公开(公告)号：US20090180887A1

公开(公告)日：2009-07-16

申请号：US12087761

申请日：2007-01-15

申请人： Bob Mischo ,  Reza Abhari ,  Thomas Behr

发明人： Bob Mischo ,  Reza Abhari ,  Thomas Behr

IPC分类号： F01D5/14

CPC分类号： F01D11/122 ,  F01D5/20 ,  F05D2240/55

摘要： A turbine blade (1) with a side surface (7) having an aerodynamic profile. The turbine blade (1) further comprises an end surface (6) and is mounted in a turbine, whereby the end surface (6) is delimited by a gap from a casing (8) of the turbine. The end surface (6) comprises a recess (2) which is shaped such that it acts as an improved aerodynamic seal.

摘要翻译： 具有侧表面（7）具有空气动力学特性的涡轮叶片（1）。 涡轮叶片（1）还包括端面（6）并且安装在涡轮机中，由此端面（6）由与涡轮机的壳体（8）的间隙限定。 端面（6）包括凹部（2），其形状使得其用作改进的空气动力学密封。

公开(公告)号：US08723147B2

公开(公告)日：2014-05-13

申请号：US13262184

申请日：2010-03-25

申请人： Reza Abhari ,  Andrea Giovannini ,  Bob Rollinger ,  Davide Bleiner

发明人： Reza Abhari ,  Andrea Giovannini ,  Bob Rollinger ,  Davide Bleiner

IPC分类号： H05G2/00 ,  G21K5/00

CPC分类号： G03F7/70916 ,  G03F7/70908 ,  G03F7/70983

摘要： The extreme ultraviolet light source comprises a production site capable of producing extreme ultraviolet radiation in a laser-produced plasma (3), and a collector optics (6) for collimating the extreme ultraviolet radiation. A pressurized influx of gas forms a gas curtain between the production site and the collector optics (6) in order to protect the collector optics (6) from debris (4) generated at the production site. The gas influx is directed in a way that it follows the surface of the collector optics (6). By thus shielding the collector optics (6) from the debris (4) its lifetime is enhanced. The shielding gas can further be used for cooling the collector optics (6).

摘要翻译： 极紫外光源包括能够在激光产生的等离子体（3）中产生极紫外辐射的生产部位和用于准直极紫外辐射的收集器光学器件（6）。 加压的气体流入在生产部位和收集器光学器件（6）之间形成气幕，以保护收集器光学元件（6）免受在生产现场产生的碎屑（4）的影响。 气体流入以其沿着收集器光学器件（6）的表面的方式引导。 通过如此屏蔽收集器光学元件（6）与碎片（4），其使用寿命得到提高。 保护气体还可用于冷却收集器光学器件（6）。

公开(公告)号：US20120025109A1

公开(公告)日：2012-02-02

申请号：US13262184

申请日：2010-03-25

申请人： Reza Abhari ,  Andrea Giovannini ,  Bod Rollinger ,  Davide Bleiner

发明人： Reza Abhari ,  Andrea Giovannini ,  Bod Rollinger ,  Davide Bleiner

IPC分类号： G21K5/04

CPC分类号： G03F7/70916 ,  G03F7/70908 ,  G03F7/70983

摘要： The extreme ultraviolet light source comprises a production site capable of producing extreme ultraviolet radiation in a laser-produced plasma (3), and a collector optics (6) for collimating the extreme ultraviolet radiation. A pressurized influx of gas forms a gas curtain between the production site and the collector optics (6) in order to protect the collector optics (6) from debris (4) generated at the production site. The gas influx is directed in a way that it follows the surface of the collector optics (6). By thus shielding the collector optics (6) from the debris (4) its lifetime is enhanced. The shielding gas can further be used for cooling the collector optics (6).

