公开(公告)号：US06384353B1

公开(公告)日：2002-05-07

申请号：US09495786

申请日：2000-02-01

申请人： Jenn-Hwa Huang ,  Samuel L. Coffman ,  Xi-Qing Sun ,  Ji-Hai Xu ,  John Michael Parsey, Jr.

发明人： Jenn-Hwa Huang ,  Samuel L. Coffman ,  Xi-Qing Sun ,  Ji-Hai Xu ,  John Michael Parsey, Jr.

IPC分类号： H01H5700

CPC分类号： B81B7/007 ,  B81B2207/07 ,  B81B2207/096 ,  B81C1/00301 ,  B81C2203/0109 ,  H01H1/58 ,  H01H1/66 ,  H01H59/0009 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2924/00014

摘要： A Micro-Electromechanical Systems (MEMS) device (100) having conductively filled vias (141). A MEMS component (124) is formed on a substrate (110). The substrate has conductively filled vias (140) extending therethrough. The MEMS component (124) is electrically coupled to the conductively filled vias (140). The MEMS component (124) is covered by a protective cap (150). An electrical interconnect (130) is formed on a bottom surface of the substrate (110) for transmission of electrical signals to the MEMS component (124), rather than using wirebonds.

摘要翻译： 具有导电填充的通孔（140）的微机电系统（MEMS）装置（100）。 在基板（110）上形成MEMS部件（124）。 衬底具有穿过其中的导电填充的通孔（140）。 MEMS组件（124）电耦合到导电填充的通孔（140）。 MEMS组件（124）被保护盖（150）覆盖。 电连接（130）形成在衬底（110）的底表面上，用于将电信号传输到MEMS部件（124），而不是使用引线键。

公开(公告)号：US06307169B1

公开(公告)日：2001-10-23

申请号：US09495664

申请日：2000-02-01

申请人： Xi-Qing Sun ,  John Michael Parsey, Jr. ,  Jenn-Hwa Huang ,  Ji-Hai Xu

发明人： Xi-Qing Sun ,  John Michael Parsey, Jr. ,  Jenn-Hwa Huang ,  Ji-Hai Xu

IPC分类号： H01H5700

CPC分类号： B81B3/0008 ,  B81B2201/018 ,  B81B2203/0361 ,  H01H59/0009 ,  H01H2001/0089 ,  H01H2059/0054 ,  H01H2059/0072 ,  H01P1/12

摘要： A Micro-Electromechanical System (MEMS) switch (100) having a single, center hinge (120) which supports a membrane-type electrode (104) on a substrate (101). The single, center hinge (120) has a control electrode (104) coupled to the substrate (101) by an anchor (113), a hinge collar (121), a set of hinge arms (122, 123). The control electrode (104) has a shorting bar (106) coupled thereto and is electrically isolated from another control electrode (105), which is formed on the substrate (101). A travel stop (130) is positioned between the substrate and the control electrode (104). Another aspect of the present invention is a Single Pole, Double Throw (SPDT) switch (160) into which is incorporated the single, center hinge (170) and the travel stop (185, 186).

摘要翻译： 具有在基板（101）上支撑膜型电极（104）的单个中心铰链（120）的微机电系统（MEMS）开关（100）。 单个中心铰链（120）具有通过锚固件（113），铰链轴环（121），一组铰链臂（122,123）联接到基板（101）的控制电极（104）。 控制电极（104）具有与其耦合的短路棒（106），并与形成在基板（101）上的另一个控制电极（105）电隔离。 移动停止件（130）位于基板和控制电极（104）之间。 本发明的另一方面是单杆双掷（SPDT）开关（160），其中并入有单个中心铰链（170）和行驶停止件（185,186）。

公开(公告)号：US06362018B1

公开(公告)日：2002-03-26

申请号：US09496930

申请日：2000-02-02

申请人： Ji-Hai Xu ,  Jenn-Hwa Huang ,  John Michael Parsey, Jr.

