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    Plasma etching uniformity control
    42.
    发明授权
    Plasma etching uniformity control 有权
    等离子体蚀刻均匀性控制

    公开(公告)号：US06737358B2

    公开(公告)日：2004-05-18

    申请号：US10076129

    申请日：2002-02-13

    申请人： Y. Long He ,  Albert Kwok ,  Tsukasa Abe ,  Han-Ming Wu

    发明人： Y. Long He ,  Albert Kwok ,  Tsukasa Abe ,  Han-Ming Wu

    IPC分类号： H01L21302

    CPC分类号： H01J37/32009 ,  H01J2237/334 ,  H01L21/3065

    摘要： Plasma etching is controlled utilizing two etchant gases to form a plasma so as to obtain controlled (e.g., uniform) etch rate across a wafer. One etchant gas forms a positive plasma, which is the dominant plasma. The other etchant gas forms a negative plasma, which is the secondary plasma. The ratio of dominant plasma to the secondary plasma can be adjusted such that ion densities are uniform across the wafer, resulting in uniform etch rate over the wafer.

    摘要翻译： 使用两种蚀刻剂气体来控制等离子体蚀刻以形成等离子体，以便获得跨晶片的受控（例如，均匀的）蚀刻速率。 一个蚀刻剂气体形成一个正等离子体，这是主要的等离子体。 其他蚀刻剂气体形成负等离子体，其为次级等离子体。 可以调整主要等离子体与次级等离子体的比例，使得离子密度在晶片上是均匀的，从而在晶片上产生均匀的蚀刻速率。

    Compression ignition type engine
    43.
    发明授权
    Compression ignition type engine 有权
    压缩式点火式发动机

    公开(公告)号：US06240723B1

    公开(公告)日：2001-06-05

    申请号：US09173184

    申请日：1998-10-15

    申请人： Takekazu Ito ,  Shizuo Sasaki ,  Satoshi Iguchi ,  Tsukasa Abe

    发明人： Takekazu Ito ,  Shizuo Sasaki ,  Satoshi Iguchi ,  Tsukasa Abe

    IPC分类号： F01N320

    CPC分类号： F02D41/062 ,  F02B3/06 ,  F02B2275/14 ,  F02D41/0057 ,  F02D41/024 ,  F02D41/3076 ,  F02D41/405 ,  F02D2041/389 ,  F02M26/15 ,  F02M26/28 ,  Y02T10/123 ,  Y02T10/22 ,  Y02T10/26 ,  Y02T10/44 ,  Y02T10/47

    摘要： A compression ignition type engine, wherein a first combustion where the amount of the inert gas in the combustion chamber is larger than the amount of inert gas where the amount of production of soot peaks and almost no soot is produced and a second combustion where the amount of inert gas in the combustion chamber is smaller than the amount of inert gas where the amount of production of soot peaks are selectively switched between. The second combustion is performed after the engine operation is started until a catalyst arranged in the engine exhaust passage has become activated and, the first combustion is performed after the catalyst has become activated.

    摘要翻译： 一种压缩点火式发动机，其特征在于，在燃烧室内的惰性气体的量大于产生烟灰产生量并且几乎不产生烟灰的惰性气体的量的第一燃烧和第二燃烧， 燃烧室中的惰性气体的量小于其间选择性地切换烟灰峰的产生量的惰性气体的量。 第二次燃烧是在发动机运转开始直到排放在发动机排气通道中的催化剂已经起动并且在催化剂已经起动之后执行第一次燃烧的。