公开(公告)号：US09705076B2

公开(公告)日：2017-07-11

申请号：US14478971

申请日：2014-09-05

申请人： Makoto Nagamine ,  Youngmin Eeh ,  Koji Ueda ,  Daisuke Watanabe ,  Kazuya Sawada ,  Toshihiko Nagase ,  Masahiko Nakayama

发明人： Makoto Nagamine ,  Youngmin Eeh ,  Koji Ueda ,  Daisuke Watanabe ,  Kazuya Sawada ,  Toshihiko Nagase ,  Masahiko Nakayama

IPC分类号： H01L43/10 ,  H01L43/08 ,  H01L27/22 ,  H01L43/12

CPC分类号： H01L43/10 ,  H01L27/228 ,  H01L43/08 ,  H01L43/12

摘要： According to one embodiment, there is provided a magnetoresistive element, including a lower electrode having crystallinity on a substrate, a first conductive layer including an amorphous state on the lower electrode, a buffer layer on the first conductive layer, and an MTJ element on the buffer layer.

公开(公告)号：US09461240B2

公开(公告)日：2016-10-04

申请号：US14814158

申请日：2015-07-30

申请人： Kazuya Sawada ,  Toshihiko Nagase ,  Youngmin Eeh ,  Koji Ueda ,  Daisuke Watanabe ,  Makoto Nagamine

发明人： Kazuya Sawada ,  Toshihiko Nagase ,  Youngmin Eeh ,  Koji Ueda ,  Daisuke Watanabe ,  Makoto Nagamine

IPC分类号： H01L43/08 ,  H01L43/02 ,  H01L43/10

CPC分类号： H01L43/08 ,  H01L27/228 ,  H01L43/10

摘要： According to one embodiment, a magnetoresistive memory device includes a first magnetic layer, a second magnetic layer, a nonmagnetic layer provided between the first magnetic layer and the second magnetic layer, and a third magnetic layer provided on a side of the first or second magnetic layer opposite to the nonmagnetic layer. The third magnetic layer has a multilayer film having an artificial lattice structure, and the third magnetic layer is partly microcrystalline or amorphous.

摘要翻译： 根据一个实施例，磁阻存储器件包括第一磁性层，第二磁性层，设置在第一磁性层和第二磁性层之间的非磁性层，以及设置在第一或第二磁性层的一侧的第三磁性层 层与非磁性层相对。 第三磁性层具有具有人造晶格结构的多层膜，第三磁性层是部分微晶或无定形的。

公开(公告)号：US09620561B2

公开(公告)日：2017-04-11

申请号：US14627552

申请日：2015-02-20

申请人： Toshihiko Nagase ,  Daisuke Watanabe ,  Youngmin Eeh ,  Koji Ueda ,  Kazuya Sawada ,  Makoto Nagamine

发明人： Toshihiko Nagase ,  Daisuke Watanabe ,  Youngmin Eeh ,  Koji Ueda ,  Kazuya Sawada ,  Makoto Nagamine

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L29/82 ,  H01L27/22 ,  H01L43/08 ,  H01L21/677 ,  H01L43/12

CPC分类号： H01L27/222 ,  H01L21/67709 ,  H01L29/82 ,  H01L43/08 ,  H01L43/12

摘要： According to one embodiment, a magnetoresistive element is disclosed. The magnetoresistive element includes an underlayer containing aluminum (Al), nitrogen (N) and X. The X is an element other than Al and N. A first magnetic layer is provided on the underlayer. A nonmagnetic layer is provided on the first magnetic layer. A second magnetic layer is provided on the nonmagnetic layer.

公开(公告)号：US09142756B2

公开(公告)日：2015-09-22

申请号：US14157387

申请日：2014-01-16

申请人： Makoto Nagamine ,  Youngmin Eeh ,  Koji Ueda ,  Daisuke Watanabe ,  Kazuya Sawada ,  Toshihiko Nagase

发明人： Makoto Nagamine ,  Youngmin Eeh ,  Koji Ueda ,  Daisuke Watanabe ,  Kazuya Sawada ,  Toshihiko Nagase

IPC分类号： G11B5/39 ,  H01L43/02 ,  H01L43/12 ,  H01L43/10

CPC分类号： H01L43/02 ,  G11B5/3909 ,  H01L43/10 ,  H01L43/12

摘要： A magnetoresistive element includes a first ferromagnetic layer formed on a base substrate, a tunnel barrier layer formed on the first ferromagnetic layer, and a second ferromagnetic layer containing B formed on the tunnel barrier layer. The second ferromagnetic layer includes at least one of H, F, Cl, Br, I, C, O, and N, and a concentration of molecules of the at least one of H, F, Cl, Br, I, C, O, and N included in the second ferromagnetic layer is higher in a central portion in a depth direction of the second ferromagnetic layer than in an upper surface and a lower surface thereof.

