公开(公告)号：US20080174758A1

公开(公告)日：2008-07-24

申请号：US12029165

申请日：2008-02-11

申请人： Bernhard Gellrich ,  Ulrich Weber

发明人： Bernhard Gellrich ,  Ulrich Weber

IPC分类号： G03B27/54

CPC分类号： G03F7/70825 ,  G03F7/70308 ,  G03F7/70691

摘要： Replacement devices for at least one replaceable optical element mounted at least indirectly in a lithographic projection exposure apparatus are disclosed. Lithography objectives and illumination systems are also disclosed. Methods for positioning a replaceable optical element within a lithographic projection exposure apparatus of this type, and methods for replacing a replaceable optical element within a lithographic projection exposure apparatus via a replacement device are also disclosed.

摘要翻译： 公开了至少一个至少间接安装在光刻投影曝光装置中的可更换光学元件的替换装置。 还公开了光刻目标和照明系统。 在这种类型的光刻投影曝光装置内定位可更换光学元件的方法以及通过更换装置替代光刻投影曝光装置内的可更换光学元件的方法也被公开。

公开(公告)号：US20070216888A1

公开(公告)日：2007-09-20

申请号：US11578361

申请日：2004-04-14

申请人： Jens Kugler ,  Ulrich Weber ,  Sabine Hafenrichter

发明人： Jens Kugler ,  Ulrich Weber ,  Sabine Hafenrichter

IPC分类号： G03F7/20 ,  G02B7/02

CPC分类号： G03F7/70825 ,  G02B7/023

摘要： Support device for positioning an optical element (2), in particular a lens, comprising a first frame unit (1.1) and a plurality of support units (1.2) for supporting said optical element (2), each of said support units (2) having a first end for fixedly engaging a part of said first frame unit (1.1) and a second end for supporting said optical element (2), said support units (1.2) being arranged for positioning said optical element (2) along a first direction, a second direction and a third direction in the manner of parallel kinematics, said first direction, said second direction and said third direction being translatory directions arranged mutually transverse to each other, wherein there are provided three support units (1.2) and wherein each of said support units (1.2) provides for restriction of a first degree of freedom and a second degree of freedom to support said optical element (2) in an isostatic manner.

摘要翻译： 用于定位光学元件（2）的支撑装置，特别是透镜，包括用于支撑所述光学元件（2）的第一框架单元（1.1）和多个支撑单元（1.2），每个所述支撑单元（2） 具有用于固定地接合所述第一框架单元（1.1）的一部分的第一端和用于支撑所述光学元件（2）的第二端，所述支撑单元（1.2）布置成用于沿着第一方向定位所述光学元件（2） ，平行运动学方式的第二方向和第三方向，所述第一方向，所述第二方向和所述第三方向是彼此相互横向布置的平移方向，其中设置有三个支撑单元（1.2），并且其中 所述支撑单元（1.2）提供限制第一自由度和第二自由度以等静压方式支撑所述光学元件（2）。

公开(公告)号：US20070183063A1

公开(公告)日：2007-08-09

申请号：US10570021

申请日：2004-08-20

申请人： Christian Zengerling ,  Armin Schoeppach ,  Ulrich Weber

发明人： Christian Zengerling ,  Armin Schoeppach ,  Ulrich Weber

IPC分类号： G02B7/02

CPC分类号： G03F7/70825 ,  G02B7/003

摘要： In a device (1) for preventing the creeping of an optical element (2), in particular a lens or a mirror, the optical element (2) is connected to a mount (3) via connecting members (4) arranged on the circumference of the optical element (2). The position of the optical element (2) in an objective (PL) deviates from the vertical axial position. In order to compensate the dead weight at least of the optical element (2) at least one holding element (7) via which the optical element (2) is held on a housing part of the objective (PL) is provided in addition to the connecting members (4).

摘要翻译： 在用于防止光学元件（2），特别是透镜或反射镜的蠕变的装置（1）中，光学元件（2）经由布置在圆周上的连接构件（4）连接到安装件（3） 的光学元件（2）。 光学元件（2）在物镜（PL）中的位置偏离垂直轴向位置。 为了补偿至少一个光学元件（2）的自重，除了将光学元件（2）保持在物镜（PL）的壳体部分上以外还提供至少一个保持元件（7） 连接构件（4）。