发明人： Ji-Hai Xu ,  Jenn-Hwa Huang ,  John Michael Parsey, Jr.

IPC分类号： H01L2100

CPC分类号： H01H59/0009 ,  H01G5/16

摘要： A micro electro-mechanical systems device having variable capacitance is controllable over the full dynamic range and not subject to the “snap effect” common in the prior art. The device features an electrostatic driver (120) having a driver capacitor of fixed capacitance (121) in series with a second driver capacitor of variable capacitance (126). A MEMS variable capacitor (130) is controlled by applying an actuation voltage potential to the electrostatic driver (120). The electrostatic driver (120) and MEMS variable capacitor (130) are integrated in a single, monolithic device.

摘要翻译： 具有可变电容的微机电系统装置在整个动态范围内是可控的，并且不受现有技术中常见的“卡扣效应”的制约。 该装置具有静电驱动器（120），其具有与可变电容（126）的第二驱动电容器串联的具有固定电容的驱动电容器（121）。 通过向静电驱动器（120）施加致动电压电位来控制MEMS可变电容器（130）。 静电驱动器（120）和MEMS可变电容器（130）集成在单个单片器件中。

公开(公告)号：US06441449B1

公开(公告)日：2002-08-27

申请号：US09981014

申请日：2001-10-16

申请人： Ji-Hai Xu ,  Jenn-Hwa Huang ,  John Michael Parsey, Jr.

发明人： Ji-Hai Xu ,  Jenn-Hwa Huang ,  John Michael Parsey, Jr.

IPC分类号： H01L2100

CPC分类号： H01H59/0009 ,  H01G5/16

摘要： A micro electro-mechanical systems device having variable capacitance is controllable over the full dynamic range and not subject to the “snap effect” common in the prior art. The device features an electrostatic driver (120) having a driver capacitor of fixed capacitance (121) in series with a second driver capacitor of variable capacitance (126). A MEMS variable capacitor (130) is controlled by applying an actuation voltage potential to the electrostatic driver (120). The electrostatic driver (120) and MEMS variable capacitor (130) are integrated in a single, monolithic device.

摘要翻译： 具有可变电容的微机电系统装置在整个动态范围内是可控的，并且不受现有技术中常见的“卡扣效应”的制约。 该装置具有静电驱动器（120），其具有与可变电容（126）的第二驱动电容器串联的具有固定电容的驱动电容器（121）。 通过向静电驱动器（120）施加致动电压电位来控制MEMS可变电容器（130）。 静电驱动器（120）和MEMS可变电容器（130）集成在单个单片器件中。

公开(公告)号：US06606017B1

公开(公告)日：2003-08-12

申请号：US09652614

申请日：2000-08-31

申请人： Ji-Hai Xu ,  Jenn-Hwa Huang

发明人： Ji-Hai Xu ,  Jenn-Hwa Huang

IPC分类号： H01P1203

CPC分类号： H01P1/2013

摘要： A series of switchable and tunable filters is provided. The filters are manufactured using coplanar waveguide fabrication techniques and micro-electro-mechanical (MEM) system switches. By making a MEM switch conductive to connect two portions of a filter element, a filter inductor is implemented. By making the MEM switch non-conductive, a filter capacitor is implemented. This results in smaller filters that can be either switched between a band pass filter and a low pass filter or switched between operating ranges.