摘要翻译： 磁阻元件包括形成在基底基板上的第一铁磁层，形成在第一铁磁层上的隧道势垒层和形成在隧道势垒层上的含有B的第二铁磁层。 第二铁磁层包括H，F，Cl，Br，I，C，O和N中的至少一种，H，F，Cl，Br，I，C，O中的至少一种的分子浓度 ，并且第二铁磁层中包含的N在第二铁磁层的深度方向上的中心部比在其上表面和下表面高。

公开(公告)号：US09640584B2

公开(公告)日：2017-05-02

申请号：US14645239

申请日：2015-03-11

申请人： Makoto Nagamine ,  Youngmin Eeh ,  Koji Ueda ,  Daisuke Watanabe ,  Kazuya Sawada ,  Toshihiko Nagase

发明人： Makoto Nagamine ,  Youngmin Eeh ,  Koji Ueda ,  Daisuke Watanabe ,  Kazuya Sawada ,  Toshihiko Nagase

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L43/00 ,  H01L27/22 ,  H01L43/08 ,  H01L43/12

CPC分类号： H01L27/228 ,  H01L43/08 ,  H01L43/12

摘要： According to one embodiment, a magnetoresistive memory device, includes a metal buffer layer provided on a substrate, a crystalline metal nitride buffer layer provided on the metal buffer layer, and a magnetoresistive element provided on the metal nitride buffer layer. The metal nitride buffer layer and the metal buffer layer contain a same material.

公开(公告)号：US09209386B2

公开(公告)日：2015-12-08

申请号：US14157356

申请日：2014-01-16

申请人： Makoto Nagamine ,  Youngmin Eeh ,  Koji Ueda ,  Daisuke Watanabe ,  Kazuya Sawada ,  Toshihiko Nagase

发明人： Makoto Nagamine ,  Youngmin Eeh ,  Koji Ueda ,  Daisuke Watanabe ,  Kazuya Sawada ,  Toshihiko Nagase

IPC分类号： G11B5/39 ,  H01L43/08 ,  H01L43/12 ,  H01L43/10

CPC分类号： H01L43/08 ,  G11B5/3909 ,  H01L43/10 ,  H01L43/12

摘要： According to one embodiment, a magneto-resistive element includes a first ferromagnetic layer formed on a substrate, a tunnel barrier layer formed on the first ferromagnetic layer, and a second ferromagnetic layer containing B formed on the tunnel barrier layer, the second magnetic layer containing therein any of He, Ne, Ar, Kr, Xe and N2.

摘要翻译： 根据一个实施例，磁阻元件包括形成在衬底上的第一铁磁层，形成在第一铁磁层上的隧道势垒层和形成在隧道势垒层上的含有B的第二铁磁层，第二磁性层含有 其中任何He，Ne，Ar，Kr，Xe和N 2。

公开(公告)号：US09269890B2

公开(公告)日：2016-02-23

申请号：US14014210

申请日：2013-08-29

申请人： Masahiko Nakayama ,  Toshihiko Nagase ,  Tadashi Kai ,  Youngmin Eeh ,  Koji Ueda ,  Yutaka Hashimoto ,  Daisuke Watanabe ,  Kazuya Sawada

发明人： Masahiko Nakayama ,  Toshihiko Nagase ,  Tadashi Kai ,  Youngmin Eeh ,  Koji Ueda ,  Yutaka Hashimoto ,  Daisuke Watanabe ,  Kazuya Sawada

IPC分类号： H01L29/82 ,  H01L43/08 ,  H01F10/32 ,  H01F41/32

CPC分类号： H01L43/08 ,  H01F10/3254 ,  H01F10/3259 ,  H01F41/325

摘要： According to one embodiment, a magnetoresistance effect element includes a reference layer, a shift canceling layer, a storage layer provided between the reference layer and the shift canceling layer, a tunnel barrier layer provided between the reference layer and the storage layer, and a spacer layer provided between the shift canceling layer and the storage layer, wherein a pattern of the storage layer is provided inside a pattern of the shift canceling layer when the patterns of the storage layer and the shift canceling layer are viewed from a direction perpendicular to the patterns of the storage layer and the shift canceling layer.

摘要翻译： 根据一个实施例，磁阻效应元件包括参考层，移位消除层，设置在参考层和移位消除层之间的存储层，设置在参考层和存储层之间的隧道势垒层，以及间隔物 设置在移位消除层和存储层之间的层，其中当从垂直于图案的方向观察存储层和移位消除层的图案时，存储层的图案设置在移位消除层的图案内部 的存储层和移位消除层。

公开(公告)号：US09184374B2

公开(公告)日：2015-11-10

申请号：US13963762

申请日：2013-08-09

申请人： Kazuya Sawada ,  Toshihiko Nagase ,  Youngmin Eeh ,  Koji Ueda ,  Daisuke Watanabe ,  Masahiko Nakayama ,  Tadashi Kai ,  Hiroaki Yoda

发明人： Kazuya Sawada ,  Toshihiko Nagase ,  Youngmin Eeh ,  Koji Ueda ,  Daisuke Watanabe ,  Masahiko Nakayama ,  Tadashi Kai ,  Hiroaki Yoda

IPC分类号： H01L29/82 ,  H01L43/08 ,  H01L43/10

CPC分类号： H01L43/08 ,  H01L43/10

摘要： According to one embodiment, a magnetoresistive element includes first, second and third magnetic layers, and first and second nonmagnetic layers. The third magnetic layer has stack layers including a first stack layer close to the second magnetic layer, and a second stack layer far from the second magnetic layer. Each of the first and second stack layers includes a first layer made of a ferromagnetic material and a second layer made of a nonmagnetic material, and a first ratio of a film thickness of the first layer to that of the second layer in the first stack layer is higher than a second ratio of a film thickness of the first layer to that of the second layer in the second stack layer.

