公开(公告)号：USRE40586E1

公开(公告)日：2008-11-25

申请号：US11880424

申请日：2007-07-20

申请人： Kenneth E. Hrdina ,  John E. Maxon ,  Brent R. Mclean

发明人： Kenneth E. Hrdina ,  John E. Maxon ,  Brent R. Mclean

IPC分类号： C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  G21K1/06 ,  G02B5/08 ,  G02B5/10

CPC分类号： B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B19/1446 ,  C03B19/1484 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/62 ,  C03B2207/66 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/40 ,  G03F1/24 ,  G03F7/70958

摘要： Titania-containing silica glass bodies and extreme ultraviolet elements having low levels of striae are disclosed. Methods and apparatus for manufacturing and measuring striae in glass elements and extreme ultraviolet elements are also disclosed.

摘要翻译： 公开了含有二氧化钛的二氧化硅玻璃体和具有低水平条纹的极紫外线元件。 还公开了用于制造和测量玻璃元件和极紫外元件中的条纹的方法和装置。

公开(公告)号：US07053017B2

公开(公告)日：2006-05-30

申请号：US10378391

申请日：2003-03-03

申请人： Kenneth E. Hrdina ,  John E. Maxon ,  Brent R. Mclean

发明人： Kenneth E. Hrdina ,  John E. Maxon ,  Brent R. Mclean

IPC分类号： C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  G21K1/06 ,  G02B5/08 ,  G02B5/10

CPC分类号： B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B19/1446 ,  C03B19/1484 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/62 ,  C03B2207/66 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/40 ,  G03F1/24 ,  G03F7/70958

摘要： Titania-containing silica glass bodies and extreme ultraviolet elements having low levels of striae are disclosed. Methods and apparatus for manufacturing and measuring striae in glass elements and extreme ultraviolet elements are also disclosed.

摘要翻译： 公开了含有二氧化钛的二氧化硅玻璃体和具有低水平条纹的极紫外线元件。 还公开了用于制造和测量玻璃元件和极紫外元件中的条纹的方法和装置。

公开(公告)号：US06988378B1

公开(公告)日：2006-01-24

申请号：US09626634

申请日：2000-07-27

申请人： Kenneth E. Hrdina ,  John E. Maxon ,  Michael H. Wasilewski

发明人： Kenneth E. Hrdina ,  John E. Maxon ,  Michael H. Wasilewski

IPC分类号： C03B19/06

CPC分类号： C03B19/14 ,  C03B19/08 ,  C03B19/1469 ,  C03C1/026 ,  C03C11/007 ,  C03C17/22

摘要： These glass bodies are light weight porous structures such as a boules of high purity fused silica (HPFS). More specifically, the porous structures are supports for HPFS mirror blanks. Porous glass is made utilizing flame deposition of pure silica or doped silica in a manner similar to the production of high purity fused silica. Bubbles or seeds are formed in the glass during laydown. Finely divided silicon carbide (SiC) particles are used to form the bubbles. At least one layer of porous glass is formed in the boule.

摘要翻译： 这些玻璃体是轻质多孔结构，例如高纯度熔融石英（HPFS）的聚合物。 更具体地，多孔结构是用于HPFS镜面坯料的支撑件。 以与制备高纯度熔凝石英相似的方法，利用纯二氧化硅或掺杂二氧化硅的火焰沉积制造多孔玻璃。 泡沫或种子在放置期间在玻璃中形成。 细分碳化硅（SiC）颗粒用于形成气泡。 至少一层多孔玻璃形成在该坯料中。

公开(公告)号：US07506522B2

公开(公告)日：2009-03-24

申请号：US11148764

申请日：2005-06-08

申请人： Daniel Joseph Bleaking ,  Dana C. Bookbinder ,  Richard M. Fiacco ,  Kenneth E. Hrdina ,  Pushkar Tandon ,  John E. Maxon ,  Kimberly Ann Wilbert

发明人： Daniel Joseph Bleaking ,  Dana C. Bookbinder ,  Richard M. Fiacco ,  Kenneth E. Hrdina ,  Pushkar Tandon ,  John E. Maxon ,  Kimberly Ann Wilbert

IPC分类号： C03B20/00 ,  C03C3/06

CPC分类号： C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/03 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23

摘要： Disclosed are high purity synthetic silica glass material having a high OH concentration homogeneity in a plane perpendicular to the optical axis, and process of making the same. The glass has high refractive index homogeneity. The glass can have high internal transmission of at least 99.65%/cm at 193 nm. The process does not require a post-sintering homogenization step. The controlling factors for high compositional homogeneity, thus high refractive index homogeneity, include high initial local soot density uniformity in the soot preform and slow sintering, notably isothermal treatment during consolidation.

摘要翻译： 公开了在垂直于光轴的平面中具有高OH浓度均匀性的高纯度合成石英玻璃材料及其制备方法。 玻璃具有高折射率均匀性。 该玻璃在193nm处可以具有至少99.65％/ cm的高内部透射率。 该方法不需要后烧结均质化步骤。 组合均匀性高，因此具有高折射率均匀性的控制因素包括烟灰预制件中的初始局部烟灰密度均匀性和缓慢烧结，特别是固结期间的等温处理。

公开(公告)号：US5970751A

公开(公告)日：1999-10-26

申请号：US160251

申请日：1998-09-22

申请人： John E. Maxon ,  Robert S. Pavlik, Jr. ,  Daniel R. Sempolinski ,  Michael H. Wasilewski

发明人： John E. Maxon ,  Robert S. Pavlik, Jr. ,  Daniel R. Sempolinski ,  Michael H. Wasilewski

IPC分类号： C03B19/14 ,  C03C3/06 ,  C03B19/00 ,  C03B37/018

CPC分类号： C03B19/1415 ,  C03B19/14 ,  C03C3/06 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/32 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/40

摘要： A method of producing, by flame hydrolysis, a fused silica glass containing titania which comprises delivering a mixture of a silica precursor and a titania precursor in vapor form to a flame, passing the vapor mixture through the flame to form SiO.sub.2 --TiO.sub.2 particles, and depositing the particles within a furnace where they melt to form a solid glass body.

