公开(公告)号：US20130177738A1

公开(公告)日：2013-07-11

申请号：US13825029

申请日：2010-10-21

申请人： Peter Mardilovich ,  Anthony M. Fuller ,  Qingqiao Wei

发明人： Peter Mardilovich ,  Anthony M. Fuller ,  Qingqiao Wei

IPC分类号： B81C1/00 ,  B81B3/00 ,  C25D11/02

CPC分类号： B81C1/00373 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00031 ,  C25D1/006 ,  C25D11/022 ,  C25D11/045 ,  C25D11/08 ,  C25D11/10 ,  C25D11/18 ,  C25D11/26 ,  Y10S977/856 ,  Y10S977/888 ,  Y10T428/24355

摘要： A method of forming a micro-structure (100, 100′, 100″, 100′″) involves forming a multi-layered structure (10) including i) an oxidizable material layer (14) on a substrate (12) and ii) another oxidizable material layer (16) on the oxidizable material layer (14). The oxidizable material layer (14) is formed of an oxidizable material having an expansion coefficient, during oxidation, that is more than 1. The method further involves forming a template (16′), including a plurality of pores (18), from the other oxidizable material layer (16), and growing a nano-pillar (20) inside each pore (18). The nano-pillar (18) has a predefined length (L) that terminates at an end (21). A portion of the template (16′) is selectively removed to form a substantially even plane (23) that is oriented in a position opposed to the substrate (12). A material is deposited on at least a portion of the plane (23) to form a film layer (22, 22′) thereon, and the remaining portion of the template (16′) is selectively removed to expose the nano-pillars (20).

摘要翻译： 形成微结构（100,100'，100“，100”）的方法涉及形成多层结构（10），其包括i）在基底（12）上的可氧化材料层（14）和 ii）可氧化材料层（14）上的另一可氧化材料层（16）。 可氧化材料层（14）由在氧化期间具有大于1的膨胀系数的可氧化材料形成。该方法还包括形成包括多个孔（18）的模板（18'），该模板包括多个孔 其他可氧化材料层（16），并且在每个孔（18）内生长纳米柱（20）。 纳米柱（18）具有在端部（21）处终止的预定长度（L）。 选择性地去除模板（16'）的一部分以形成在与衬底（12）相对的位置上定向的基本均匀的平面（23）。 材料沉积在平面（23）的至少一部分上以在其上形成膜层（22,22'），并且选择性地去除模板（16'）的剩余部分以暴露纳米柱（20 ）。

公开(公告)号：US07727855B2

公开(公告)日：2010-06-01

申请号：US11842818

申请日：2007-08-21

申请人： Qingqiao Wei

发明人： Qingqiao Wei

IPC分类号： H01L21/76

CPC分类号： B82Y30/00 ,  H01L21/0237 ,  H01L21/02521 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02603 ,  H01L21/02645 ,  H01L21/02653 ,  Y10S977/762 ,  Y10S977/84 ,  Y10S977/938

摘要： Methodologies associated with fabricating aligned nanowire lattices are described. One exemplary method embodiment includes providing a twist wafer bonded thin single crystal semiconductor film and a bulk single crystal substrate of the same material. Periodic non-uniform elastic strains present on the surface of the film control the positions where nanocrystals will form on the film. The strains may be removed via annealing and alloying after the formation of nanocrystal arrays.

摘要翻译： 描述与制造对准的纳米线晶格相关的方法。 一个示例性方法实施例包括提供扭转晶片接合的薄单晶半导体膜和相同材料的块状单晶衬底。 存在于膜表面上的周期性非均匀弹性应变控制在膜上形成纳米晶体的位置。 在形成纳米晶体阵列之后，可以通过退火和合金化去除菌株。

公开(公告)号：US20050241959A1

公开(公告)日：2005-11-03

申请号：US10837554

申请日：2004-04-30

申请人： Kenneth Ward ,  Pavel Kornilovich ,  Kevin Peters ,  Qingqiao Wei

发明人： Kenneth Ward ,  Pavel Kornilovich ,  Kevin Peters ,  Qingqiao Wei

IPC分类号： G01N27/28 ,  G01N27/414 ,  G01N27/416 ,  G01N37/00 ,  G01N27/26

CPC分类号： G01N27/4146

摘要： The disclosure relates to a system having a chemical sensor and either a temperature sensor or an ionic-strength sensor in a same fluidic channel. The disclosure also related to a system having a chemical sensor and either a temperature sensor or an ionic-strength sensor over a same substrate. This system can be capable of measuring chemical concentrations of two or more chemicals and a temperature or ionic strength of a fluid.

摘要翻译： 本公开涉及具有化学传感器和在相同流体通道中的温度传感器或离子强度传感器的系统。 本公开还涉及具有化学传感器和在相同基板上的温度传感器或离子强度传感器的系统。 该系统能够测量两种或多种化学物质的化学浓度和流体的温度或离子强度。