公开(公告)号：US5656186A

公开(公告)日：1997-08-12

申请号：US224961

申请日：1994-04-08

申请人： Gerard A. Mourou ,  Detao Du ,  Subrata K. Dutta ,  Victor Elner ,  Ron Kurtz ,  Paul R. Lichter ,  Xinbing Liu ,  Peter P. Pronko ,  Jeffrey A. Squier

发明人： Gerard A. Mourou ,  Detao Du ,  Subrata K. Dutta ,  Victor Elner ,  Ron Kurtz ,  Paul R. Lichter ,  Xinbing Liu ,  Peter P. Pronko ,  Jeffrey A. Squier

IPC分类号： A61B18/20 ,  A61F9/008 ,  B23K26/00 ,  B23K26/06 ,  B23K26/36 ,  B23K26/38 ,  B23K26/40 ,  H01S3/00 ,  B23K26/02

CPC分类号： B23K26/0624 ,  A61B18/20 ,  A61F9/00825 ,  B23K26/0057 ,  B23K26/066 ,  B23K26/382 ,  B23K26/40 ,  B23K26/402 ,  B23K2201/40 ,  B23K2203/08 ,  B23K2203/10 ,  B23K2203/50 ,  B23K2203/54

摘要： In one aspect the invention provides a method for laser induced breakdown of a material with a pulsed laser beam where the material is characterized by a relationship of fluence breakdown threshold (F.sub.th) versus laser beam pulse width (T) that exhibits an abrupt, rapid, and distinct change or at least a clearly detectable and distinct change in slope at a predetermined laser pulse width value. The method comprises generating a beam of laser pulses in which each pulse has a pulse width equal to or less than the predetermined laser pulse width value. The beam is focused to a point at or beneath the surface of a material where laser induced breakdown is desired.The beam may be used in combination with a mask in the beam path. The beam or mask may be moved in the x, y, and Z directions to produce desired features. The technique can produce features smaller than the spot size and Rayleigh range due to enhanced damage threshold accuracy in the short pulse regime.

摘要翻译： 在一个方面，本发明提供了一种用于脉冲激光束的材料的激光诱导击穿的方法，其中材料的特征在于注射击穿阈值（Fth）与激光束脉冲宽度（T）的关系，其显示突然，快速， 并且在预定的激光脉冲宽度值处具有明显的变化或至少清楚可检测和明显的斜率变化。 该方法包括生成激光脉冲束，其中每个脉冲具有等于或小于预定激光脉冲宽度值的脉冲宽度。 光束聚焦到需要激光诱发击穿的材料表面上或下方的点。 光束可以与光束路径中的掩模组合使用。 光束或掩模可以在x，y和z方向上移动以产生期望的特征。 该技术可以产生小于点尺寸和瑞利范围的特征，这是由于在短脉冲状态下增强的损伤阈值精度。

公开(公告)号：USRE37585E1

公开(公告)日：2002-03-19

申请号：US09366685

申请日：1999-08-04

申请人： Gérard Mourou ,  Detao Du ,  Subrata K. Dutta ,  Victor Elner ,  Ron Kurtz ,  Paul R. Lichter ,  Xinbing Liu ,  Peter P. Pronko ,  Jeffrey A. Squier

发明人： Gérard Mourou ,  Detao Du ,  Subrata K. Dutta ,  Victor Elner ,  Ron Kurtz ,  Paul R. Lichter ,  Xinbing Liu ,  Peter P. Pronko ,  Jeffrey A. Squier

IPC分类号： B23K2602

CPC分类号： B23K26/0624 ,  A61B18/20 ,  A61F9/00825 ,  B23K26/066 ,  B23K26/382 ,  B23K26/40 ,  B23K26/53 ,  B23K2101/40 ,  B23K2103/08 ,  B23K2103/10 ,  B23K2103/50 ,  B23K2103/54

摘要： In one aspect the invention provides a method for laser induced breakdown of a material with a pulsed laser beam where the material is characterized by a relationship of fluence breakdown threshold (Fth) versus laser beam pulse width (T) that exhibits an abrupt, rapid, and distinct change or at least a clearly detectable and distinct change in slope at a predetermined laser pulse width value. The method comprises generating a beam of laser pulses in which each pulse has a pulse width equal to or less than the predetermined laser pulse width value. The beam is focused to a point at or beneath the surface of a material where laser induced breakdown is desired. The beam may be used in combination with a mask in the beam path. The beam or mask may be moved in the x, y, and Z directions to produce desired features. The technique can produce features smaller than the spot size and Rayleigh range due to enhanced damage threshold accuracy in the short pulse regime.

摘要翻译： 在一个方面，本发明提供了一种用于脉冲激光束的材料的激光诱导击穿的方法，其中材料的特征在于注射击穿阈值（Fth）与激光束脉冲宽度（T）的关系，其显示突然，快速， 并且在预定的激光脉冲宽度值处具有明显的变化或至少清楚可检测和明显的斜率变化。 该方法包括生成激光脉冲束，其中每个脉冲具有等于或小于预定激光脉冲宽度值的脉冲宽度。 光束被聚焦到需要激光诱发击穿的材料的表面上或下方的点。光束可以与光束路径中的掩模组合使用。 光束或掩模可以在x，y和z方向上移动以产生期望的特征。 该技术可以产生小于点尺寸和瑞利范围的特征，这是由于在短脉冲状态下增强的损伤阈值精度。