公开(公告)号：US5919121A

公开(公告)日：1999-07-06

申请号：US973354

申请日：1997-12-01

申请人： Karl-Heinz Kusters ,  Wolfgang Mark

发明人： Karl-Heinz Kusters ,  Wolfgang Mark

IPC分类号： D21G1/02 ,  F16C13/00 ,  B21B27/00

CPC分类号： F16C13/028 ,  D21G1/022

摘要： A roll having bending control has a rotating hollow roll and a non-rotatable crossbeam penetrating the hollow roll lengthwise. Arranged on the crossbeam in an axially parallel row, closely following one another, are supporting elements which can be actuated independently of one another by fluid pressurized medium. Supply lines are attached via angle units to a bar-type carrier which is fastened to the crossbeam by means of screws that can be manipulated from the outside. The screws have longitudinal bore holes through which the respective supply line is directly connected to the respective supporting element.

摘要翻译： PCT No.PCT / DE96 / 00978 Sec。 371 1997年12月1日第 102（e）日期1997年12月1日PCT Filted 1996年6月4日PCT公布。 出版物WO97 / 00355 日期1997年1月3日具有弯曲控制的辊具有旋转中空辊和不可旋转的横梁，纵向纵贯中空辊。 沿轴向平行的排列布置在横梁上，彼此紧密相连，是可通过流体加压介质彼此独立致动的支撑元件。 供应线通过角度单元连接到杆式载体上，杆状载体通过可从外部操纵的螺钉紧固到横梁上。 螺钉具有纵向钻孔，相应的供应管线直接连接到相应的支撑元件。

公开(公告)号：US5904642A

公开(公告)日：1999-05-18

申请号：US973892

申请日：1997-12-16

申请人： Karl-Heinz Kusters ,  Wolfgang Mark

发明人： Karl-Heinz Kusters ,  Wolfgang Mark

IPC分类号： D21F3/08 ,  D21G1/02 ,  F16C13/00 ,  B21B27/00

CPC分类号： F16C13/028 ,  D21G1/022

摘要： A roller with controllable sag is provided with a revolving hollow roller and a non-rotating crosshead that crosses the hollow roller along its length and on which the hollow roller is supported by a series of supporting elements that are actuated by a pressure medium. Separate supply lines (13) lead to the supporting element and open out into a collection head (40) at the end (10') of the crosshead, to which the outer connection lines (53) are connected. The connection head (40) comprises a double-disc rotary slide valve (50) by which the lines (13, 53) can be interrupted and which in the closed state can be separated at a separation surface (47). The individual discs (51, 52) of the double disc rotary slide valve (50) keep both the supply lines (13) and connection lines (53) closed, thus facilitating replacement of the roller as and when required.

摘要翻译： PCT No.PCT / DE96 / 00702 Sec。 371日期：1997年12月16日 102（e）日期1997年12月16日PCT提交1996年4月23日PCT公布。 公开号WO97 / 00384 日期1997年1月3日具有可控下垂的滚筒设置有旋转中空辊和沿其长度穿过中空辊的非旋转十字头，中空辊由一系列支撑元件支撑，所述支撑元件由 压力介质。 单独的供应管线（13）通向支撑元件并且在十字头的端部（10'）处打开到外部连接线（53）连接到的收集头（40）。 连接头（40）包括双盘旋转滑阀（50），通过该双盘旋转滑阀可以中断管线（13,53），并且处于关闭状态的管路（13,53）可以在分离表面（47）处分离。 双盘旋转滑阀（50）的各个盘（51,52）保持供应管线（13）和连接管线（53）都关闭，从而有助于在需要时更换辊筒。

公开(公告)号：US20060038220A1

公开(公告)日：2006-02-23

申请号：US10921766

申请日：2004-08-19

申请人： Karl-Heinz Kusters ,  Josef Willer ,  Corvin Liaw

发明人： Karl-Heinz Kusters ,  Josef Willer ,  Corvin Liaw

IPC分类号： H01L29/788

CPC分类号： H01L21/28273 ,  H01L27/115 ,  H01L27/11521 ,  H01L29/51 ,  H01L29/66825 ,  H01L29/792

摘要： Transistor bodies of semiconductor material located at a main surface of a semiconductor substrate between shallow trench isolations are provided with a rounded or curved upper surface. A floating gate electrode is arranged above said upper surface and electrically insulated from the semiconductor material by a tunnel dielectric having essentially the same tiny thickness throughout a primary tunnel area encompassing the area of curvature. The floating gate electrode may bridge the transistor body and is covered with a coupling dielectric provided for a control gate electrode, which forms part of a wordline.

