公开(公告)号：US07423733B2

公开(公告)日：2008-09-09

申请号：US10894367

申请日：2004-07-20

申请人： Bastiaan Lambertus Wilhelmus Marinus Van De Ven ,  Gert-Jan Heerens ,  Robert Gabriël Maria Lansbergen ,  Martinus Hendrikus Antonius Leenders ,  Erik Roelof Loopstra

发明人： Bastiaan Lambertus Wilhelmus Marinus Van De Ven ,  Gert-Jan Heerens ,  Robert Gabriël Maria Lansbergen ,  Martinus Hendrikus Antonius Leenders ,  Erik Roelof Loopstra

IPC分类号： G03B27/62

CPC分类号： G03F7/707 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/70741 ,  G03F7/70783 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/709

摘要： The invention pertains to a lithographic apparatus that includes a docking system for positioning a patterning device, such as a reticle, relative to the reticle stage. The lithographic projection apparatus has an operational cycle that includes a projection phase, in which the reticle stage carries the patterning device and an exchange phase, in which the patterning device is exchanged and the docking system positions the patterning device relative to the reticle stage. The docking system is configured to be spaced from the patterning device during the projection phase in order to ensure that a higher accuracy of the projected image is obtained.

摘要翻译： 本发明涉及一种光刻设备，其包括用于相对于标线片台定位图案形成装置（例如掩模版）的对接系统。 光刻投影设备具有包括投影相的操作周期，其中标线片载物台承载图案形成装置和交换相，其中图案形成装置被更换，并且对接系统相对于掩模版台定位图案形成装置。 对接系统被配置为在投影阶段与图案形成装置间隔开，以便确保获得更高的投影图像精度。

公开(公告)号：US07248340B2

公开(公告)日：2007-07-24

申请号：US10874690

申请日：2004-06-24

申请人： Erik Leonardus Ham ,  Robert Gabriël Maria Lansbergen ,  Ellart Alexander Meijer ,  Hendricus Johannes Maria Meijer ,  Hans Meiling ,  Bastiaan Matthias Mertens ,  Johannes Hubertus Josephina Moors ,  Gert-Jan Heerens

发明人： Erik Leonardus Ham ,  Robert Gabriël Maria Lansbergen ,  Ellart Alexander Meijer ,  Hendricus Johannes Maria Meijer ,  Hans Meiling ,  Bastiaan Matthias Mertens ,  Johannes Hubertus Josephina Moors ,  Gert-Jan Heerens

IPC分类号： G03B27/42 ,  G03B27/62

CPC分类号： G03B27/52 ,  G03F7/70741

摘要： A transport box for transporting a lithographic patterning device and a lithographic apparatus adapted to cooperate with the transport box are presented. The transport box is provided with a container part having an inner space with a storing position for storing the patterning device and an opening for the transfer of the patterning device. The box also includes a closure part for closing the opening, and a channel system for evacuating and/or feeding gasses from/to the inner space the box.

摘要翻译： 提出了用于传送平版印刷图案形成装置的传送箱和适于与传送箱配合的光刻设备。 输送箱设置有具有用于存储图案形成装置的存储位置的内部空间和用于传送图案形成装置的开口的容器部分。 该箱还包括用于封闭开口的封闭部分，以及用于将气体从箱体内部空间排出和/或送入箱体的内部空间的通道系统。

公开(公告)号：US07151589B2

公开(公告)日：2006-12-19

申请号：US10972755

申请日：2004-10-26

申请人： Erik Leonardus Ham ,  Gert-Jan Heerens ,  Robert Gabriël Maria Lansbergen ,  Ellard Alexander Meijer ,  Hendricus Johannes Maria Meijer ,  Hans Meiling ,  Bastiaan Matthias Mertens ,  Johannes Hubertus Josephina Moors

发明人： Erik Leonardus Ham ,  Gert-Jan Heerens ,  Robert Gabriël Maria Lansbergen ,  Ellard Alexander Meijer ,  Hendricus Johannes Maria Meijer ,  Hans Meiling ,  Bastiaan Matthias Mertens ,  Johannes Hubertus Josephina Moors