摘要翻译： 极紫外光源包括能够在激光产生的等离子体（3）中产生极紫外辐射的生产部位和用于准直极紫外辐射的收集器光学器件（6）。 加压的气体流入在生产部位和收集器光学器件（6）之间形成气幕，以保护收集器光学元件（6）免受在生产现场产生的碎屑（4）的影响。 气体流入以其沿着收集器光学器件（6）的表面的方式引导。 通过如此屏蔽收集器光学元件（6）与碎片（4），其使用寿命得到提高。 保护气体还可用于冷却收集器光学器件（6）。

公开(公告)号：US09307625B2

公开(公告)日：2016-04-05

申请号：US14110048

申请日：2012-04-02

申请人： Bob Rollinger ,  Reza Abhari ,  Andrea Giovannini ,  Ian Henderson

发明人： Bob Rollinger ,  Reza Abhari ,  Andrea Giovannini ,  Ian Henderson

IPC分类号： H05G2/00 ,  B05B1/02 ,  B05B17/06

CPC分类号： H05G2/008 ,  B05B1/02 ,  B05B17/0623 ,  H05G2/005 ,  H05G2/006

摘要： A droplet dispensing device includes a reservoir for receiving a liquid material, an outlet nozzle in fluid communication with the reservoir and a piezoelectric actuating means acting on the liquid material at the outlet nozzle to exit the outlet nozzle in a sequence of droplets. A piezoelectric actuating means that includes a piston, which is actuated by a piezoelectric actuator at one end and dips the other, free end into the liquid material is provided just upstream of the outlet nozzle.

摘要翻译： 液滴分配装置包括用于接收液体材料的储存器，与储存器流体连通的出口喷嘴和在出口喷嘴处作用在液体材料上的压电致动装置，以一系列液滴离开出口喷嘴。 压电致动装置包括一个活塞，该活塞由一端的压电致动器致动并将另一个自由端浸入液体材料中，恰好在出口喷嘴的上游。

公开(公告)号：US20140151582A1

公开(公告)日：2014-06-05

申请号：US14110048

申请日：2012-04-02

申请人： Bob Rollinger ,  Reza Abhari ,  Andrea Giovannini ,  Ian Henderson

发明人： Bob Rollinger ,  Reza Abhari ,  Andrea Giovannini ,  Ian Henderson

IPC分类号： H05G2/00

CPC分类号： H05G2/008 ,  B05B1/02 ,  B05B17/0623 ,  H05G2/005 ,  H05G2/006

摘要： A droplet dispensing device includes a reservoir for receiving a liquid material, an outlet nozzle in fluid communication with the reservoir and a piezoelectric actuating means acting on the liquid material at the outlet nozzle to exit the outlet nozzle in a sequence of droplets. A piezoelectric actuating means that includes a piston, which is actuated by a piezoelectric actuator at one end and dips the other, free end into the liquid material is provided just upstream of the outlet nozzle.

摘要翻译： 液滴分配装置包括用于接收液体材料的储存器，与储存器流体连通的出口喷嘴和作用在出口喷嘴处的液体材料上的按照一系列液滴离开出口喷嘴的压电致动装置。 压电致动装置包括一个活塞，该活塞由一端的压电致动器致动并将另一个自由端浸入液体材料中，恰好在出口喷嘴的上游。

公开(公告)号：US09513569B2

公开(公告)日：2016-12-06

申请号：US13635851

申请日：2011-03-16

申请人： Franz Dieterich ,  Reza Abhari ,  Andrea Giovannini ,  Vipluv Aga

发明人： Franz Dieterich ,  Reza Abhari ,  Andrea Giovannini ,  Vipluv Aga

IPC分类号： G03F7/20 ,  B82Y10/00 ,  G21K1/06

CPC分类号： G03F7/70891 ,  B82Y10/00 ,  G03F7/70175 ,  G21K1/06 ,  G21K2201/061 ,  G21K2201/065

摘要： An optical collector (15) for collecting extreme ultraviolet radiation or EUV light generated at a central EUV production site comprises a reflective shell (25). To cope with thermal loading of the collector and avoid deformations, the reflective shell (25) is mounted on a support structure (24), such that a cooling channel (29) is established between the back side of the reflective shell (25) and the support structure (24), the thickness of the reflective shell (25) is substantially reduced, such that the convective heat transfer between the back side of the reflective shell (25) and a cooling medium (26) flowing through the cooling channel (29) dominates the process of removing heat from the reflective shell (25) with respect to heat conduction, and a cooling circuit (33) is connected to the cooling channel (29); to supply a cooling medium (26) to the cooling channel (29) with a controlled coolant pressure and/or mass flow.