摘要翻译： 位于浅沟槽隔离物之间的半导体衬底的主表面处的半导体材料的晶体管本体具有圆形或弯曲的上表面。 浮栅电极布置在所述上​​表面之上并且通过隧道电介质与半导体材料电绝缘，所述隧道电介质具有贯穿所述曲率区域的主隧道区域具有基本上相同的微小厚度。 浮栅电极可以桥接晶体管本体，并被形成为形成字线一部分的控制栅电极的耦合电介质覆盖。

公开(公告)号：US5747388A

公开(公告)日：1998-05-05

申请号：US406669

申请日：1995-03-20

申请人： Karl-Heinz Kusters ,  Paul Kupper ,  Gunther Czech ,  Hellmut Joswig

发明人： Karl-Heinz Kusters ,  Paul Kupper ,  Gunther Czech ,  Hellmut Joswig

IPC分类号： G03F7/11 ,  G03F7/09 ,  H01L21/027 ,  H01L21/302

CPC分类号： G03F7/091 ,  H01L21/0276 ,  Y10S430/151 ,  Y10S438/952

摘要： A thick layer formed of aSi or aSi/aSiN is used as an antireflection layer (3) in the lithographic structuring of layers (2) on a semiconductor substrate (1). A reflection suppression is based on absorption in the aSi layer and on interference in the aSiN layer. An optical decoupling of the background is achieved, with the result that the antireflection layer can be used universally.

摘要翻译： 在半导体衬底（1）上的层（2）的光刻结构中，使用由Si或aSi / aSiN形成的厚层作为抗反射层（3）。 反射抑制基于aSi层中的吸收和aSiN层的干扰。 实现背景的光学解耦，结果是可以普遍使用抗反射层。

公开(公告)号：US5725465A

公开(公告)日：1998-03-10

申请号：US624571

申请日：1996-06-24

申请人： Karl-Heinz Kusters

发明人： Karl-Heinz Kusters

IPC分类号： B21B13/14 ,  B65H27/00 ,  D21G1/00 ,  D21G1/02 ,  F16C13/00 ,  B23P15/00

CPC分类号： F16C13/026 ,  B65H27/00 ,  D21G1/022 ,  B21B27/055 ,  B65H2404/112 ,  B65H2404/1121 ,  B65H2404/136 ,  B65H2404/1451

摘要： In a "floating" roller with a fixed cross-beam and a rotating hollow roller, semicylindrical longitudinal chambers are separated and divided off by longitudinal seals and end cross-seals in the space between the crosshead and the hollow roller. At least the longitudinal chamber on the roller nip side can be filled with a compressed gas. The longitudinal seals and the end cross-seals are doubled and are made of closely juxtaposed pairs of sealing strips or. Into the spaces between the sealing strips can be introduced a sealing liquid which seals the longitudinal chambers. Sealing liquid which has penetrated into the longitudinal chambers is continuously removed.

摘要翻译： PCT No.PCT / DE94 / 00929 Sec。 371日期1996年6月24日 102（e）1996年6月24日PCT 1994年8月12日PCT PCT。 WO95 / 10660 PCT公开 日期1995年04月20日在具有固定横梁和旋转空心辊的“浮动”辊中，半圆柱形纵向室由十字头和中空辊之间的空间中的纵向密封件和端部横向密封件分隔开。 至少辊压辊侧的纵向室可以填充压缩气体。 纵向密封件和端部横向密封件加倍，并且由密封条对或彼此紧密地并排制成。 可以在密封条之间的空间中引入密封纵向室的密封液。 渗透到纵向室中的密封液被连续地移除。

公开(公告)号：US5701022A

公开(公告)日：1997-12-23

申请号：US192188

申请日：1994-02-04

申请人： Walter-Ulrich Kellner ,  Karl-Heinz Kusters ,  Wolfgang Muller ,  Franz-Xaver Stelz

发明人： Walter-Ulrich Kellner ,  Karl-Heinz Kusters ,  Wolfgang Muller ,  Franz-Xaver Stelz