IPC分类号： G03B27/32 ,  G03B27/52

CPC分类号： G03B27/52 ,  G03F7/70741

摘要： According to an embodiment, a box for transporting a lithographic patterning device is arranged to cooperate with a lithographic apparatus. The transport box may be provided with a container part having an inner space with a storing position for storing the patterning device and an opening for the transfer of the patterning device. Prior to transfer of the patterning device from the inner space to the apparatus, the inner space is pressurized. The box may also comprise a closure part for closing the opening, and/or a channel system for evacuating and/or feeding gasses from/to the inner space of the box. Other embodiments include a lithographic apparatus comprising and/or configured to cooperate with such a box.

摘要翻译： 根据实施例，用于传送平版印刷图案形成装置的盒被布置成与光刻设备配合。 运输箱可以设置有具有内部空间的容器部分，该内部空间具有用于存储图案形成装置的存储位置和用于图案形成装置的传送的开口。 在将图案形成装置从内部空间传送到装置之前，内部空间被加压。 箱子还可以包括用于关闭开口的封闭部分和/或用于将气体从箱体的内部空间排出和/或进气的通道系统。 其他实施例包括包括和/或配置为与这种盒配合的光刻设备。

公开(公告)号：US09457947B2

公开(公告)日：2016-10-04

申请号：US13651274

申请日：2012-10-12

申请人： Robert Gabriël Maria Lansbergen ,  Peter C. Kochersperger ,  David Ramirez ,  Xugang Xiong ,  George Hilary Harrold ,  Arindam Sinharoy

发明人： Robert Gabriël Maria Lansbergen ,  Peter C. Kochersperger ,  David Ramirez ,  Xugang Xiong ,  George Hilary Harrold ,  Arindam Sinharoy

IPC分类号： G03B27/72 ,  B65D81/02 ,  G03F7/20 ,  G03F1/24 ,  G03F1/66 ,  H01L21/673 ,  B65B5/04

CPC分类号： B65D81/02 ,  B65B5/04 ,  G03F1/24 ,  G03F1/66 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/70741 ,  H01L21/67359

摘要： An apparatus and a method to hold a patterning device configured to impart a beam of radiation with a pattern in its cross-section. The apparatus includes a base configured to support the patterning device and an inner cover couplable to the base. The inner cover includes a restraining mechanism that, upon an application of a force external to the inner cover, is configured to provide an in-plane force to the patterning device to restrain movement of the patterning device, the in-plane force being substantially parallel to a patterning surface of the patterning device.

摘要翻译： 一种用于保持图案形成装置的装置和方法，其被配置成在其横截面中赋予具有图案的辐射束。 该装置包括：基座，其被配置为支撑图案形成装置;以及内罩，其可连接到底座。 所述内盖包括约束机构，所述约束机构在施加所述内盖外部的力时被配置为向所述图案形成装置提供面内力以限制所述图案形成装置的移动，所述面内力基本上平行 到图案形成装置的图案化表面。

公开(公告)号：US09268241B2

公开(公告)日：2016-02-23

申请号：US12921555

申请日：2009-04-14

申请人： Robert Gabriël Maria Lansbergen ,  George Hilary Harrold ,  Richard John Johnson ,  Hugo Jacobus Gerardus Van Der Weijden

发明人： Robert Gabriël Maria Lansbergen ,  George Hilary Harrold ,  Richard John Johnson ,  Hugo Jacobus Gerardus Van Der Weijden

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： G03F7/70741 ,  G03F7/70983 ,  H01L21/682

摘要： Provided is a method and apparatus for moving and exchanging reticles within a vacuum lithographic system with minimum particle generation and outgassing. In an example of the method, a first arm of a rotational exchange device (RED) receives a first baseplate holding a first reticle. A second arm of the RED supports and buffers a second baseplate. The first and second baseplates are located substantially equidistant from an axis of rotation of the RED.

