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47 条记录 (耗时 0.043 秒)

    Method for fabricating micro-mechanical devices
    44.
    发明授权
    Method for fabricating micro-mechanical devices 有权
    微机械装置的制造方法

    公开(公告)号：US07300814B2

    公开(公告)日：2007-11-27

    申请号：US11014415

    申请日：2004-12-16

    申请人： Brian T. Cunningham ,  Marc S. Weinberg

    发明人： Brian T. Cunningham ,  Marc S. Weinberg

    IPC分类号： H01L21/00

    CPC分类号： B81C3/008 ,  B81B2201/0271 ,  B81C2203/031 ,  G01C19/5719 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/097

    摘要： A method of fabricating micro-mechanical devices. A mesa is etched in a homogeneous wafer. The wafer is bonded to a patterned substrate with the mesa defining device elements suspended above the substrate. A portion of the wafer is removed until a desired device thickness is achieved. Discrete elements of the device are then formed by performing a structural etch on the remaining wafer material.

    摘要翻译： 一种制造微机械装置的方法。 在均匀晶片中蚀刻台面。 晶片被结合到图案化衬底，其中台面限定器件元件悬置在衬底上。 去除晶片的一部分直到实现所需的器件厚度。 然后通过对剩余的晶片材料进行结构蚀刻来形成器件的离散元件。

    Dynamically balanced microelectromechanical devices
    45.
    发明授权
    Dynamically balanced microelectromechanical devices 有权
    动平衡微机电装置

    公开(公告)号：US06571630B1

    公开(公告)日：2003-06-03

    申请号：US09937268

    申请日：2002-07-09

    申请人： Marc S. Weinberg ,  Kaplesh Kumar ,  A. Thomas King

    发明人： Marc S. Weinberg ,  Kaplesh Kumar ,  A. Thomas King

    IPC分类号： G01P904

    CPC分类号： G01C25/005 ,  B23K26/032 ,  B23K26/1224 ,  B23K26/123 ,  B23K26/125 ,  G01C19/5719

    摘要： Dynamic balancing reduces quadrature bias in microfabricated vibrating instruments such as tuning fork gyros so that a purity of motion is achieved in the absence of any angular rate input. Balancing is achieved by ablating (74) or depositing (72) onto support structure (62) for a tuning fork gyroscope rather than the proof mass (60) itself by melting and moving material on a tuning fork beam (62). Such adjusting is advantageously done during actual operation of the gyro by laser beam application through an encapsulating transparent cover which can be either part of the chip die or an external package.

    摘要翻译： 动态平衡可减少微型振动仪器（如音叉陀螺仪）中的正交偏差，从而在没有任何角速率输入的情况下实现运动的纯度。 平衡是通过在音叉（62）上熔化和移动材料来消融（74）或沉积（72）到用于音叉陀螺仪而不是证明物质（60）本身的支撑结构（62）上。 这种调整有利地在陀螺仪的实际操作期间通过激光束施加穿过可以是芯片管芯或外部封装的一部分的封装透明盖来完成。

    Micromechanical angular accelerometer with auxiliary linear accelerometer
    46.
    发明授权
    Micromechanical angular accelerometer with auxiliary linear accelerometer 失效
    具有辅助线性加速度计的微机械角加速度计

    公开(公告)号：US5473945A

    公开(公告)日：1995-12-12

    申请号：US103896

    申请日：1993-08-06

    申请人： Paul Grieff ,  Burton Boxenhorn ,  Marc S. Weinberg

    发明人： Paul Grieff ,  Burton Boxenhorn ,  Marc S. Weinberg

    IPC分类号： G01C19/5719 ,  G01P15/08 ,  G01P9/00 ,  G01P15/00

    CPC分类号： G01C19/5719 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/0888 ,  G01P2015/0814 ,  G01P2015/0831 ,  Y10S73/01

    摘要： A micromechanical accelerometer comprises a mass of monocrystalline silicon in which a substantially symmetrical plate attached to a silicon frame by flexible linkages is produced by selective etching. The plate has a plurality of apertures patterned and etched therethrough to speed further etching and freeing of the plate and flexible linkages, suspending them above a void etched beneath. The plate is capable of limited motion about an axis created by the flexible linkages. An accelerometer comprised of a substantially symmetrical, linkage supported plate configuration is implemented as an angular accelerometer paired with an auxiliary linear accelerometer, which is used to compensate for the linear sensitivity of the angular sensor, to achieve an instrument that is insensitive to linear acceleration and responds to angular acceleration.

    摘要翻译： 微机械加速度计包括大量单晶硅，其中通过选择性蚀刻产生通过柔性连接件附接到硅框架的基本上对称的板。 该板具有图案化并通过其蚀刻的多个孔，以进一步蚀刻和释放板和柔性连接件，将它们悬挂在蚀刻在下面的空隙之上。 该板能够围绕由柔性连杆产生的轴限制运动。 由基本上对称的连接支撑板结构构成的加速度计被实现为与辅助线性加速度计配对的角加速度计，其用于补偿角度传感器的线性灵敏度，以实现对线性加速度不敏感的仪器， 响应角加速度。

    Microfabricated pump
    47.
    发明授权
    Microfabricated pump 失效
    微型泵

    公开(公告)号：US5096388A

    公开(公告)日：1992-03-17

    申请号：US497392

    申请日：1990-03-22

    申请人： Marc S. Weinberg

    发明人： Marc S. Weinberg

    IPC分类号： F04B43/04

    CPC分类号： F04B43/043 ,  A61M2205/0244 ,  A61M5/14276

    摘要： A micro machined micro pump capable of flow rates on the level of microliters per minute formed by micro machining of a semiconductor material such as silicon with a set of channels or passages and having a semiconductor membrane interacting with the pattern of channels and passages and under selective control of activating means to induce traveling wave type motion of said membrane that creates pump action between inlet and outlet ones of the passages. To induce the pump action motion of the membrane electrical conductors can be applied to the membrane in a pattern which, when selectively activated interact with an electric or magnetic field to produce such motion. Alternatively piezolelectric or other electrostrictive mechanisms may be employed to induce the appropriate membrane motion.

    摘要翻译： 微加工微型泵，其能够通过半导体材料（例如具有一组通道或通道）的半导体材料的微加工形成的每分钟微升水平的流速，并且具有与通道和通道的图案相互作用的半导体膜，并且具有选择性 控制激活装置以引起所述膜的行波型运动，其在入口和出口通道之间产生泵作用。 为了诱导膜电导体的泵作用运动可以以图案施加到膜上，当选择性地激活与电场或磁场相互作用以产生这种运动时。 可替代地，可以使用压电或其它电致伸缩机制来诱导适当的膜运动。