IPC分类号： H01L21/8242 ,  H01L27/108 ,  H01L29/76 ,  H01L29/94 ,  H01L31/119

CPC分类号： H01L27/10861 ,  H01L27/10829 ,  H01L27/10844 ,  Y10S257/929

摘要： A semiconductor memory configuration in a semiconductor substrate includes bit lines, word lines, and memory cells each including one memory capacitor and one MOS selection transistor having two conducting regions and a gate electrode. Each memory capacitor is connected to one of the conducting regions of the transistor. The other of the conducting regions of the transistor is connected to one of the bit lines, and the gate electrode of the transistor is connected to one of the word lines. An insulating field oxide or buried insulating oxide with substantially vertical sidewalls is provided. A trench lies adjacent to the insulating field oxide or buried insulating oxide and adjacent to one of the conducting regions. The capacitors are each disposed in one trench for each memory cell. A first insulating layer covers the inner trench wall surface. A first electrode of the capacitor is disposed perpendicular to the substrate surface on the first insulating layer completely inside the trench. A second insulating layer is disposed on the first electrode. A second electrode is disposed vertically on the second insulating layer in the trench. A contact is connected between the first electrode of the capacitor and one of the conducting regions of the transistor laterally through an opening formed in the first insulating layer on the inner trench wall surface. Methods for producing the semiconductor memory configuration and a memory matrix having at least four of the memory cells, are also provided.

摘要翻译： 半导体衬底中的半导体存储器配置包括位线，字线和存储单元，每个存储单元包括一个存储电容器和一个具有两个导电区域的MOS选择晶体管和一个栅电极。 每个存储电容器连接到晶体管的一个导电区域。 晶体管的另一个导通区域连接到位线之一，并且晶体管的栅电极连接到一条字线。 提供具有基本上垂直侧壁的绝缘场氧化物或掩埋绝缘氧化物。 沟槽位于绝缘场氧化物或掩埋绝缘氧化物附近，并且与导电区域之一相邻。 电容器各自设置在每个存储单元的一个沟槽中。 第一绝缘层覆盖内沟壁表面。 电容器的第一电极在沟槽内完全垂直于第一绝缘层上的衬底表面设置。 第二绝缘层设置在第一电极上。 第二电极垂直地设置在沟槽中的第二绝缘层上。 接触件通过形成在内沟槽壁表面上的第一绝缘层中的开口横向连接在电容器的第一电极和晶体管的导电区域中的一个之间。 还提供了用于制造半导体存储器配置的方法和具有至少四个存储单元的存储器矩阵。

公开(公告)号：US4955120A

公开(公告)日：1990-09-11

申请号：US337254

申请日：1989-04-13

申请人： Bernhard Brendel ,  Klaus Kubik ,  Karl-Heinz Kusters

发明人： Bernhard Brendel ,  Klaus Kubik ,  Karl-Heinz Kusters

IPC分类号： B29C43/46 ,  F16C13/00 ,  F16C32/06

CPC分类号： F16C13/028 ,  F16C32/0651 ,  F16C32/0666

摘要： A hydrostatically supported roll has several hydrostatic support elements supporting the inner circumference of a rotating hollow roll. The hydrostatic elements are supported on the stationary crosshead that extends through the rotating roll to form a clearance space therewith. Each hydrostatic element has support pockets supplied with a first pressurized fluid via choke canals and branch lines connected to a flow-controlled pump delivering a constant volume of first pressurized liquid, regardless of the counterpressure in the support pockets. The first pressurized liquid fed to the support pockets is temperature-controlled. The support pockets are separated from essentially closed pressure chambers, which are supplied with a second pressure-controlled pressurized liquid from separate feedlines for pressing the hydrostatic elements against the inner circumference of the hollow roll to support same. The second pressurized liquid is not communicated to the inner circumference of the hollow roll. Therefore, independent of any pressure change in the pressure chambers, the same quantity of first pressurized liquid passes over the edges of the support pockets to ensure that the amount of heat transferred to the inner circumference of the hollow roll remains constant.

摘要翻译： 静压支撑辊具有支撑旋转中空辊的内圆周的多个静液压支撑元件。 静液压元件支撑在固定十字头上，该十字头延伸穿过旋转辊与其形成间隙空间。 每个静液压元件具有通过扼流管和连接到流量控制的泵的第一加压流体提供的支撑袋，其输送恒定体积的第一加压液体，而不管支撑袋中的反压力如何。 供给到支撑袋的第一加压液体是温度控制的。 支撑袋与基本上闭合的压力室分离，其从单独的进料线供应第二压力控制的加压液体，用于将静压元件压靠在中空辊的内周上以支撑其。 第二加压液体不与中空辊的内周连通。 因此，独立于压力室中的任何压力变化，相同量的第一加压液体通过支撑袋的边缘，以确保传递到中空辊的内周的热量保持恒定。

