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    Device for holding a template for use in imprint lithography
    3.
    发明授权
    Device for holding a template for use in imprint lithography 有权
    用于保存用于压印光刻的模板的装置

    公开(公告)号：US07708542B2

    公开(公告)日：2010-05-04

    申请号：US10747737

    申请日：2003-12-29

    申请人： Todd C. Bailey ,  Byung-Jin Choi ,  Matthew E. Colburn ,  Sidlgata V. Sreenivasan ,  Carlton G. Willson ,  John G. Ekerdt

    发明人： Todd C. Bailey ,  Byung-Jin Choi ,  Matthew E. Colburn ,  Sidlgata V. Sreenivasan ,  Carlton G. Willson ,  John G. Ekerdt

    IPC分类号： B29C59/02

    CPC分类号： G11B5/855 ,  B29C35/0888 ,  B29C37/0053 ,  B29C43/003 ,  B29C2035/0827 ,  B29C2043/025 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F9/00 ,  Y10S977/887

    摘要： Described are imprint lithography templates, methods of forming and using the templates, and a template holder device. An imprint lithography template may include a body with a plurality of recesses on a surface of the body. The body may be of a material that is substantially transparent to activating light. At least a portion of the plurality of recesses may define features having a feature size less than about 250 nm. A template may be formed by obtaining a material that is substantially transparent to activating light and forming a plurality or recesses on a surface of the template. In some embodiments, a template may further include at least one alignment mark. In some embodiments, a template may further include a gap sensing area. An imprint lithography template may be used to form an imprinted layer in a light curable liquid disposed on a substrate. During use, the template may be disposed within a template holder. The template holder may include a body with an opening configured to receive the template, a support plate, and at least one piezo actuator coupled to the body. The piezo actuator may be configured to alter a physical dimension of the template during use.

    摘要翻译： 描述了压印光刻模板，形成和使用模板的方法以及模板保持装置。 压印光刻模板可以包括在主体的表面上具有多个凹部的主体。 身体可以是对于激活光是基本上透明的材料。 多个凹部的至少一部分可以限定具有小于约250nm的特征尺寸的特征。 可以通过获得对于激活光而基本上透明并在模板的表面上形成多个或多个凹陷的材料来形成模板。 在一些实施例中，模板还可以包括至少一个对准标记。 在一些实施例中，模板还可以包括间隙感测区域。 可以使用压印光刻模板来在设置在基板上的可光固化液体中形成印刷层。 在使用期间，模板可以设置在模板保持器内。 模板保持器可以包括具有构造成接收模板的开口的主体，支撑板和耦合到主体的至少一个压电致动器。 压电致动器可以被配置为在使用期间改变模板的物理尺寸。

    Mononuclear and multinuclear phosphido, arsenido, and stibido complexes of aluminum, gallium and indium
    6.
    发明授权
    Mononuclear and multinuclear phosphido, arsenido, and stibido complexes of aluminum, gallium and indium 失效
    铝，镓和铟的单核和多核磷酸，砷和络合物

    公开(公告)号：US5047565A

    公开(公告)日：1991-09-10

    申请号：US108834

    申请日：1987-10-14

    申请人： Richard A. Jones ,  Alan H. Cowley ,  John G. Ekerdt

    发明人： Richard A. Jones ,  Alan H. Cowley ,  John G. Ekerdt

    IPC分类号： C07F9/28 ,  C07F9/70 ,  C07F9/90 ,  C23C16/30

    CPC分类号： C07F9/28 ,  C07F9/703 ,  C07F9/908 ,  C23C16/301

    摘要： The present invention involves chemical compounds particularly useful for the preparation of thin films or layers of group 3/group 5 materials by MOCVD and other techniques. Such compounds may be represented as having the formulas [M(ER'R").sub.3 ].sub.n or [RM(ER'R").sub.2 ].sub.n or [R.sub.2 M(ER'R")].sub.n wherein M is aluminum, gallium or indium; E is phosphorus, arsenic or antimony; R, R', and R" are one or more of hydrogen, alkyl, aryl, alkyl-substituted aryl, cyclic alkyl, halide or other anionic group; and n is between about 1 and about 6.

    摘要翻译： 本发明涉及通过MOCVD和其它技术特别可用于制备第3组/第5组材料的薄膜或层的化合物。 这些化合物可以表示为具有式[M（ER'R“）3] n或[RM（ER'R”）2] n或[R2M（ER'R“）] n，其中M是铝 ，镓或铟; E是磷，砷或锑; R，R'和R“是氢，烷基，芳基，烷基取代的芳基，环烷基，卤化物或其它阴离子基团中的一个或多个; 并且n在约1和约6之间。