公开(公告)号：US20120185096A1

公开(公告)日：2012-07-19

申请号：US13032390

申请日：2011-02-22

申请人： Michael Rosenstein ,  Steven V. Shamlian ,  Chikyung Won ,  Michael Halloran ,  Mark Chiappetta ,  Thomas P. Allen

发明人： Michael Rosenstein ,  Steven V. Shamlian ,  Chikyung Won ,  Michael Halloran ,  Mark Chiappetta ,  Thomas P. Allen

IPC分类号： G05B15/00

CPC分类号： B25J5/007 ,  B25J11/009 ,  G05D1/0227 ,  G05D1/024 ,  G05D1/0242 ,  G05D1/0246 ,  G05D1/0255 ,  G05D1/027 ,  G05D1/0272 ,  G05D1/0274 ,  G05D2201/0206 ,  Y10S901/01

摘要： A method of operating a mobile robot to traverse a threshold includes detecting a threshold proximate the robot. The robot includes a holonomic drive system having first, second, and third drive elements configured to maneuver the robot omni-directionally. The method further includes moving the first drive element onto the threshold from a first side and moving the second drive element onto the threshold to place both the first and second drive elements on the threshold. The method includes moving the first drive element off a second side of the threshold, opposite to the first side of the threshold, and moving the third drive element onto the threshold, placing both the second and third drive elements on the threshold. The method includes moving both the second and third drive elements off the second side of the threshold.

摘要翻译： 操作移动机器人横穿阈值的方法包括检测机器人附近的阈值。 该机器人包括一个完整的驱动系统，其具有被配置成全方向地操纵机器人的第一，第二和第三驱动元件。 该方法还包括将第一驱动元件从第一侧移动到阈值上并将第二驱动元件移动到阈值上以将第一和第二驱动元件都置于阈值上。 该方法包括将第一驱动元件移离阈值的第二侧，与阈值的第一侧相反，并将第三驱动元件移动到阈值上，将第二和第三驱动元件都置于阈值上。 该方法包括将第二和第三驱动元件移动离开阈值的第二侧。

公开(公告)号：US08918213B2

公开(公告)日：2014-12-23

申请号：US13032370

申请日：2011-02-22

申请人： Michael Rosenstein ,  Chikyung Won ,  Geoffrey B. Lansberry ,  Steven V. Shamlian ,  Michael Halloran ,  Mark Chiappetta ,  Thomas P. Allen

发明人： Michael Rosenstein ,  Chikyung Won ,  Geoffrey B. Lansberry ,  Steven V. Shamlian ,  Michael Halloran ,  Mark Chiappetta ,  Thomas P. Allen

IPC分类号： G06F19/00 ,  G05B15/00 ,  G05B19/00 ,  B25J13/08 ,  B25J5/00 ,  G05D1/02

CPC分类号： B25J13/084 ,  B25J5/007 ,  G05D1/0227 ,  G05D1/024 ,  G05D1/0251 ,  G05D1/0255 ,  G05D1/0272 ,  G05D1/0274 ,  G05D2201/0206 ,  G05D2201/0211 ,  Y10S901/01

摘要： A mobile human interface robot that includes a base defining a vertical center axis and a forward drive direction and a holonomic drive system supported by the base. The drive system has first, second, and third driven drive wheels, each trilaterally spaced about the vertical center axis and having a drive direction perpendicular to a radial axis with respect to the vertical center axis. The robot further includes a controller in communication with the holonomic drive system, a torso supported above the base, and a touch sensor system in communication with the controller. The touch sensor system is responsive to human contact. The controller issues drive commands to the holonomic drive system based on a touch signal received from the touch sensor system.

