gas of the source material gas and an additive gas discharged from the burner, and the flow rate vs (m/sec) of an inert gas is such that −0.06 vm+1.4≦vs≦−0.02 vm+1.8, and vs≧0.40, while the relationship between the flow volume Vm (l/min) of the source material gas discharged from the burner and the flow volume Vs (l/min) of the inert gas is such that Vs/Vm≦0.2.

摘要翻译： 本发明提供了一种用于该方法的光纤预制棒制造方法和燃烧器装置。 在该制造方法中，当从燃烧器发射的氧 - 氢火焰中合成玻璃粒子时，通过在起始部件的径向上沉积玻璃粒子来形成多孔光纤预制件，流速vm（m / 秒）源材料气体或来自原料气体和从燃烧器排出的添加剂气体的混合气体，并且惰性气体的流量vs（m / sec）为-0.06vm + 1.4 <= vs 而从燃烧器排出的原料气体的流量Vm（l / min）与惰性气体的流量Vs（l / min）之间的关系为<= -0.02vm + 1.8，vs> = 0.40 是Vs / Vm <= 0.2。

公开(公告)号：US20060096326A1

公开(公告)日：2006-05-11

申请号：US10353279

申请日：2003-01-29

申请人： Manabu Saitou ,  Masahiro Horikoshi

发明人： Manabu Saitou ,  Masahiro Horikoshi

IPC分类号： C03B37/018

CPC分类号： C03B37/0142 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/12 ,  C03B2207/22 ,  C03B2207/70

摘要： The present invention provides an optical fiber preform manufacturing method and a burner apparatus employed for this method. In this manufacturing method, when glass particles are synthesized in an oxy-hydrogen flame emitted from a burner to form a porous optical fiber preform by depositing glass particles in the radial direction of a starting member, the relationship between the flow rate vm (m/sec) of a source material gas or a mixed gas of the source material gas and an additive gas discharged from the burner, and the flow rate vs (m/sec) of an inert gas is such that −0.06 vm+1.4≦vs≦−0.02 vm+1.8, and vs≧0.40, while the relationship between the flow volume Vm (1/min) of the source material gas discharged from the burner and the flow volume Vs (1/min) of the inert gas is such that Vs/Vm≦0.2.

摘要翻译： 本发明提供了一种用于该方法的光纤预制棒制造方法和燃烧器装置。 在该制造方法中，当从燃烧器发射的氧 - 氢火焰中合成玻璃粒子时，通过在起始部件的径向上沉积玻璃粒子来形成多孔光纤预制件，流速vm（m / 秒）源材料气体或来自原料气体和从燃烧器排出的添加剂气体的混合气体，并且惰性气体的流量vs（m / sec）为-0.06vm + 1.4 <= vs 而从燃烧器排出的原料气体的流量Vm（1 / min）与惰性气体的流量Vs（1 / min）之间的关系为<= -0.02vm + 1.8，vs> = 0.40 是Vs / Vm <= 0.2。

公开(公告)号：US06725690B2

公开(公告)日：2004-04-27

申请号：US09952502

申请日：2001-09-14

申请人： Tadashi Enomoto ,  Yuichi Ohga ,  Nobuya Akaike ,  Haruhiko Aikawa ,  Takashi Matsuo ,  Motonori Nakamura

发明人： Tadashi Enomoto ,  Yuichi Ohga ,  Nobuya Akaike ,  Haruhiko Aikawa ,  Takashi Matsuo ,  Motonori Nakamura

IPC分类号： C03B37018

CPC分类号： C03B37/0142 ,  C03B19/106 ,  C03B19/1423 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/08 ,  C03B2207/20 ,  C03B2207/22 ,  C03B2207/36 ,  C03B2207/40 ,  C03B2207/42 ,  Y02P40/57

摘要： A concentric multi-tubular burner for synthesizing glass particles having a center port group constituted by a combination of jet ports of raw material gas, combustible gas and oxygen gas, wherein an outer wall of the oxygen gas jet port in the center port group protrudes more toward a burner head than an inner wall of the oxygen gas jet port. The flow rate of oxygen gas jetted from the oxygen gas jet port of the center port group is controlled to be in a proper range.