摘要翻译： 提供了一种用于在具有最少的颗粒产生和除气的真空平版印刷系统内移动和交换标线片的方法和装置。 在该方法的示例中，旋转交换装置（RED）的第一臂接收保持第一掩模版的第一基板。 RED的第二臂支撑并缓冲第二个基板。 第一和第二基板位于与RED的旋转轴线基本上等距的位置。

公开(公告)号：US08614786B2

公开(公告)日：2013-12-24

申请号：US12936465

申请日：2009-04-22

申请人： Robert Gabriël Maria Lansbergen ,  George Hilary Harrold ,  Matthew James Van Doren

发明人： Robert Gabriël Maria Lansbergen ,  George Hilary Harrold ,  Matthew James Van Doren

IPC分类号： G03B27/60 ,  G03B27/58

CPC分类号： G03F7/7075 ,  G03F7/70741 ,  H01L21/67225 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67748

摘要： A robot positions a workpiece within a vacuum chamber of a lithographic apparatus. A first component of the robot is located within a vacuum chamber to position a workpiece along a translational axis. A shaft supports the first component such that an axis of symmetry of the shaft is perpendicular to the translational axis, and a second component rotates the shaft about the axis of symmetry and moves the shaft in a direction parallel to the axis of symmetry. The second component includes a gas bearing configured to introduce gas along a circumferential surface of the shaft and a scavenging seal configured to evacuate the gas introduced by the second component gas bearing. The robot substantially reduces, or eliminates the out-gassing of hydrocarbon molecules in a range from about 0 to 200 a.m.u., thus rendering the robot suitable for use in extreme ultra-violet (EUV) photolithography applications.

摘要翻译： 机器人将工件放置在光刻设备的真空室内。 机器人的第一部件位于真空室内，以沿着平移轴定位工件。 轴支撑第一部件，使得轴的对称轴线垂直于平移轴线，第二部件使轴围绕对称轴旋转，并使轴沿平行于对称轴线的方向移动。 第二部件包括构造成沿着轴的圆周表面引入气体的气体轴承和被构造成抽空由第二部件气体轴承引入的气体的扫气密封件。 机器人基本上减少或消除烃分子在约0至200微米的范围内的排气，从而使机器人适用于极紫外（EUV）光刻应用。

公开(公告)号：US20110032505A1

公开(公告)日：2011-02-10

申请号：US12936465

申请日：2009-04-22

申请人： Robert Gabriël Maria Lansbergen ,  George Hilary Harrold ,  Matthew James Van Doren

发明人： Robert Gabriël Maria Lansbergen ,  George Hilary Harrold ,  Matthew James Van Doren

IPC分类号： G03B27/60 ,  H01L21/677

CPC分类号： G03F7/7075 ,  G03F7/70741 ,  H01L21/67225 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67748

摘要： A robot positions a workpiece within a vacuum chamber of a lithographic apparatus. A first component of the robot is located within a vacuum chamber to position a workpiece along a translational axis. A shaft supports the first component such that an axis of symmetry of the shaft is perpendicular to the translational axis, and a second component rotates the shaft about the axis of symmetry and moves the shaft in a direction parallel to the axis of symmetry. The second component includes a gas bearing configured to introduce gas along a circumferential surface of the shaft and a scavenging seal configured to evacuate the gas introduced by the second component gas bearing. The robot substantially reduces, or eliminates the out-gassing of hydrocarbon molecules in a range from about 0 to 200 a.m.u., thus rendering the robot suitable for use in extreme ultra-violet (EUV) photolithography applications.

摘要翻译： 机器人将工件定位在光刻设备的真空室内。 机器人的第一部件位于真空室内，以沿着平移轴定位工件。 轴支撑第一部件，使得轴的对称轴线垂直于平移轴线，第二部件使轴围绕对称轴旋转，并使轴沿平行于对称轴线的方向移动。 第二部件包括构造成沿着轴的圆周表面引入气体的气体轴承和被构造成抽空由第二部件气体轴承引入的气体的扫气密封件。 机器人基本上减少或消除烃分子在约0至200微米的范围内的排气，从而使机器人适用于极紫外（EUV）光刻应用。