公开(公告)号：US09490152B2

公开(公告)日：2016-11-08

申请号：US13482814

申请日：2012-05-29

申请人： Lan-Hai Wang ,  Ding-I Liu ,  Si-Wen Liao ,  Yong-Hung Yang ,  Jia-Wei Hsu

发明人： Lan-Hai Wang ,  Ding-I Liu ,  Si-Wen Liao ,  Yong-Hung Yang ,  Jia-Wei Hsu

IPC分类号： C23C16/455 ,  H01L21/67 ,  H01L21/762

CPC分类号： H01L21/67161 ,  C23C16/455 ,  C23C16/45587 ,  C23C16/45589 ,  C23C16/45591 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/76224 ,  Y10T137/6416

摘要： A production tool includes a chamber, a heater in the chamber, and a pumping outlet on a side of the heater. A pumping liner is in the chamber and encircling the heater. The pumping liner and the heater have a first gap therebetween and a second gap therebetween. The second gap is different from the first gap, and the second gap is farther away from the first pumping outlet than the first gap.

摘要翻译： 生产工具包括腔室，腔室中的加热器以及加热器侧面的泵出口。 泵内衬在腔室中并且环绕加热器。 泵送衬套和加热器之间具有第一间隙，并且其间具有第二间隙。 第二间隙与第一间隙不同，第二间隙比第一间隙更远离第一泵出口。

公开(公告)号：US20130319543A1

公开(公告)日：2013-12-05

申请号：US13482814

申请日：2012-05-29

申请人： Lan-Hai Wang ,  Ding-I Liu ,  Si-Wen Liao ,  Yong-Hung Yang ,  Jia-Wei Hsu

发明人： Lan-Hai Wang ,  Ding-I Liu ,  Si-Wen Liao ,  Yong-Hung Yang ,  Jia-Wei Hsu

IPC分类号： F16L53/00

CPC分类号： H01L21/67161 ,  C23C16/455 ,  C23C16/45587 ,  C23C16/45589 ,  C23C16/45591 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/76224 ,  Y10T137/6416

摘要： A production tool includes a chamber, a heater in the chamber, and a pumping outlet on a side of the heater. A pumping liner is in the chamber and encircling the heater. The pumping liner and the heater have a first gap therebetween and a second gap therebetween. The second gap is different from the first gap, and the second gap is farther away from the first pumping outlet than the first gap.

摘要翻译： 生产工具包括腔室，腔室中的加热器以及加热器侧面的泵出口。 泵内衬在腔室中并且环绕加热器。 泵送衬套和加热器之间具有第一间隙，并且其间具有第二间隙。 第二间隙与第一间隙不同，第二间隙比第一间隙更远离第一泵出口。

公开(公告)号：US09631273B2

公开(公告)日：2017-04-25

申请号：US13557904

申请日：2012-07-25

申请人： Lan-Hai Wang ,  Ding-I Liu ,  Si-Wen Liao ,  Po-Hsiung Leu ,  Yong-Hung Yang

发明人： Lan-Hai Wang ,  Ding-I Liu ,  Si-Wen Liao ,  Po-Hsiung Leu ,  Yong-Hung Yang

IPC分类号： C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  C23C16/50

CPC分类号： C23C16/401 ,  C23C16/4557 ,  C23C16/45574 ,  C23C16/50

摘要： An apparatus comprises a first gas inlet coupled between a first pipe and a reaction chamber, wherein the first pipe configured to carry process gases, a second gas inlet coupled between a second pipe and the reaction chamber, wherein the second pipe configured to carry a precursor material in a gaseous state and a heating device coupled to the second pipe and the second gas inlet, wherein the heating device keeps an ambient temperature of the second pipe and the second gas inlet above a boiling point of the precursor material.

公开(公告)号：US20140026813A1

公开(公告)日：2014-01-30

申请号：US13557904

申请日：2012-07-25

申请人： Lan-Hai Wang ,  Ding-I Liu ,  Si-Wen Liao ,  Po-Hsiung Leu ,  Yong-Hung Yang

发明人： Lan-Hai Wang ,  Ding-I Liu ,  Si-Wen Liao ,  Po-Hsiung Leu ,  Yong-Hung Yang

IPC分类号： C23C16/455 ,  C23C16/50

CPC分类号： C23C16/401 ,  C23C16/4557 ,  C23C16/45574 ,  C23C16/50

摘要： An apparatus comprises a first gas inlet coupled between a first pipe and a reaction chamber, wherein the first pipe configured to carry process gases, a second gas inlet coupled between a second pipe and the reaction chamber, wherein the second pipe configured to carry a precursor material in a gaseous state and a heating device coupled to the second pipe and the second gas inlet, wherein the heating device keeps an ambient temperature of the second pipe and the second gas inlet above a boiling point of the precursor material.

摘要翻译： 一种装置包括耦合在第一管和反应室之间的第一气体入口，其中第一管被构造成承载处理气体，第二气体入口连接在第二管和反应室之间，其中第二管配置成承载前体 处于气态的材料和耦合到第二管和第二气体入口的加热装置，其中加热装置将第二管和第二气体入口的环境温度保持在前体材料的沸点之上。