公开(公告)号：US20070158612A1

公开(公告)日：2007-07-12

申请号：US11615399

申请日：2006-12-22

申请人： Jean-Pierre Maes ,  Jurgen De Kimpe ,  Steven Poppe

发明人： Jean-Pierre Maes ,  Jurgen De Kimpe ,  Steven Poppe

IPC分类号： C09K5/00

CPC分类号： C09K5/10 ,  C09K5/20 ,  C23F11/08 ,  C23F11/10 ,  C23F11/124 ,  C23F11/149 ,  C23F11/185

摘要： An aqueous heat transfer fluid comprising a C3 carboxylate freezing point depressant, either solely or in combination with C3-C5 carboxylate freezing point depressants, in combination with C6-C16 organic acid salt corrosion inhibitors, provides an antifreeze/coolant composition wherein the corrosion inhibitors exhibit uniquely enhanced solubility, especially at low temperatures, in synergistic combination with the selected carboxylate freezing point depressants.

摘要翻译： 包含C 3 N 3羧酸盐凝血抑制剂的单独或与C 3 -C 5羧酸盐凝结点抑制剂组合的水性传热流体 与C 6 -C 16有机酸盐腐蚀抑制剂组合提供了防冻剂/冷却剂组合物，其中腐蚀抑制剂显示出独特增强的溶解度，特别是在低温下，在 与选择的羧酸盐凝血点抑制剂的协同组合。

公开(公告)号：US07638069B2

公开(公告)日：2009-12-29

申请号：US11615399

申请日：2006-12-22

申请人： Jean-Pierre L. Maes ,  Jurgen P. De Kimpe ,  Steven Poppe

发明人： Jean-Pierre L. Maes ,  Jurgen P. De Kimpe ,  Steven Poppe

IPC分类号： C09K5/00

CPC分类号： C09K5/10 ,  C09K5/20 ,  C23F11/08 ,  C23F11/10 ,  C23F11/124 ,  C23F11/149 ,  C23F11/185

摘要： An aqueous heat transfer fluid comprising a C3 carboxylate freezing point depressant, either solely or in combination with C3-C5 carboxylate freezing point depressants, in combination with C6-C16 organic acid salt corrosion inhibitors, provides an antifreeze/coolant composition wherein the corrosion inhibitors exhibit uniquely enhanced solubility, especially at low temperatures, in synergistic combination with the selected carboxylate freezing point depressants.

摘要翻译： 包含单独或与C 3 -C 5羧酸盐凝结点抑制剂组合的C3羧酸盐凝血点抑制剂与C 6 -C 16有机酸盐腐蚀抑制剂组合的含水传热流体提供了防冻/冷却剂组合物，其中腐蚀抑制剂表现出 独特增强的溶解度，特别是在低温下，与选择的羧酸盐凝固点抑制剂的协同组合。

公开(公告)号：US20080019806A1

公开(公告)日：2008-01-24

申请号：US11491577

申请日：2006-07-24

申请人： Nyi Oo Myo ,  Steven Poppe ,  Anthony White ,  Nety M. Krishna

发明人： Nyi Oo Myo ,  Steven Poppe ,  Anthony White ,  Nety M. Krishna

IPC分类号： H01L21/677

CPC分类号： H01L21/67196

摘要： A method and apparatus for a modular processing system is described. The apparatus includes a transfer chamber as the foundation for the system and includes sidewalls adapted to receive at least three 200 mm and/or 300 mm process chambers. The transfer chamber includes a robot capable of withstanding high temperatures and is configured to transfer 200 mm and 300 mm substrates. The modularity of the transfer chamber is highly transportable and provides a research and development platform at a low cost of ownership and may be modularly built into a production system as additional chambers and peripheral hardware is added.

摘要翻译： 描述了用于模块化处理系统的方法和装置。 该装置包括作为系统的基础的传送室，并且包括适于容纳至少三个200mm和/或300mm处理室的侧壁。 传送室包括能承受高温的机器人，并被配置成传送200mm和300mm的基片。 传送室的模块化高度可移植，并以低成本提供研发平台，并且可以将模块化内置在生产系统中，因为添加了附加的室和外围硬件。

公开(公告)号：US20080099147A1

公开(公告)日：2008-05-01

申请号：US11553340

申请日：2006-10-26

申请人： Nyi Oo Myo ,  Steven Poppe ,  George Mattinger

发明人： Nyi Oo Myo ,  Steven Poppe ,  George Mattinger

IPC分类号： C23F1/00 ,  C23C16/00

CPC分类号： C23C16/45565 ,  C23C16/45572 ,  C23C16/45574

摘要： An apparatus and method for a gas distribution plate is provided. The gas distribution plate has a first manifold which includes a plurality of concentric channels for providing at least two distinct gases to a processing zone above a substrate. A portion of the plurality of channels perform a thermal control function and are separated from the remaining channels, which provide separated gas flow channels within the gas distribution plate. The gas flow channels are in fluid communication with a second manifold which includes a plurality of concentric rings. Apertures formed in the rings are in fluid communication with the gas flow channels and the processing zone. The gases are provided to the processing zone above the substrate, and do not mix within the gas distribution plate.

摘要翻译： 提供了一种用于气体分配板的装置和方法。 气体分配板具有第一歧管，其包括多个同心通道，用于向衬底上方的处理区域提供至少两种不同的气体。 多个通道的一部分执行热控制功能，并且与剩余的通道分离，其在气体分配板内提供分离的气体流动通道。 气体流动通道与包括多个同心环的第二歧管流体连通。 形成在环中的孔与气体流动通道和处理区流体连通。 气体被提供到衬底上方的处理区域，并且不在气体分布板内混合。