摘要翻译： 用于收集在中央EUV生产地点产生的极紫外辐射或EUV光的光学收集器（15）包括反射壳（25）。 为了应对收集器的热负荷并避免变形，反射壳体（25）安装在支撑结构（24）上，使得在反射壳体（25）的背面和 支撑结构（24），反射壳体（25）的厚度被大大减小，使得反射壳体（25）的背面与流过冷却通道的冷却介质（26）之间的对流热传递 29）支配相对于热传导从反射壳体（25）去除热量的过程，并且冷却回路（33）连接到冷却通道（29）; 以受控的冷却剂压力和/或质量流量将冷却介质（26）供应到冷却通道（29）。

公开(公告)号：US20130134318A1

公开(公告)日：2013-05-30

申请号：US13637260

申请日：2011-03-16

申请人： Reza Abhari ,  Andrea Giovannini ,  Franz Dieterich

发明人： Reza Abhari ,  Andrea Giovannini ,  Franz Dieterich

IPC分类号： G02B19/00 ,  G02B27/00 ,  G01J1/04

CPC分类号： G02B27/0006 ,  G01J1/0411 ,  G02B19/0095 ,  G03F7/70033 ,  G03F7/70916

摘要： The invention relates to a beam line (30) for a source of extreme ultraviolet (EUV) radiation, wherein a EUV-radiating plasma is generated by irradiating droplets of a suitable target material with a focused laser beam (5) at a plasma generation point, said beam line (30) comprising within a vacuum chamber (7): a beam delivery system (2) comprising a focusing lens and means for cooling and shielding said focusing lens; a EUV mirror collector (1), which collects and focuses the radiated EUV in a EUV beam (6) at an intermediate focus (IF); a beam dump (3) capable of damping at least a portion of the laser beam (5) without imposing a shadow on the collected and focused EUV beam (6); and an intermediate focus module (4) for blocking particles from leaving the vacuum chamber (7) with the EUV beam (6).

摘要翻译： 本发明涉及一种用于远紫外线（EUV）辐射源的射束线（30），其中通过在等离子体产生点处照射聚焦激光束（5）的合适靶材料的液滴来产生EUV辐射等离子体 ，所述光束线（30）包括在真空室（7）内：束传送系统（2），包括聚焦透镜和用于冷却和屏蔽所述聚焦透镜的装置; EUV镜收集器（1），其在中间焦点（IF）处收集并聚焦在EUV光束（6）中的辐射EUV; 能够阻挡所述激光束（5）的至少一部分而不在所收集和聚焦的EUV光束（6）上施加阴影的光束收集器（3）; 和用于阻挡颗粒与EUV射束（6）离开真空室（7）的中间聚焦模块（4）。

公开(公告)号：US20130003167A1

公开(公告)日：2013-01-03

申请号：US13635851

申请日：2011-03-16

申请人： Franz Dieterich ,  Reza Abhari ,  Andrea Giovannini ,  Vipluv Aga

发明人： Franz Dieterich ,  Reza Abhari ,  Andrea Giovannini ,  Vipluv Aga

IPC分类号： G02B7/195 ,  G02B5/08

CPC分类号： G03F7/70891 ,  B82Y10/00 ,  G03F7/70175 ,  G21K1/06 ,  G21K2201/061 ,  G21K2201/065

摘要： An optical collector (15) for collecting extreme ultraviolet radiation or EUV light generated at a central EUV production site comprises a reflective shell (25). To cope with thermal loading of the collector and avoid deformations, the reflective shell (25) is mounted on a support structure (24), such that a cooling channel (29) is established between the back side of the reflective shell (25) and the support structure (24), the thickness of the reflective shell (25) is substantially reduced, such that the convective heat transfer between the back side of the reflective shell (25) and a cooling medium (26) flowing through the cooling channel (29) dominates the process of removing heat from the reflective shell (25) with respect to heat conduction, and a cooling circuit (33) is connected to the cooling channel (29); to supply a cooling medium (26) to the cooling channel (29) with a controlled coolant pressure and/or mass flow.

摘要翻译： 用于收集在中央EUV生产地点产生的极紫外辐射或EUV光的光学收集器（15）包括反射壳（25）。 为了应对收集器的热负荷并避免变形，反射壳体（25）安装在支撑结构（24）上，使得在反射壳体（25）的背面和 支撑结构（24），反射壳体（25）的厚度被大大减小，使得反射壳体（25）的背面与流过冷却通道的冷却介质（26）之间的对流热传递 29）支配相对于热传导从反射壳体（25）去除热量的过程，并且冷却回路（33）连接到冷却通道（29）; 以受控的冷却剂压力和/或质量流量将冷却介质（26）供应到冷却通道（29）。