公开(公告)号：US5189776A

公开(公告)日：1993-03-02

申请号：US778941

申请日：1992-02-06

申请人： Karl-Heinz Kusters

发明人： Karl-Heinz Kusters

IPC分类号： F16C13/00 ,  D21G1/02 ,  F16C32/06

CPC分类号： F16C13/028 ,  D21G1/022 ,  F16C32/0666

摘要： A roller for compressing of webs of material comprises a rotating hollow roller traversed lengthwise by a stationary crosshead. Hydraulic loading devices in the form of sealing members act on the inside circumference of the hollow roller and delimit hydrostatic bearing pockets to which hydraulic pressure fluid can be supplied. The extension of the sealing members is limited by head bolts, which make it possible to position the hollow roller relative to the crosshead during operation.

摘要翻译： PCT No.PCT / DE90 / 00432 Sec。 371日期：1992年2月6日 102（e）日期1992年2月6日PCT Filed 1990年6月6日PCT公布。 WO90 / 15263 PCT出版物 日本1990年12月13日。用于压缩材料网的辊包括通过固定十字头纵向移动的旋转中空辊。 密封件形式的液压装载装置作用在中空辊的内圆周上，并界定可供应液压流体的静压轴承箱。 密封构件的延伸受到头螺栓的限制，这使得可以在操作期间相对于十字头定位中空辊。

公开(公告)号：US5119542A

公开(公告)日：1992-06-09

申请号：US534743

申请日：1990-06-07

申请人： Karl-Heinz Kusters ,  Gunter Schrors

发明人： Karl-Heinz Kusters ,  Gunter Schrors

IPC分类号： F16C33/76 ,  B21B13/14 ,  B65H27/00 ,  D21G1/02 ,  F16C13/00 ,  F16J15/16 ,  F16J15/18 ,  F16J15/34

CPC分类号： B21B27/055 ,  B65H27/00 ,  D21G1/022 ,  F16C13/026 ,  F16J15/342 ,  B65H2404/1372

摘要： In a hydraulically supported roll including a rotatable hollow cylinder and a stationary crosshead, transverse end seals are provided to seal the annular clearance space formed between the crosshead and the inner circumference of the hollow cylinder. Each transverse end seal includes a slide ring having a chamber located on the first surface of the slide ring abutting a counter-ring. The chamber provides hydraulic relief. Radially outside of the chamber a narrow groove is provided which communicates with the low-pressure side of the slide ring via a channel. The channel discharges hydraulic fluid flowing to the first surface of the slide ring as a result of the high pressure in the clearance space.

摘要翻译： 在包括可旋转中空圆柱体和固定十字头的液压支撑辊中，提供横向端部密封件以密封形成在十字头和中空圆柱体的内圆周之间的环形间隙空间。 每个横向端部密封件包括滑动环，其具有位于所述滑动环的第一表面上邻接反向环的腔室。 该室提供液压浮雕。 在腔室的外侧，设置有窄槽，其经由通道与滑环的低压侧连通。 该通道由于间隙空间中的高压而排出流到滑环的第一表面的液压流体。

公开(公告)号：US4856157A

公开(公告)日：1989-08-15

申请号：US126773

申请日：1987-11-30

申请人： Karl-Heinz Kusters

发明人： Karl-Heinz Kusters

IPC分类号： B21B27/02 ,  B21B27/05 ,  D21G1/02 ,  F16C13/00

CPC分类号： F16C13/028 ,  D21G1/022

摘要： A roll is provided comprising a rotating hollow roll forming a working circumference and having a stationary crosshead extending therethrough to form a clearance gap therebetween. The entire clearance gap is filled with pressurized fluid. In the crosshead cylinder-like bores are provided with piston-like sealing elements displaceable therein to rest against the inner circumference of the hollow roll. The elements optionally may exert against the inner circumference of the hollow roll a higher or lower pressure relative to the pressure in the gap to create a line pressure or lifting force for shifting the hollow roll in the effective plane.

摘要翻译： 提供一种辊，其包括形成工作圆周的旋转中空辊，并且具有穿过其延伸的固定十字头，以在它们之间形成间隙。 整个间隙用加压流体填充。 在十字头圆筒状孔中设置有活塞状的密封元件，其可在其中移动以抵靠中空辊的内周。 这些元件可任选地相对于间隙中的压力施加在中空辊的内周上，以产生更高或更低的压力，以产生用于在有效平面中移动中空辊的线压力或提升力。