公开(公告)号：US5318652A

公开(公告)日：1994-06-07

申请号：US994157

申请日：1992-12-21

申请人： Robert D. Horning ,  Thomas G. Stratton ,  Deidrich J. Saathoff

发明人： Robert D. Horning ,  Thomas G. Stratton ,  Deidrich J. Saathoff

IPC分类号： G01L9/04 ,  B81C1/00 ,  G01L9/00 ,  G01L9/12 ,  H01L21/02 ,  H01L21/20 ,  H01L21/306 ,  H01L29/84 ,  B32B31/00

CPC分类号： B81C1/00182 ,  G01L9/0042 ,  G01L9/0073 ,  H01L21/2007 ,  B81B2201/0292 ,  B81B2203/0127

摘要： Low temperature wafer bonding process enhancement makes a wafer surface hydrophobic, preparing it with a buffered oxide etchant and then exposing it to H.sub.2 O.sub.2 before thermoelectric bonding. Has particular application to diaphragm-based pressure sensor construction.

摘要翻译： 低温晶片接合工艺增强使晶片表面疏水，用缓冲氧化物蚀刻剂制备，然后在热电接合之前将其暴露于H 2 O 2。 特别适用于膜片式压力传感器的施工。

公开(公告)号：US5295395A

公开(公告)日：1994-03-22

申请号：US652148

申请日：1991-02-07

申请人： G. Benjamin Hocker ,  David W. Burns ,  Akintunde I. Akinwande ,  Robert D. Horning ,  Amir R. Mirza ,  Thomas G. Stratton ,  Deidrich J. Saathoff ,  James K. Carney ,  Scott A. McPherson

发明人： G. Benjamin Hocker ,  David W. Burns ,  Akintunde I. Akinwande ,  Robert D. Horning ,  Amir R. Mirza ,  Thomas G. Stratton ,  Deidrich J. Saathoff ,  James K. Carney ,  Scott A. McPherson

IPC分类号： G01L9/04 ,  B81C1/00 ,  G01L9/00 ,  G01L9/12 ,  H01L21/02 ,  H01L21/20 ,  H01L21/306 ,  H01L29/84 ,  G01L13/02

CPC分类号： B81C1/00182 ,  G01L9/0042 ,  G01L9/0073 ,  H01L21/2007 ,  B81B2201/0292 ,  B81B2203/0127

摘要： The formation of diaphragms by silicon wafer bonding provides for a structure having at least two such diaphragms with cavities in the wafers to which the diaphragm layer is bonded. Passageways through the wafers provide for communication of a fluid to the diaphragms. In some locations less than all of a plurality of diaphragms may be bonded to only one wafter having a cavity adjacent the diaphragm.

摘要翻译： 通过硅晶片接合形成隔膜提供了具有至少两个这样的隔膜的结构，其中隔膜层与晶片层结合在晶片上。 通过晶片的通道提供流体到膜片的连通。 在一些位置中，少于所有多个隔膜的位置可以仅结合到具有与隔膜相邻的空腔的一个凹部。

公开(公告)号：US5683594A

公开(公告)日：1997-11-04

申请号：US217044

申请日：1994-03-24

申请人： G. Benjamin Hocker ,  David W. Burns ,  Akintunde I. Akinwande ,  Robert D. Horning ,  Amir R. Mirza ,  Thomas G. Stratton ,  Deidrich J. Saathoff ,  James K. Carney ,  Scott A. McPherson

发明人： G. Benjamin Hocker ,  David W. Burns ,  Akintunde I. Akinwande ,  Robert D. Horning ,  Amir R. Mirza ,  Thomas G. Stratton ,  Deidrich J. Saathoff ,  James K. Carney ,  Scott A. McPherson

IPC分类号： G01L9/04 ,  B81C1/00 ,  G01L9/00 ,  G01L9/12 ,  H01L21/02 ,  H01L21/20 ,  H01L21/306 ,  H01L29/84 ,  B32B31/00

CPC分类号： B81C1/00182 ,  G01L9/0042 ,  G01L9/0073 ,  H01L21/2007 ,  B81B2201/0292 ,  B81B2203/0127

摘要： This patent relates to the fabrication of diaphragm-based microstructures used primarily for sensing physical phenomena by detecting a change in deflection, resonance, or curvature of the diaphragm. The methods of fabrication described and claimed herein relate primarily to diaphragm-based diaphragms made of silicon, either single crystal or polycrystalline in form, although other materials may be used.