摘要翻译： 通过火焰水解生产含有二氧化钛的熔融石英玻璃的方法，其包括将二氧化硅前体和二氧化钛前体的混合物以蒸汽形式输送到火焰中，使蒸气混合物通过火焰形成SiO 2 -TiO 2颗粒，以及 将颗粒沉积在炉中，在炉中熔化，形成固体玻璃体。

公开(公告)号：US5698484A

公开(公告)日：1997-12-16

申请号：US712296

申请日：1996-09-11

申请人： John E. Maxon

发明人： John E. Maxon

IPC分类号： C03B19/01 ,  C03B8/04 ,  C03B19/14 ,  C03C3/06 ,  C03B20/00

CPC分类号： C03C3/06 ,  C03B19/1407 ,  C03B19/1423 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1492 ,  C03B2207/52 ,  Y10S501/90 ,  Y10S65/08

摘要： Fused silica boules (19) having improved homogeneity are produced by causing the boule (19) to flow radially during its formation to achieve local mixing between portions of the boule which may have experienced different laydown conditions. The mixing is achieved by one or a combination of: (1) use of a containment vessel (13) having a gently sloping containment wall (22); (2) use of a containment vessel (13) whose inner radius (r.sub.v) is substantially larger than the outermost radius (r.sub.b) of the burners (14) used to produce the boule (19); and/or (3) maintaining the boule (19) at a sufficiently high temperature during laydown so that radial flow is achieved with a minimum head height of glass. Large blanks having high homogeneity can be made from such boules, e.g., blanks having diameters above 200 millimeters and .DELTA.n values of less than 0.25.times.10.sup.-6.

摘要翻译： 具有改善的均匀性的熔融二氧化硅凝胶（19）通过在其形成期间使轴（19）径向流动而产生，以实现可能经历不同沉积条件的芯的部分之间的局部混合。 混合通过以下一种或组合来实现：（1）使用具有缓缓倾斜的容纳壁（22）的容纳容器（13）; （2）使用其内半径（rv）基本上大于用于制造该坯料（19）的燃烧器（14）的最外半径（rb）的容纳容器（13）; 和/或（3）在沉积期间将该保持棒（19）保持在足够高的温度，以便以最小的玻璃头部高度实现径向流动。 具有高均匀性的大坯料可以由这样的毛坯制成，例如直径大于200毫米的坯料和小于0.25×10 -6的DELTA n值。

公开(公告)号：US5696038A

公开(公告)日：1997-12-09

申请号：US712298

申请日：1996-09-11

申请人： John E. Maxon

发明人： John E. Maxon

IPC分类号： C03B8/04 ,  C03B19/14 ,  C03B20/00

CPC分类号： C03B19/1484 ,  C03B19/1423 ,  C03B2203/22 ,  C03B2207/50 ,  C03B2207/66 ,  C03B2207/70 ,  Y10S501/90

摘要： Oscillation/rotation patterns for improving the off-axis homogeneity of fused silica boules are provided. The patterns reduce the optical effects of periodic off-axis striae by decreasing the ratio of .DELTA.n.sub.striae to .DELTA.z.sub.striae, where .DELTA.n.sub.striae is the average peak-to-valley magnitude of the striae and .DELTA.z.sub.striae is their average peak-to-peak period. The oscillation/rotation patterns have long repeat periods and cause soot-producing burners to trace out substantially spiral-shaped patterns on the surface of the boule.

摘要翻译： 提供了用于改善熔融二氧化硅颗粒的离轴均匀性的振荡/旋转图案。 这些图案通过减少DELTA纹理与DELTA zstriae的比例来减少周期性离轴条纹的光学效应，其中DELTA nstriae是条纹的平均峰谷值，DELTA zstriae是它们的平均峰 - 峰期 。 振荡/旋转图案具有长的重复周期，并且导致产生烟灰的燃烧器能够追踪在该表面上的基本上螺旋形的图案。

公开(公告)号：US06946416B2

公开(公告)日：2005-09-20

申请号：US10319739

申请日：2002-12-13

申请人： John E. Maxon ,  Christine E. Heckle

发明人： John E. Maxon ,  Christine E. Heckle

IPC分类号： G02B1/00 ,  C03B20/00 ,  C03C3/06 ,  G02B6/13

CPC分类号： C03C3/06 ,  C03C2201/32 ,  G02B6/13

摘要： Fused silica articles exhibiting improved internal transmission and decreased absorption change when irradiated with a laser when compared with fused silica articles containing lower levels of aluminum. The articles also exhibit induced transmission when irradiated with a laser. The articles also exhibit improved off-axis refractive index homogeneity.

摘要翻译： 当与含有较低含量的铝的熔融石英制品相比时，用激光照射时，熔融二氧化硅制品表现出改善的内部透光性和降低的吸收变化。 当用激光照射时，制品也表现出诱导的传播。 这些制品还表现出改进的离轴折射率均匀性。