公开(公告)号：US20070272356A1

公开(公告)日：2007-11-29

申请号：US11837412

申请日：2007-08-10

申请人： Hung Chen ,  Jeonghoon Oh ,  Tsz-Sin Siu ,  Thomas Brezoczky ,  Steven Zuniga

发明人： Hung Chen ,  Jeonghoon Oh ,  Tsz-Sin Siu ,  Thomas Brezoczky ,  Steven Zuniga

IPC分类号： C23F1/00

CPC分类号： B24B37/30

摘要： A carrier head for chemical mechanical polishing of a substrate includes a base and a flexible membrane extending beneath the base. The flexible membrane includes a central portion with an outer surface providing a substrate receiving surface, a perimeter portion connecting the central portion to the base, and at least one flap extending from an inner surface of the central portion. The flap divides a volume between the flexible membrane and the base into a plurality of chambers, and the flap includes a laterally extending first section and an angled second section extending beneath the first section and connecting the laterally extending first section to the central portion.

摘要翻译： 用于基板的化学机械抛光的承载头包括基部和在基部下方延伸的柔性膜。 柔性膜包括具有提供基板接收表面的外表面的中心部分，将中心部分连接到基部的周边部分和从中心部分的内表面延伸的至少一个折片。 翼片将柔性膜和基部之间的体积分成多个室，并且该翼片包括横向延伸的第一部分和在第一部分下方延伸并且将横向延伸的第一部分连接到中心部分的成角度的第二部分。

公开(公告)号：US20070202785A1

公开(公告)日：2007-08-30

申请号：US11614940

申请日：2006-12-21

申请人： Jeonghoon Oh ,  Tsz-Sin Siu ,  Hung Chen ,  Andrew Nagengast ,  Steven Zuniga ,  Thomas Brezoczky

发明人： Jeonghoon Oh ,  Tsz-Sin Siu ,  Hung Chen ,  Andrew Nagengast ,  Steven Zuniga ,  Thomas Brezoczky

IPC分类号： B24B41/06

CPC分类号： B24B37/30 ,  B24B41/06 ,  B29C33/424 ,  B29C35/02 ,  B29K2023/00 ,  B29K2083/00 ,  B29K2995/0074 ,  B29L2031/755

摘要： A flexible membrane for use in a carrier head has a generally circular main portion with a lower surface, an annular outer portion for connection to a base assembly, and an annular flap extending from the main portion on a side opposite the lower surface for connection to the base assembly. At least one surface of the flap has a surface texture to prevent adhesion.

摘要翻译： 用于载体头部的柔性膜具有大致圆形的主要部分，具有下表面，用于连接到基座组件的环形外部部分和从主体部分在与下表面相对的一侧延伸的环形挡片，用于连接到 基座组件。 翼片的至少一个表面具有表面纹理以防止粘附。

公开(公告)号：US20050211377A1

公开(公告)日：2005-09-29

申请号：US10810784

申请日：2004-03-26

申请人： Hung Chen ,  Jeonghoon Oh ,  Tsz-Sin Siu ,  Thomas Brezoczky ,  Steven Zuniga

发明人： Hung Chen ,  Jeonghoon Oh ,  Tsz-Sin Siu ,  Thomas Brezoczky ,  Steven Zuniga

IPC分类号： B24B37/04 ,  B44C1/22 ,  C23F1/00 ,  H01L21/68

CPC分类号： B24B37/30

摘要： A carrier head for chemical mechanical polishing of a substrate includes a base and a flexible membrane extending beneath the base. The flexible membrane includes a central portion with an outer surface providing a substrate receiving surface, a perimeter portion connecting the central portion to the base, and at least one flap extending from an inner surface of the central portion. The flap divides a volume between the flexible membrane and the base into a plurality of chambers, and the flap includes a laterally extending first section and an angled second section extending beneath the first section and connecting the laterally extending first section to the central portion.

摘要翻译： 用于基板的化学机械抛光的承载头包括基部和在基部下方延伸的柔性膜。 柔性膜包括具有提供基板接收表面的外表面的中心部分，将中心部分连接到基部的周边部分和从中心部分的内表面延伸的至少一个折片。 翼片将柔性膜和基部之间的体积分成多个室，并且该翼片包括横向延伸的第一部分和在第一部分下方延伸并且将横向延伸的第一部分连接到中心部分的成角度的第二部分。

公开(公告)号：US20110070810A1

公开(公告)日：2011-03-24

申请号：US12955803

申请日：2010-11-29

申请人： Hung Chih Chen ,  Jeonghoon Oh ,  Tsz-Sin Siu ,  Thomas Brezoczky ,  Steven M. Zuniga

发明人： Hung Chih Chen ,  Jeonghoon Oh ,  Tsz-Sin Siu ,  Thomas Brezoczky ,  Steven M. Zuniga

IPC分类号： B24B1/00

CPC分类号： B24B37/30

摘要： A carrier head for chemical mechanical polishing of a substrate includes a base and a flexible membrane extending beneath the base. The flexible membrane includes a central portion with an outer surface providing a substrate receiving surface, a perimeter portion connecting the central portion to the base, and at least one flap extending from an inner surface of the central portion. The flap divides a volume between the flexible membrane and the base into a plurality of chambers, and the flap includes a laterally extending first section and an angled second section extending beneath the first section and connecting the laterally extending first section to the central portion.