公开(公告)号：US07239462B2

公开(公告)日：2007-07-03

申请号：US11063113

申请日：2005-02-22

申请人： Johannes Rau ,  Armin Schoeppach ,  Ulrich Weber

发明人： Johannes Rau ,  Armin Schoeppach ,  Ulrich Weber

IPC分类号： G02B7/02

CPC分类号： G02B7/023

摘要： An objective (2) with at least one optical element (4), which is mounted in an inner ring (3). The inner ring (3) is connected to an outer mount (1). A manipulator (10) is provided for displacing the optical element (4) in at least a direction perpendicular to an optical axis. The inner ring (3) is connected to the outer mount (1) by means of at least two adjusting joints (5) with manipulators (10) and at least one swivel joint (6). The at least two adjusting joints (5) and the at least one swivel joint (6) are provided with joint arms (8) extending at least approximately in a tangential direction with respect to the inner ring (3), by means of which arms the inner ring (3) is elastically connected to the outer mount (1). The ends of the joint arms (8) are articulated on the inner ring (3) in such a way that temperature-induced changes in length of the joint arms (8) are converted into a uniform turning direction of the inner ring (3) with respect to the outer mount (1) about the center of the optical element.

摘要翻译： 具有安装在内圈（3）中的至少一个光学元件（4）的物镜（2）。 内圈（3）连接到外座（1）。 提供了一种操纵器（10），用于沿至少垂直于光轴的方向移动光学元件（4）。 内圈（3）通过具有操纵器（10）的至少两个调节接头（5）和至少一个旋转接头（6）连接到外部安装件（1）。 所述至少两个调节接头（5）和所述至少一个旋转接头（6）设置有至少大致沿相对于所述内环（3）的切线方向延伸的接合臂（8），借助于该臂 内环（3）弹性地连接到外部安装件（1）。 接合臂（8）的端部以内部环（3）上的温度引起的连接臂（8）的长度变化转换成内圈（3）的均匀转动方式的方式铰接在内圈（3）上， 相对于外部安装件（1）围绕光学元件的中心。

公开(公告)号：US20050190462A1

公开(公告)日：2005-09-01

申请号：US11063113

申请日：2005-02-22

申请人： Johannes Rau ,  Armin Schoeppach ,  Ulrich Weber

发明人： Johannes Rau ,  Armin Schoeppach ,  Ulrich Weber

IPC分类号： G02B7/02

CPC分类号： G02B7/023

摘要： An objective (2) with at least one optical element (4), which is mounted in an inner ring (3). The inner ring (3) is connected to an outer mount (1). A manipulator (10) is provided for displacing the optical element (4) in at least a direction perpendicular to an optical axis. The inner ring (3) is connected to the outer mount (1) by means of at least two adjusting joints (5) with manipulators (10) and at least one swivel joint (6). The at least two adjusting joints (5) and the at least one swivel joint (6) are provided with joint arms (8) extending at least approximately in a tangential direction with respect to the inner ring (3), by means of which arms the inner ring (3) is elastically connected to the outer mount (1). The ends of the joint arms (8) are articulated on the inner ring (3) in such a way that temperature-induced changes in length of the joint arms (8) are converted into a uniform turning direction of the inner ring (3) with respect to the outer mount (1) about the center of the optical element.

摘要翻译： 具有安装在内圈（3）中的至少一个光学元件（4）的物镜（2）。 内圈（3）连接到外座（1）。 提供了一种操纵器（10），用于沿至少垂直于光轴的方向移动光学元件（4）。 内圈（3）通过具有操纵器（10）的至少两个调节接头（5）和至少一个旋转接头（6）连接到外部安装件（1）。 所述至少两个调节接头（5）和所述至少一个旋转接头（6）设置有至少大致沿相对于所述内环（3）的切线方向延伸的接合臂（8），借助于该臂 内圈（3）弹性地连接到外座（1）。 接合臂（8）的端部以内部环（3）上的温度引起的连接臂（8）的长度变化转换成内圈（3）的均匀转动方式的方式铰接在内圈（3）上， 相对于外部安装件（1）围绕光学元件的中心。

公开(公告)号：US20050029471A1

公开(公告)日：2005-02-10

申请号：US10853850

申请日：2004-05-25

申请人： Gerhard Kraft ,  Ulrich Weber ,  Sebastian Kraft ,  Stephan Kraft

发明人： Gerhard Kraft ,  Ulrich Weber ,  Sebastian Kraft ,  Stephan Kraft

IPC分类号： A61N5/10 ,  G21K1/04 ,  G21K1/10 ,  H01J3/00 ,  G21G5/00

CPC分类号： G21K1/046 ,  A61N5/1042 ,  A61N2005/1087 ,  A61N2005/1095 ,  G21K1/04 ,  G21K1/10

摘要： An energy filter device for beams which are used in the course of ion beam therapy, wherein at least one passive modulator is provided. The modulator comprises a scattering film for the beams and a collimator with an opening for controlling the beams.