公开(公告)号：US06649268B1

公开(公告)日：2003-11-18

申请号：US09520190

申请日：2000-03-07

申请人： Norio Komine ,  Seishi Fujiwara ,  Akiko Yoshida ,  Hiroki Jinbo ,  Norihisa Yamaguchi

发明人： Norio Komine ,  Seishi Fujiwara ,  Akiko Yoshida ,  Hiroki Jinbo ,  Norihisa Yamaguchi

IPC分类号： C03B804

CPC分类号： C03B19/1415 ,  C03B19/1407 ,  C03B19/1423 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/12 ,  C03B2207/20 ,  C03B2207/22 ,  C03B2207/24 ,  C03B2207/32 ,  C03B2207/36 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/30 ,  C03C2201/50 ,  C03C2203/40

摘要： An optical member made of silica glass manufactured by the direct method where a material gas comprising an organosilicon compound is allowed to react in an oxidizing flame, said optical member having a 2×1014 molecules/cm3 or less concentration of formyl radical generated by X-ray irradiation whose dose is 0.01 Mrad or more and 1 Mrad or less.

摘要翻译： 通过直接法制造的由石英玻璃制成的光学构件，其中包含有机硅化合物的材料气体在氧化火焰中反应，所述光学构件具有2×10 14分子/ cm 3或更低浓度的甲酰基 其剂量为0.01Mrad以上且1Mrad以下的X射线照射产生。

公开(公告)号：US20010047666A1

公开(公告)日：2001-12-06

申请号：US09423237

申请日：1999-11-05

发明人： TAKASHI SUGIYAMA ,  MASAHIKO MATSUI ,  NOBUYUKI HIRANO ,  NAOYUKI FUKUSHIMA ,  TAKAO KABAYA

IPC分类号： C03B037/018

CPC分类号： C03B37/0142 ,  C03B37/0144 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/20 ,  C03B2207/22 ,  C03B2207/46 ,  C03B2207/50

摘要： In a method of manufacturing a porous glass preform for an optical fiber which preform is formed as a deposit of fine glass particles by using a burner, a method to prevent the contamination of any glass particles having failed to be properly deposited so that the generation of voids may be minimized in a transparent glass preform which is produced by heating the porous glass preform. An inert gas is caused to flow through the burner at a rate of at least 25 m/s before fine glass particles are formed by the hydrolysis and/or oxidation of a glass material in a flame produced by the burner supplied with a mixture of a gas of the glass material and a gas for combustion and are deposited on a rotating starting member. It is desirable to elevate the pressure of the inert gas above the atmospheric pressure by a device connected to the burner by a pipeline, and cause it to flow rapidly through the burner.

摘要翻译： 在制造用于光纤的多孔玻璃预制件的方法中，预成型体通过使用燃烧器形成为细微玻璃颗粒的沉积物，防止任何玻璃颗粒被污染的方法不能适当地沉积，以便产生 在通过加热多孔玻璃预制件产生的透明玻璃预制件中，空隙可能被最小化。 在惰性气体以至少25m / s的速率流动，在通过在由燃烧器产生的火焰中水解和/或氧化玻璃材料形成细玻璃颗粒之前， 玻璃材料的气体和用于燃烧的气体沉积在旋转的起始构件上。 期望通过管道连接到燃烧器的装置将惰性气体的压力提升到高于大气压力，并使其快速流过燃烧器。

公开(公告)号：US4618354B1

公开(公告)日：1991-02-19

申请号：US70536285

申请日：1985-02-25

申请人： NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE

IPC分类号： C03B37/014 ,  C03B37/018

CPC分类号： C03B37/014 ,  C03B37/0142 ,  C03B37/01446 ,  C03B2201/31 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/08 ,  C03B2207/20 ,  C03B2207/22 ,  C03B2207/24 ,  C03B2207/26 ,  C03B2207/40 ,  C03B2207/42 ,  C03B2207/50 ,  C03B2207/60 ,  C03B2207/62