摘要翻译： 用于基板的化学机械抛光的承载头包括基部和在基部下方延伸的柔性膜。 柔性膜包括具有提供基板接收表面的外表面的中心部分，将中心部分连接到基部的周边部分和从中心部分的内表面延伸的至少一个折片。 翼片将柔性膜和基部之间的体积分成多个室，并且该翼片包括横向延伸的第一部分和在第一部分下方延伸并且将横向延伸的第一部分连接到中心部分的成角度的第二部分。

公开(公告)号：US07255771B2

公开(公告)日：2007-08-14

申请号：US10810784

申请日：2004-03-26

申请人： Hung Chih Chen ,  Jeonghoon Oh ,  Tsz-Sin Siu ,  Thomas Brezoczky ,  Steven M. Zuniga

发明人： Hung Chih Chen ,  Jeonghoon Oh ,  Tsz-Sin Siu ,  Thomas Brezoczky ,  Steven M. Zuniga

IPC分类号： B24B29/00

CPC分类号： B24B37/30

摘要： A carrier head for chemical mechanical polishing of a substrate includes a base and a flexible membrane extending beneath the base. The flexible membrane includes a central portion with an outer surface providing a substrate receiving surface, a perimeter portion connecting the central portion to the base, and at least one flap extending from an inner surface of the central portion. The flap divides a volume between the flexible membrane and the base into a plurality of chambers, and the flap includes a laterally extending first section and an angled second section extending beneath the first section and connecting the laterally extending first section to the central portion.

摘要翻译： 用于基板的化学机械抛光的承载头包括基部和在基部下方延伸的柔性膜。 柔性膜包括具有提供基板接收表面的外表面的中心部分，将中心部分连接到基部的周边部分和从中心部分的内表面延伸的至少一个折片。 翼片将柔性膜和基部之间的体积分成多个室，并且该翼片包括横向延伸的第一部分和在第一部分下方延伸并且将横向延伸的第一部分连接到中心部分的成角度的第二部分。

公开(公告)号：US08088299B2

公开(公告)日：2012-01-03

申请号：US12955803

申请日：2010-11-29

申请人： Hung Chih Chen ,  Jeonghoon Oh ,  Tsz-Sin Siu ,  Thomas Brezoczky ,  Steven M. Zuniga

发明人： Hung Chih Chen ,  Jeonghoon Oh ,  Tsz-Sin Siu ,  Thomas Brezoczky ,  Steven M. Zuniga

IPC分类号： C23C16/00 ,  H01L21/00

CPC分类号： B24B37/30

摘要： A carrier head for chemical mechanical polishing of a substrate includes a base and a flexible membrane extending beneath the base. The flexible membrane includes a central portion with an outer surface providing a substrate receiving surface, a perimeter portion connecting the central portion to the base, and at least one flap extending from an inner surface of the central portion. The flap divides a volume between the flexible membrane and the base into a plurality of chambers, and the flap includes a laterally extending first section and an angled second section extending beneath the first section and connecting the laterally extending first section to the central portion.

摘要翻译： 用于基板的化学机械抛光的承载头包括基部和在基部下方延伸的柔性膜。 柔性膜包括具有提供基板接收表面的外表面的中心部分，将中心部分连接到基部的周边部分和从中心部分的内表面延伸的至少一个折片。 翼片将柔性膜和基部之间的体积分成多个室，并且该翼片包括横向延伸的第一部分和在第一部分下方延伸并且将横向延伸的第一部分连接到中心部分的成角度的第二部分。

公开(公告)号：US08454413B2

公开(公告)日：2013-06-04

申请号：US11614940

申请日：2006-12-21

申请人： Jeonghoon Oh ,  Tsz-Sin Siu ,  Hung Chih Chen ,  Andrew J. Nagengast ,  Steven M. Zuniga ,  Thomas B. Brezoczky

发明人： Jeonghoon Oh ,  Tsz-Sin Siu ,  Hung Chih Chen ,  Andrew J. Nagengast ,  Steven M. Zuniga ,  Thomas B. Brezoczky

IPC分类号： B24B41/06

CPC分类号： B24B37/30 ,  B24B41/06 ,  B29C33/424 ,  B29C35/02 ,  B29K2023/00 ,  B29K2083/00 ,  B29K2995/0074 ,  B29L2031/755

摘要： A flexible membrane for use in a carrier head has a generally circular main portion with a lower surface, an annular outer portion for connection to a base assembly, and an annular flap extending from the main portion on a side opposite the lower surface for connection to the base assembly. At least one surface of the flap has a surface texture to prevent adhesion.