摘要翻译： 一种用于在离子束治疗过程中使用的光束的能量过滤装置，其中提供至少一个无源调制器。 调制器包括用于光束的散射膜和具有用于控制光束的开口的准直器。

公开(公告)号：US06710362B2

公开(公告)日：2004-03-23

申请号：US10239685

申请日：2003-01-08

申请人： Gerhard Kraft ,  Ulrich Weber

发明人： Gerhard Kraft ,  Ulrich Weber

IPC分类号： A61N500

CPC分类号： A61N5/1049 ,  A61N5/1043 ,  A61N5/1067 ,  A61N2005/1061 ,  A61N2005/1087 ,  A61N2005/1095

摘要： The invention relates to an apparatus and a method for irradiating tumor tissue (3) of a patient (10) by means of an ion beam (2). For that purpose, the apparatus has a deflecting device (1) for the ion beam (2) for slice-wise and area-wise scanning of the tumor tissue (3) and an ion beam energy control device for slice-wise and depth-wise scanning of the ion beam (2). An electromechanically driven ion-braking device (11, 12) is provided as a depth-wise scanning adaptation apparatus (5) for adapting the range of the ion beam (2) and has faster depth-wise adaptation than the energy control device of an accelerator. The movement of a patient is monitored by means of a movement detection device (7) for detecting a temporal and positional change in the location of the tumor tissue (3) in a treatment space (8). A control device controls the deflecting device (1) and the depth-wise adaptation apparatus (5) for adjusting the ion beam direction and ion beam range, respectively, when scanning the tumor tissue (3) in the course of temporal and positional change in the location of the tumor tissue (3) in the treatment space (8).

摘要翻译： 本发明涉及一种通过离子束（2）照射患者（10）的肿瘤组织（3）的装置和方法。 为此，该装置具有用于离子束（2）的偏转装置（1），用于对肿瘤组织（3）进行切片和区域扫描，以及用于切片和深度扫描的离子束能量控制装置， 扫描离子束（2）。 提供一种机电驱动的离子制动装置（11,12）作为深度扫描适应装置（5），用于使离子束（2）的范围适应，并具有比其能量控制装置更深的深度适应性 加速器。 通过移动检测装置（7）来监视患者的运动，用于检测治疗空间（8）中肿瘤组织（3）的位置的时间和位置变化。 当在时间和位置变化的过程中扫描肿瘤组织（3）时，控制装置控制偏转装置（1）和深度适应装置（5），用于分别调节离子束方向和离子束范围 肿瘤组织（3）在治疗空间（8）中的位置。

公开(公告)号：US06271976B1

公开(公告)日：2001-08-07

申请号：US09490890

申请日：2000-01-27

申请人： Ulrich Weber

发明人： Ulrich Weber

IPC分类号： G02B702

CPC分类号： G03F7/70825 ,  G02B7/003 ,  G02B7/023

摘要： In the case of an apparatus for tilting an object about at least one axis, in particular an optical element, such as a lens (9), the object in the case of an optical element is supported by an inner ring (7) and connected via at least three bearing points to a mount or an outer ring (8). Tilting of the object (9) is adjustable by means of adjusting elements. A plurality of links (1-6) are provided as adjusting elements, some of which, as supporting links (1-4), bear the inner ring (7) with respect to the outer ring (8) in such a way that the inner ring (7) can rotate only about two mutually perpendicular tilting axes (x, y axis). Two further links, as adjusting links (5, 6), support torsional moments about the mutually perpendicular tilting axes. The tilting angles are adjustable by adjusting the adjusting links (5, 6).

摘要翻译： 在用于使物体围绕至少一个轴倾斜的装置的情况下，特别是诸如透镜（9）的光学元件的情况下，在光学元件的情况下的物体由内圈（7）支撑并连接 通过至少三个轴承点到安装件或外圈（8）。 物体（9）的倾斜可通过调节元件调节。 多个连杆（1-6）被设置为调节元件，其中一些作为支撑连杆（1-4），相对于外圈（8）以相对于外圈（8）的方式支承内圈（7） 内环（7）只能旋转约两个相互垂直的倾斜轴（x，y轴）。 作为调整链接（5,6）的另外两个链接支持相互垂直的倾斜轴的扭转力矩。 通过调整调节连杆（5,6）可以调节倾斜角度。