摘要翻译： 根据一个实施例，磁阻元件包括第一，第二和第三磁性层以及第一和第二非磁性层。 第三磁性层具有包括靠近第二磁性层的第一堆叠层和远离第二磁性层的第二堆叠层的堆叠层。 第一和第二堆叠层中的每一个包括由铁磁材料制成的第一层和由非磁性材料制成的第二层，并且第一层的第一层的膜厚度与第二层的膜厚度的第一比率 高于第二层的第一层的膜厚度与第二层的膜厚度的第二比率。

公开(公告)号：US08995181B2

公开(公告)日：2015-03-31

申请号：US13963654

申请日：2013-08-09

申请人： Daisuke Watanabe ,  Youngmin Eeh ,  Kazuya Sawada ,  Koji Ueda ,  Toshihiko Nagase

发明人： Daisuke Watanabe ,  Youngmin Eeh ,  Kazuya Sawada ,  Koji Ueda ,  Toshihiko Nagase

IPC分类号： G11C11/00 ,  G11C11/16 ,  H01L43/02

CPC分类号： H01L43/10 ,  G11C11/161 ,  H01L27/222 ,  H01L43/02 ,  H01L43/08

摘要： According to one embodiment, a magnetoresistive element comprises a storage layer having perpendicular magnetic anisotropy with respect to a film plane and having a variable direction of magnetization, a reference layer having perpendicular magnetic anisotropy with respect to the film plane and having an invariable direction of magnetization, a tunnel barrier layer formed between the storage layer and the reference layer and containing O, and an underlayer formed on a side of the storage layer opposite to the tunnel barrier layer. The reference layer comprises a first reference layer formed on the tunnel barrier layer side and a second reference layer formed opposite the tunnel barrier layer. The second reference layer has a higher standard electrode potential than the underlayer.

摘要翻译： 根据一个实施例，磁阻元件包括相对于膜平面具有垂直磁各向异性且具有可变磁化方向的存储层，具有相对于膜平面具有垂直磁各向异性且具有不变的磁化方向的参考层 形成在存储层和参考层之间并且包含O的隧道势垒层，以及形成在与隧道势垒层相对的存储层侧的底层。 参考层包括形成在隧道势垒层侧的第一参考层和与隧道势垒层相对形成的第二参考层。 第二参考层具有比底层更高的标准电极电位。

公开(公告)号：US09293695B2

公开(公告)日：2016-03-22

申请号：US14160166

申请日：2014-01-21

申请人： Koji Ueda ,  Toshihiko Nagase ,  Kazuya Sawada ,  Youngmin Eeh ,  Daisuke Watanabe ,  Hiroaki Yoda

发明人： Koji Ueda ,  Toshihiko Nagase ,  Kazuya Sawada ,  Youngmin Eeh ,  Daisuke Watanabe ,  Hiroaki Yoda

IPC分类号： H01L43/00 ,  H01L43/08 ,  H01L27/22

CPC分类号： H01L43/10 ,  H01L27/228 ,  H01L43/02 ,  H01L43/08

摘要： According to one embodiment, a magnetoresistive element comprises a first magnetic layer, a second magnetic layer, a first nonmagnetic layer, a second nonmagnetic layer, and a third magnetic layer. The first magnetic layer has a variable magnetization direction. The second magnetic layer has an invariable magnetization direction and includes a nonmagnetic material film and a magnetic material film. The first nonmagnetic layer is arranged between the first magnetic layer and the second magnetic layer. The second nonmagnetic layer is arranged on a surface of the second magnetic layer. The third magnetic layer is arranged on a surface of the second nonmagnetic layer. The second nonmagnetic layer is in contact with the nonmagnetic material film included in the second magnetic layer.

摘要翻译： 根据一个实施例，磁阻元件包括第一磁性层，第二磁性层，第一非磁性层，第二非磁性层和第三磁性层。 第一磁性层具有可变的磁化方向。 第二磁性层具有不变的磁化方向，并且包括非磁性材料膜和磁性材料膜。 第一非磁性层布置在第一磁性层和第二磁性层之间。 第二非磁性层布置在第二磁性层的表面上。 第三磁性层布置在第二非磁性层的表面上。 第二非磁性层与包含在第二磁性层中的非磁性材料膜接触。