摘要翻译： 用于载体头部的柔性膜具有大致圆形的主要部分，具有下表面，用于连接到基座组件的环形外部部分和从主体部分在与下表面相对的一侧延伸的环形挡片，用于连接到 基座组件。 翼片的至少一个表面具有表面纹理以防止粘附。

公开(公告)号：US20130334752A1

公开(公告)日：2013-12-19

申请号：US13908774

申请日：2013-06-03

申请人： Jeonghoon Oh ,  Tsz-Sin Siu ,  Hung Chih Chen ,  Andrew J. Nagengast ,  Steven M. Zuniga ,  Thomas B. Brezoczky

发明人： Jeonghoon Oh ,  Tsz-Sin Siu ,  Hung Chih Chen ,  Andrew J. Nagengast ,  Steven M. Zuniga ,  Thomas B. Brezoczky

IPC分类号： B24B37/30

CPC分类号： B24B37/30 ,  B24B41/06 ,  B29C33/424 ,  B29C35/02 ,  B29K2023/00 ,  B29K2083/00 ,  B29K2995/0074 ,  B29L2031/755

摘要： A flexible membrane for use in a carrier head has a generally circular main portion with a lower surface, an annular outer portion for connection to a base assembly, and an annular flap extending from the main portion on a side opposite the lower surface for connection to the base assembly. At least one surface of the flap has a surface texture to prevent adhesion.

摘要翻译： 用于载体头部的柔性膜具有大致圆形的主要部分，具有下表面，用于连接到基座组件的环形外部部分和从主体部分在与下表面相对的一侧延伸的环形挡片，用于连接到 基座组件。 翼片的至少一个表面具有表面纹理以防止粘附。

公开(公告)号：US07842158B2

公开(公告)日：2010-11-30

申请号：US11837412

申请日：2007-08-10

申请人： Hung Chih Chen ,  Jeonghoon Oh ,  Tsz-Sin Siu ,  Thomas B. Brezoczky ,  Steven M. Zuniga

发明人： Hung Chih Chen ,  Jeonghoon Oh ,  Tsz-Sin Siu ,  Thomas B. Brezoczky ,  Steven M. Zuniga

IPC分类号： B24B29/00

CPC分类号： B24B37/30

摘要： A carrier head for chemical mechanical polishing of a substrate includes a base and a flexible membrane extending beneath the base. The flexible membrane includes a central portion with an outer surface providing a substrate receiving surface, a perimeter portion connecting the central portion to the base, and at least one flap extending from an inner surface of the central portion. The flap divides a volume between the flexible membrane and the base into a plurality of chambers, and the flap includes a laterally extending first section and an angled second section extending beneath the first section and connecting the laterally extending first section to the central portion.

摘要翻译： 用于基板的化学机械抛光的承载头包括基部和在基部下方延伸的柔性膜。 柔性膜包括具有提供基板接收表面的外表面的中心部分，将中心部分连接到基部的周边部分和从中心部分的内表面延伸的至少一个折片。 翼片将柔性膜和基部之间的体积分成多个室，并且该翼片包括横向延伸的第一部分和在第一部分下方延伸并且将横向延伸的第一部分连接到中心部分的成角度的第二部分。

公开(公告)号：US20070197146A1

公开(公告)日：2007-08-23

申请号：US11682257

申请日：2007-03-05

申请人： Jeonghoon Oh ,  Hung Chen ,  Thomas Brezoczky ,  Douglas McAllister ,  David Huo

发明人： Jeonghoon Oh ,  Hung Chen ,  Thomas Brezoczky ,  Douglas McAllister ,  David Huo

IPC分类号： B24B29/00 ,  B24B5/00 ,  B24B21/00

CPC分类号： B24B37/32

摘要： A two part retaining ring is described that has a lower ring and an upper ring. The lower ring contacts a polishing surface during chemical mechanical polishing. The upper surface and the lower surface of the lower ring have thick and thin subportions to increase the flexibility of the lower ring.

摘要翻译： 描述了具有下环和上环的两部分保持环。 在化学机械抛光期间，下环接触抛光表面。 下环的上表面和下表面具有厚而薄的子部分，以增加下环的柔性。