公开(公告)号：US3384793A

公开(公告)日：1968-05-21

申请号：US53260666

申请日：1966-03-08

Applicant: MATSUSHITA ELECTRONICS CORP

Inventor： KYOJI MORIYAMA ,  KOICHIRO SHODA

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/22 ,  H01L23/48 ,  H01L29/00 ,  H01L29/73

CPC classification number: H01L29/00 ,  H01L21/00 ,  H01L21/22 ,  H01L23/48 ,  H01L24/05 ,  H01L29/73 ,  H01L2224/04042 ,  H01L2224/48463 ,  H01L2924/12036 ,  H01L2924/00

公开(公告)号：US3384518A

公开(公告)日：1968-05-21

申请号：US49153565

申请日：1965-09-30

Applicant: MATSUSHITA ELECTRONICS CORP

Inventor： KOICHIRO SHODA ,  KYOJI MORIYAMA

IPC: C23C2/14 ,  H01L21/00 ,  H01L21/24

CPC classification number: H01L21/00 ,  C23C2/14 ,  H01L21/24 ,  Y10S148/05 ,  Y10S148/151 ,  Y10S438/955