摘要翻译： 该专利涉及通过检测隔膜的偏转，共振或曲率的变化来主要用于感测物理现象的基于隔膜的微结构的制造。 本文所述和要求保护的制造方法主要涉及由硅制成的隔膜式隔膜，其形式为单晶或多晶，尽管可以使用其他材料。

公开(公告)号：US4215188A

公开(公告)日：1980-07-29

申请号：US66155

申请日：1979-08-13

申请人： Deidrich J. Saathoff ,  Hanumanthiyna V. Venkatasetty

发明人： Deidrich J. Saathoff ,  Hanumanthiyna V. Venkatasetty

IPC分类号： H01M4/58 ,  H01M6/16 ,  H01M10/056 ,  H01M10/0567 ,  H01M10/36 ,  H01M10/40

CPC分类号： H01M4/581 ,  H01M10/056 ,  H01M10/0567 ,  H01M6/166

摘要： An electrolyte solution for use in rechargeable electrochemical cells having nickel substrate as working electrode and lithium counter electrode and an electrochemically active amount of LiAsF.sub.6 dissolved in dimethyl sulfite and a rechargeability improving amount of lithium carbonate, Li.sub.2 CO.sub.3, contained therein to form electrolyte solution, said solution being capable of passing through a molecular sieve of less than about 5 Angstroms has been developed. A preferred embodiment includes a one molar solution of the LiAsF.sub.6 and from about 0.07 to 0.14 molar solution of Li.sub.2 CO.sub.3. The electrolyte solution has 85-90 percent efficiency for cycling lithium on nickel substrate.

摘要翻译： 一种用于可充电电化学电池的电解质溶液，其具有镍基底作为工作电极和锂对电极以及溶解在二甲基亚硫酸盐中的电化学活性量的LiAsF 6和其中包含的可充电性改进量的碳酸锂Li 2 CO 3以形成电解质溶液，所述溶液 能够通过小于约5埃的分子筛。 优选的实施方案包括LiAlF 6的一摩尔溶液和约0.07至0.14摩尔的Li 2 CO 3溶液。 电解质溶液在镍基底上循环锂的效率为85-90％。

公开(公告)号：US4355086A

公开(公告)日：1982-10-19

申请号：US307480

申请日：1981-10-01

申请人： Deidrich J. Saathoff ,  Hanumanthiya V. Venkatasetty

发明人： Deidrich J. Saathoff ,  Hanumanthiya V. Venkatasetty

IPC分类号： H01M6/14 ,  H01M4/36

CPC分类号： H01M6/14

摘要： The discharge rate and internal conductivity of electrochemical cell including a lithium anode, and a cathode and an electrolyte including LiAlCl.sub.4 and SOCl.sub.2 is improved by the addition of an amount of a mixture containing AlCl.sub.3 and Butyl Pyridinium Chloride.

摘要翻译： 通过添加一定量的含有AlCl 3和丁基吡啶鎓氯化物的混合物，改善了包括锂阳极和阴极以及包含LiAlCl 4和SOCl 2的电解质的电化学电池的放电速率和内部电导率。

公开(公告)号：US4228227A

公开(公告)日：1980-10-14

申请号：US66154

申请日：1979-08-13

申请人： Deidrich J. Saathoff ,  Hanumanthiyna V. Venkatasetty

发明人： Deidrich J. Saathoff ,  Hanumanthiyna V. Venkatasetty

IPC分类号： H01M10/0566 ,  H01M10/40

CPC分类号： H01M10/0566

摘要： An electrolyte for use in rechargeable electrochemical cells having a lithium electrode and a depolarizer which includes an electrochemically active amount of LiAsF.sub.6 dissolved in tetrahydrofuran and a rechargeability improving amount of LiI contained therein to form an electrolyte solution, said solution being capable of passing through a molecular sieve of less than 5 Angstroms. A preferred embodiment includes a 1 molar solution of the LiAsF.sub.6 and from about 0.8 to 1.4 molar solution of LiI.

摘要翻译： 一种用于具有锂电极和消偏振器的可再充电电化学电池中的电解质，其包括溶解在四氢呋喃中的电化学活性量的LiAsF 6和其中所含的LiI的可再充电量以形成电解质溶液，所述溶液能够通过分子 小于5埃的筛子。 优选的实施方案包括1摩尔的LiAsF 6溶液和约0.8至1.4摩尔的LiI溶液。