公开(公告)号：US06750949B2

公开(公告)日：2004-06-15

申请号：US10193688

申请日：2002-07-12

申请人： Erik Roelof Loopstra ,  Dominicus Jacobus Petrus Adrianus Franken ,  Josephus Jacobus Smits ,  Antonius Johannes Josephus Van Dijsseldonk ,  Johannes Hubertus Josephina Moors ,  Albrecht Hof ,  Günter Maul ,  Michael Mühlbeyer ,  Klaus Mehlkopp

发明人： Erik Roelof Loopstra ,  Dominicus Jacobus Petrus Adrianus Franken ,  Josephus Jacobus Smits ,  Antonius Johannes Josephus Van Dijsseldonk ,  Johannes Hubertus Josephina Moors ,  Albrecht Hof ,  Günter Maul ,  Michael Mühlbeyer ,  Klaus Mehlkopp

IPC分类号： G03B2742

CPC分类号： G03F7/70258 ,  G02B7/008 ,  G02B7/02 ,  G03F7/70833

摘要： A lithographic projection apparatus according to one embodiment of the invention includes a projection system having a plurality of optical elements or sensors mounted on a frame. The frame includes support portions made of a material (e.g. a glass ceramic) having a coefficient of thermal expansion of less than or approximately equal to 0.1×10−6 K−1.

摘要翻译： 根据本发明的一个实施例的光刻投影设备包括具有安装在框架上的多个光学元件或传感器的投影系统。 框架包括由热膨胀系数小于或大约等于0.1×10 -6 K -1的材料（例如玻璃陶瓷）制成的支撑部分。

公开(公告)号：US06864988B2

公开(公告)日：2005-03-08

申请号：US10186600

申请日：2002-07-01

申请人： Albrecht Hof ,  Guenter Maul ,  Michael Muehlbeyer ,  Klaus Mehlkopp

发明人： Albrecht Hof ,  Guenter Maul ,  Michael Muehlbeyer ,  Klaus Mehlkopp

IPC分类号： G02B7/182 ,  G02B7/00 ,  G02B7/02 ,  G02B27/62 ,  G03F7/20 ,  G21K1/06 ,  G21K5/02 ,  H01L21/027 ,  G01B9/02

CPC分类号： G03F7/70258 ,  G02B7/008 ,  G02B7/02 ,  G03F7/70833

摘要： An optical system, in particular an exposure lens for semiconductor lithography, with a plurality of optical elements has at least one load-dissipating structure. The load-dissipating structure diverts the forces originating from the optical elements. The optical system also has a measuring structure constructed independently of the at least one load-dissipating structure.

摘要翻译： 具有多个光学元件的光学系统，特别是用于半导体光刻的曝光透镜具有至少一个负载耗散结构。 负载消散结构转移源自光学元件的力。 光学系统还具有独立于至少一个负载消散结构构造的测量结构。

公开(公告)号：US06523443B1

公开(公告)日：2003-02-25

申请号：US09051629

申请日：1998-12-30

申请人： Albrecht Hof ,  Klaus Mehlkopp

发明人： Albrecht Hof ,  Klaus Mehlkopp

IPC分类号： B23B4100

CPC分类号： B24B13/06 ,  B23Q11/0032 ,  B23Q2230/004 ,  B24B13/00 ,  Y10T82/125 ,  Y10T82/143 ,  Y10T82/2502 ,  Y10T82/2533

摘要： The present invention is a process by which optical surfaces of lenses, particularly plastic progressive lenses and molding shells for producing lenses are manufactured directly in a single step according to didicidual data. A blank from which an optical surface or a molding shell is to be manufactured is held at the workpiece carrier of a spindle axis (Z axis) of a shaping machine and is directly turned into its final form by a turning tool which can move relative to the blank (in the X axis), i.e., transversely to the direction of displacement of the tool. During each rotation of the spindle, the turning tool is incrementally adjusted towards or away from the blank depending on the characteristic surface data, which may be predetermined or calculated on-line.

摘要翻译： 本发明是一种通过镜片的光学表面，特别是塑料渐变镜片和用于制造镜片的成型壳体的方法，其中根据专利数据直接制造单个步骤。 要制造光学表面或成型壳的坯料保持在成形机的主轴轴线（Z轴）的工件载体上，并且通过可相对于 坯料（在X轴上），即横向于工具的位移方向。 在主轴的每次旋转期间，根据可以在线预定或计算的特征表面数据，转动工具朝向或远离坯料递增地调节。