公开(公告)号：US20100047137A1

公开(公告)日：2010-02-25

申请号：US12196894

申请日：2008-08-22

申请人： DAVID KEITH CARLSON

发明人： DAVID KEITH CARLSON

IPC分类号： B01J19/12

CPC分类号： B01J19/123 ,  B01D53/007 ,  B01D2257/2027 ,  B01D2257/2047 ,  B01D2258/0216 ,  B01D2259/804

摘要： Methods and apparatus for the removal of exhaust gases are provided herein. In some embodiments, an exhaust apparatus may include a housing defining an inner volume; an inlet and an outlet formed in the housing to facilitate flow of an exhaust gas through the inner volume, wherein the inlet is configured to be coupled to a process chamber to receive an exhaust therefrom; and an ultraviolet light source to provide ultraviolet energy to the inner volume. The ultraviolet light source may provide sufficient energy to at least partially decompose the exhaust gases. In some embodiments, the ultraviolet light source may provide ultraviolet energy until the exhaust gas has cooled below a critical temperature.

摘要翻译： 本文提供了排除废气的方法和装置。 在一些实施例中，排气装置可以包括限定内部容积的壳体; 入口和出口，其形成在所述壳体中以便于排气通过所述内部容积的流动，其中所述入口被配置为联接到处理室以从其接收排气; 以及向内部体积提供紫外线能量的紫外线光源。 紫外光源可以提供足够的能量以至少部分地分解废气。 在一些实施例中，紫外光源可以提供紫外线能量，直到废气冷却到临界温度以下。

公开(公告)号：US20110259432A1

公开(公告)日：2011-10-27

申请号：US13175499

申请日：2011-07-01

申请人： DAVID KEITH CARLSON ,  SATHEESH KUPPURAO ,  HOWARD BECKFORD ,  HERMAN DINIZ ,  KAILASH KIRAN PATALAY ,  BRIAN HAYES BURROWS ,  JEFFREY RONALD CAMPBELL ,  ZOUMING ZHU ,  XIAOWEI LI ,  ERROL ANTONIO SANCHEZ

发明人： DAVID KEITH CARLSON ,  SATHEESH KUPPURAO ,  HOWARD BECKFORD ,  HERMAN DINIZ ,  KAILASH KIRAN PATALAY ,  BRIAN HAYES BURROWS ,  JEFFREY RONALD CAMPBELL ,  ZOUMING ZHU ,  XIAOWEI LI ,  ERROL ANTONIO SANCHEZ

IPC分类号： C23C16/48 ,  H05B6/00 ,  F15D1/00

CPC分类号： C23C16/455 ,  C23C16/22 ,  C23C16/452 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/0262 ,  Y10T137/0318

摘要： A method and apparatus for delivering precursor materials to a processing chamber is provided. In one embodiment, a deposition apparatus is provided. The apparatus includes a chamber having a longitudinal axis, and a gas distribution assembly coupled to a sidewall of the chamber. The gas distribution assembly comprises a plurality of plenums coupled to one or more gas sources, an energy source positioned to provide energy to each of the plurality of plenums, and a variable power source coupled to the energy source, wherein the gas distribution assembly provides a flow path through the chamber that is normal to the longitudinal axis of the chamber.

摘要翻译： 提供了一种用于将前体材料输送到处理室的方法和装置。 在一个实施例中，提供了沉积设备。 该装置包括具有纵向轴线的腔室和联接到腔室的侧壁的气体分配组件。 气体分配组件包括耦合到一个或多个气体源的多个增压室，被定位成向多个增压室中的每一个提供能量的能量源以及耦合到该能量源的可变电源，其中该气体分配组件提供一个 通过腔室的流动通道，其垂直于腔室的纵向轴线。