摘要翻译： 提供一系列可切换和可调滤波器。 滤波器使用共面波导制造技术和微机电（MEM）系统开关制造。 通过使MEM开关导通以连接滤波器元件的两个部分，实现滤波电感器。 通过使MEM开关不导通，实现滤波电容器。 这导致较小的滤波器可以在带通滤波器和低通滤波器之间切换或者在操作范围之间切换。

公开(公告)号：US06872902B2

公开(公告)日：2005-03-29

申请号：US10608294

申请日：2003-06-27

申请人： Michael B. Cohn ,  Ji-Hai Xu

发明人： Michael B. Cohn ,  Ji-Hai Xu

IPC分类号： B81B3/00 ,  B81B7/00 ,  B81C1/00 ,  H01H59/00 ,  H01H57/00

CPC分类号： H01H59/0009 ,  B81B7/0077 ,  B81B2201/018 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2207/093 ,  B81C1/00301 ,  B81C1/00357 ,  B81C3/001 ,  B81C2201/019 ,  B81C2203/0109 ,  B81C2203/0118 ,  B81C2203/019 ,  H01H2059/0018 ,  H01H2059/0072

摘要： A MEMS device and method of making same is disclosed. In one embodiment, a micro-switch includes a base assembly comprising a movable structure bearing a contact pad. The base assembly is wafer-scale bonded to a lid assembly comprising an activator and a signal path. The movable structure moves within a sealed cavity formed during the bonding process. The signal path includes an input line and an output line separated by a gap, which prevents signals from propagating through the micro-switch when the switch is deactivated. In operation, a signal is launched into the signal path. When the micro-switch is activated, a force is established by the actuator, which pulls a portion of the movable structure upwards towards the gap in the signal path, until the contact pad bridges the gap between the input line and output line, allowing the signal to propagate through the micro-switch. Prior to bonding, the MEMS structures are annealed on a first wafer and the conductive traces and other metals are annealed on a second wafer to allow each wafer to be processed separately using different processes, e.g., different annealing temperatures.

摘要翻译： 公开了MEMS器件及其制造方法。 在一个实施例中，微型开关包括基座组件，其包括承载接触垫的可移动结构。 基座组件被晶片刻度结合到包括激活器和信号路径的盖组件。 可移动结构在接合过程中形成的密封空腔内移动。 信号路径包括输入线和由间隙分开的输出线，当开关被去激活时，该线路防止信号通过微型开关传播。 在操作中，信号被发送到信号路径中。 当微动开关被激活时，致动器建立一个力，致动器将可移动结构的一部分朝向信号路径中的间隙向上拉，直到接触垫桥接输入线和输出线之间的间隙，从而允许 信号通过微型开关传播。 在结合之前，MEMS结构在第一晶片上退火，并且导电迹线和其它金属在第二晶片上进行退火，以允许使用不同工艺（例如不同的退火温度）分别对每个晶片进行加工。

公开(公告)号：US20120193754A1

公开(公告)日：2012-08-02

申请号：US13368275

申请日：2012-02-07

申请人： Michael B. Cohn ,  Ji-Hai Xu

发明人： Michael B. Cohn ,  Ji-Hai Xu

IPC分类号： H01L29/06

CPC分类号： H01H59/0009 ,  B81B7/0077 ,  B81B2201/018 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2207/093 ,  B81C1/00301 ,  B81C1/00357 ,  B81C3/001 ,  B81C2201/019 ,  B81C2203/0109 ,  B81C2203/0118 ,  B81C2203/019 ,  H01H2059/0018 ,  H01H2059/0072

摘要： A MEMS device and method of making same is disclosed. In one embodiment, a micro-switch includes a base assembly comprising a movable structure bearing a contact pad. The base assembly is wafer-scale bonded to a lid assembly comprising an activator and a signal path. The movable structure moves within a sealed cavity formed during the bonding process. The signal path includes an input line and an output line separated by a gap, which prevents signals from propagating through the micro-switch when the switch is deactivated. In operation, a signal is launched into the signal path. When the micro-switch is activated, a force is established by the actuator, which pulls a portion of the movable structure upwards towards the gap in the signal path, until the contact pad bridges the gap between the input line and output line, allowing the signal to propagate through the micro-switch.

