公开(公告)号：US20160218010A1

公开(公告)日：2016-07-28

申请号：US14975932

申请日：2015-12-21

申请人： Bok-Young LEE ,  Yoo-Jung LEE ,  Dong-Hoon KHANG ,  Do-Hyoung KIM ,  Cheol KIM ,  In-Hee LEE ,  Ji-Eun HAN

发明人： Bok-Young LEE ,  Yoo-Jung LEE ,  Dong-Hoon KHANG ,  Do-Hyoung KIM ,  Cheol KIM ,  In-Hee LEE ,  Ji-Eun HAN

IPC分类号： H01L21/28 ,  H01L27/11 ,  H01L29/66

CPC分类号： H01L21/28132 ,  H01L27/1104 ,  H01L27/1116 ,  H01L29/66545

摘要： A method includes forming a first etch target layer and a first mask layer on a substrate. Sacrificial patterns extending in a first direction are formed on the first mask layer in a second direction. Spacers are formed on sidewalls of the sacrificial patterns. After removing the sacrificial patterns, the first mask layer is etched using the spacers as an etching mask to form first masks. Second masks are formed on sidewalls of each first mask to define a third masks including each first mask and the second masks on sidewalls of each first mask. The first etch target layer is etched using the first and third masks as an etching mask to form first and second patterns in the first and second regions, respectively. Each first pattern has a first width, and each second pattern has a second width greater than the first width.

摘要翻译： 一种方法包括在衬底上形成第一蚀刻目标层和第一掩模层。 在第一方向上在第一掩模层上形成沿第一方向延伸的牺牲图案。 垫片形成在牺牲图案的侧壁上。 在去除牺牲图案之后，使用间隔件作为蚀刻掩模来蚀刻第一掩模层以形成第一掩模。 第二掩模形成在每个第一掩模的侧壁上以限定包括每个第一掩模的第三掩模和在每个第一掩模的侧壁上的第二掩模。 使用第一和第三掩模蚀刻第一蚀刻目标层作为蚀刻掩模，以分别在第一和第二区域中形成第一和第二图案。 每个第一图案具有第一宽度，并且每个第二图案具有大于第一宽度的第二宽度。

公开(公告)号：US20150097251A1

公开(公告)日：2015-04-09

申请号：US14569597

申请日：2014-12-12

申请人： Byoung-Ho KWON ,  Cheol KIM ,  Ho-Young KIM ,  Se-Jung PARK ,  Myeong-Cheol KIM ,  Bo-Kyeong KANG ,  Bo-Un YOON ,  Jae-Kwang CHOI ,  Si-Young CHOI ,  Suk-Hoon JEONG ,  Geum-Jung SEONG ,  Hee-Don JEONG ,  Yong-Joon CHOI ,  Ji-Eun HAN

发明人： Byoung-Ho KWON ,  Cheol KIM ,  Ho-Young KIM ,  Se-Jung PARK ,  Myeong-Cheol KIM ,  Bo-Kyeong KANG ,  Bo-Un YOON ,  Jae-Kwang CHOI ,  Si-Young CHOI ,  Suk-Hoon JEONG ,  Geum-Jung SEONG ,  Hee-Don JEONG ,  Yong-Joon CHOI ,  Ji-Eun HAN

IPC分类号： H01L27/088 ,  H01L21/8234 ,  H01L29/66

CPC分类号： H01L29/7853 ,  H01L21/30604 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/3085 ,  H01L21/823431 ,  H01L21/823437 ,  H01L21/823481 ,  H01L21/823807 ,  H01L21/823814 ,  H01L21/823821 ,  H01L21/845 ,  H01L27/0886 ,  H01L27/1211 ,  H01L29/0673 ,  H01L29/42364 ,  H01L29/4238 ,  H01L29/49 ,  H01L29/66545 ,  H01L29/6656 ,  H01L29/66795 ,  H01L29/78 ,  H01L29/785

摘要： Semiconductor devices may include a semiconductor substrate with a first semiconductor fin aligned end-to-end with a second semiconductor with a recess between facing ends of the first and second semiconductor fins. A first insulator pattern is formed adjacent sidewalls of the first and second semiconductor fins and a second insulator pattern is formed within the first recess. The second insulator pattern may have a top surface higher than a top surface of the first insulator pattern, such as to the height of the top surface of the fins (or higher or lower). First and second gates extend along sidewalls and a top surface of the first semiconductor fin. A dummy gate electrode may be formed on the top surface of the second insulator. Methods for manufacture of the same and modifications are also disclosed.

摘要翻译： 半导体器件可以包括具有第一半导体鳍片的半导体衬底，第一半导体鳍片端对端与第二半导体对准，第二半导体在第一和第二半导体鳍片的相对端之间具有凹陷。 第一绝缘体图案形成在第一和第二半导体鳍片的相邻侧壁附近，并且在第一凹部内形成第二绝缘体图案。 第二绝缘体图案可以具有高于第一绝缘体图案的顶表面的顶表面，例如高于鳍片（或更高或更低）的顶表面的高度。 第一和第二栅极沿第一半导体鳍片的侧壁和顶表面延伸。 可以在第二绝缘体的顶表面上形成伪栅电极。 还公开了其制造方法和修改方案。