公开(公告)号：US07552645B2

公开(公告)日：2009-06-30

申请号：US10590485

申请日：2005-02-24

申请人： Igor Bargatin ,  Edward B. Myers ,  Mo Li ,  Jessica Arlett ,  Benjamin Gudlewski ,  Michael L. Roukes ,  Darron K. Young ,  Hong X. Tang

发明人： Igor Bargatin ,  Edward B. Myers ,  Mo Li ,  Jessica Arlett ,  Benjamin Gudlewski ,  Michael L. Roukes ,  Darron K. Young ,  Hong X. Tang

IPC分类号： G01B7/16

CPC分类号： G01Q20/04

摘要： A system containing a micro-mechanical or nano-mechanical device and a method of operating the same is provided. The device includes a resonator and a piezoresistive element connected to the resonator. The method includes AC biasing the piezoresistive element at a first frequency, driving the resonator at a second frequency different from the first frequency, and detecting a mechanical response of the resonator at one or both of a difference frequency and a sum frequency of the first and second frequencies.

摘要翻译： 提供了一种包含微机械或纳米机械装置的系统及其操作方法。 该器件包括连接到谐振器的谐振器和压阻元件。 该方法包括以第一频率对压阻元件进行AC偏置，以不同于第一频率的第二频率驱动谐振器，并且检测谐振器在第一和第二频率的差频率和和频之一或两者处的机械响应 第二频率。

公开(公告)号：US20080216583A1

公开(公告)日：2008-09-11

申请号：US10590485

申请日：2005-02-24

申请人： Igor Bargatin ,  Edward B. Myers ,  Mo Li ,  Jessica Arlett ,  Benjamin Gudlewski ,  Michael L. Roukes ,  Darron K. Young ,  Hong X. Tang

发明人： Igor Bargatin ,  Edward B. Myers ,  Mo Li ,  Jessica Arlett ,  Benjamin Gudlewski ,  Michael L. Roukes ,  Darron K. Young ,  Hong X. Tang

IPC分类号： G01B7/16 ,  H01L21/00

CPC分类号： G01Q20/04

摘要： A system containing a micro-mechanical or nano-mechanical device and a method of operating the same is provided. The device includes a resonator and a piezoresistive element connected to the resonator. The method includes AC biasing the piezoresistive element at a first frequency, driving the resonator at a second frequency different from the first frequency, and detecting a mechanical response of the resonator at one or both of a difference frequency and a sum frequency of the first and second frequencies.

摘要翻译： 提供了一种包含微机械或纳米机械装置的系统及其操作方法。 该器件包括连接到谐振器的谐振器和压阻元件。 该方法包括以第一频率对压阻元件进行AC偏置，以不同于第一频率的第二频率驱动谐振器，并且检测谐振器在第一和第二频率的差频率和和频之一或两者处的机械响应 第二频率。

公开(公告)号：US07555938B2

公开(公告)日：2009-07-07

申请号：US11857615

申请日：2007-09-19

申请人： Igor Bargatin ,  Jessica L. Arlett ,  Michael L. Roukes ,  Inna Kozinsky ,  John Sequoyah Aldridge ,  Edward B. Myers

发明人： Igor Bargatin ,  Jessica L. Arlett ,  Michael L. Roukes ,  Inna Kozinsky ,  John Sequoyah Aldridge ,  Edward B. Myers

IPC分类号： G01R19/00 ,  H01L21/00

CPC分类号： G01N29/036 ,  G01N2291/0256 ,  Y10T29/41

摘要： Systems and methods for thermally actuating piezoresistive cantilevers are described. One embodiment includes a nanoelectromechanical resonator connected in at least one location to a substrate, an electrically conductive path formed on the resonator and a signal source connected to the electrically conductive path and configured to provide an oscillating actuation signal capable of exciting a resonant mode in the resonator.

摘要翻译： 描述了用于热致压压阻悬臂的系统和方法。 一个实施例包括在至少一个位置连接到衬底的纳米机电谐振器，形成在谐振器上的导电路径和连接到导电路径的信号源，并且被配置为提供能够激励谐振模式的振荡致动信号 谐振器。

公开(公告)号：US20080068000A1

公开(公告)日：2008-03-20

申请号：US11857615

申请日：2007-09-19

申请人： Igor Bargatin ,  Jessica Arlett ,  Michael Roukes ,  Inna Kozinsky ,  John Aldridge ,  Edward Myers

发明人： Igor Bargatin ,  Jessica Arlett ,  Michael Roukes ,  Inna Kozinsky ,  John Aldridge ,  Edward Myers

IPC分类号： G01R19/00 ,  H01L21/00

CPC分类号： G01N29/036 ,  G01N2291/0256 ,  Y10T29/41

摘要： Systems and methods for thermally actuating piezoresistive cantilevers are described. One embodiment includes a nanoelectromechanical resonator connected in at least one location to a substrate, an electrically conductive path formed on the resonator and a signal source connected to the electrically conductive path and configured to provide an oscillating actuation signal capable of exciting a resonant mode in the resonator.

摘要翻译： 描述了用于热致压压阻悬臂的系统和方法。 一个实施例包括在至少一个位置连接到衬底的纳米机电谐振器，形成在谐振器上的导电路径和连接到导电路径的信号源，并且被配置为提供能够激励谐振模式的振荡致动信号 谐振器。