摘要翻译： 公开了MEMS器件及其制造方法。 在一个实施例中，微型开关包括基座组件，其包括承载接触垫的可移动结构。 基座组件被晶片刻度结合到包括激活器和信号路径的盖组件。 可移动结构在接合过程中形成的密封空腔内移动。 信号路径包括输入线和由间隙分开的输出线，当开关被去激活时，该线路防止信号通过微型开关传播。 在操作中，信号被发送到信号路径中。 当微动开关被激活时，致动器建立一个力，致动器将可移动结构的一部分朝向信号路径中的间隙向上拉，直到接触垫桥接输入线和输出线之间的间隙，从而允许 信号通过微型开关传播。

公开(公告)号：US06326224B1

公开(公告)日：2001-12-04

申请号：US09066797

申请日：1998-04-27

申请人： Ji-Hai Xu ,  Franky So ,  Hsing-Chung Lee

发明人： Ji-Hai Xu ,  Franky So ,  Hsing-Chung Lee

IPC分类号： H01L2126

CPC分类号： H01L51/5265

摘要： A method of purifying a primary color including providing an organic light emitting diode having a diode light output with a broad spectrum that includes a fraction of the primary color. A microcavity structure is formed in cooperation with the organic light emitting diode to define an optical length of the microcavity structure, and the optical length of the microcavity structure being such that light emitted from the microcavity structure is the primary color, purified.

摘要翻译： 一种净化原色的方法，包括提供具有包括原色部分的广谱的二极管光输出的有机发光二极管。 与有机发光二极管协同地形成微腔结构，以限定微腔结构的光学长度，并且微腔结构的光学长度使得从微腔结构发射的光是原色，被净化。

公开(公告)号：US6133692A

公开(公告)日：2000-10-17

申请号：US93080

申请日：1998-06-08

申请人： Ji-Hai Xu ,  Thomas B. Harvey, III

发明人： Ji-Hai Xu ,  Thomas B. Harvey, III

IPC分类号： H01L51/50 ,  H01L51/52 ,  H01J1/62 ,  H01J63/04

CPC分类号： H01L51/5036 ,  H01L51/5265

摘要： A white light generating organic electroluminescent device including an organic light emitting diode emitting a broad spectrum light including a component of each primary color. A multi-mode microcavity structure is positioned to cooperate with the diode defining an optical length of the microcavity structure to enhance the broad spectrum light and obtain multiple resonant peaks, one at each primary color. A plurality of filters are positioned to receive and adjust the multiple resonant peaks to provide substantially balanced multiple resonant peaks.

摘要翻译： 一种产生白光的有机电致发光器件，包括发射包含每种原色成分的广谱光的有机发光二极管。 多模微腔结构被定位成与限定微腔结构的光学长度的二极管配合，以增强广谱光并获得多个谐振峰，每个原色一个。 定位多个滤波器以接收和调整多个谐振峰值以提供基本平衡的多个谐振峰值。

公开(公告)号：US6111361A

公开(公告)日：2000-08-29

申请号：US151347

申请日：1998-09-11

申请人： Ji-Hai Xu ,  Franky So ,  Hsing-Chung Lee

发明人： Ji-Hai Xu ,  Franky So ,  Hsing-Chung Lee

IPC分类号： G09G3/10

CPC分类号： G09G3/3225 ,  H01L51/5265 ,  G09G3/2003 ,  H01L27/322 ,  H01L27/3244

摘要： Light emitting apparatus comprising a thin film transistor having a current carrying terminal, an organic electroluminescent device for emitting light having a broad spectrum and having a first terminal connected to current carrying terminal, a color converting medium for absorbing light coupled thereto and emitting light in response to absorbed light, and a microcavity coupling emitted light from the organic electroluminescent device to the color converting medium.

摘要翻译： 包括具有载流端子的薄膜晶体管的发光装置，用于发射具有宽光谱的光并具有连接到载流端子的第一端子的有机电致发光器件，用于吸收耦合到其上的光并发射光的颜色转换介质 吸收光，并且微腔耦合将有机电致发光器件的光发射到颜色转换介质。