摘要翻译： 一种移动人机接口机器人，其包括限定垂直中心轴线和向前驱动方向的基座和由基座支撑的整体驱动系统。 驱动系统具有第一，第二和第三从动驱动轮，每个三轴驱动轮围绕垂直中心轴线三边隔开，并具有垂直于垂直中心轴线的径向轴线的驱动方向。 机器人还包括与整体驱动系统通信的控制器，支撑在基座上方的躯干以及与控制器通信的触摸传感器系统。 触摸传感器系统响应人的接触。 控制器基于从触摸传感器系统接收的触摸信号向整体驱动系统发出驱动命令。

公开(公告)号：US20120185095A1

公开(公告)日：2012-07-19

申请号：US13032370

申请日：2011-02-22

申请人： Michael Rosenstein ,  Chikyung Won ,  Geoffrey B. Lansberry ,  Steven V. Shamlian ,  Michael Halloran ,  Mark Chiappetta ,  Thomas P. Allen

发明人： Michael Rosenstein ,  Chikyung Won ,  Geoffrey B. Lansberry ,  Steven V. Shamlian ,  Michael Halloran ,  Mark Chiappetta ,  Thomas P. Allen

IPC分类号： B25J13/08 ,  G05B15/00 ,  B25J19/02 ,  B25J19/04

CPC分类号： B25J13/084 ,  B25J5/007 ,  G05D1/0227 ,  G05D1/024 ,  G05D1/0251 ,  G05D1/0255 ,  G05D1/0272 ,  G05D1/0274 ,  G05D2201/0206 ,  G05D2201/0211 ,  Y10S901/01

摘要： A mobile human interface robot that includes a base defining a vertical center axis and a forward drive direction and a holonomic drive system supported by the base. The drive system has first, second, and third driven drive wheels, each trilaterally spaced about the vertical center axis and having a drive direction perpendicular to a radial axis with respect to the vertical center axis. The robot further includes a controller in communication with the holonomic drive system, a torso supported above the base, and a touch sensor system in communication with the controller. The touch sensor system is responsive to human contact. The controller issues drive commands to the holonomic drive system based on a touch signal received from the touch sensor system.

摘要翻译： 一种移动人机接口机器人，其包括限定垂直中心轴线和向前驱动方向的基座和由基座支撑的整体驱动系统。 驱动系统具有第一，第二和第三从动驱动轮，每个三轴驱动轮围绕垂直中心轴线三边隔开，并具有垂直于垂直中心轴线的径向轴线的驱动方向。 机器人还包括与整体驱动系统通信的控制器，支撑在基座上方的躯干以及与控制器通信的触摸传感器系统。 触摸传感器系统响应人的接触。 控制器基于从触摸传感器系统接收的触摸信号向整体驱动系统发出驱动命令。

公开(公告)号：US08935005B2

公开(公告)日：2015-01-13

申请号：US13032390

申请日：2011-02-22

申请人： Michael Rosenstein ,  Steven V. Shamlian ,  Chikyung Won ,  Michael Halloran ,  Mark Chiappetta ,  Thomas P. Allen

发明人： Michael Rosenstein ,  Steven V. Shamlian ,  Chikyung Won ,  Michael Halloran ,  Mark Chiappetta ,  Thomas P. Allen

IPC分类号： G06F19/00 ,  G05B15/00 ,  G05B19/00 ,  B25J5/00 ,  B25J11/00 ,  G05D1/02

CPC分类号： B25J5/007 ,  B25J11/009 ,  G05D1/0227 ,  G05D1/024 ,  G05D1/0242 ,  G05D1/0246 ,  G05D1/0255 ,  G05D1/027 ,  G05D1/0272 ,  G05D1/0274 ,  G05D2201/0206 ,  Y10S901/01

摘要： A method of operating a mobile robot to traverse a threshold includes detecting a threshold proximate the robot. The robot includes a holonomic drive system having first, second, and third drive elements configured to maneuver the robot omni-directionally. The method further includes moving the first drive element onto the threshold from a first side and moving the second drive element onto the threshold to place both the first and second drive elements on the threshold. The method includes moving the first drive element off a second side of the threshold, opposite to the first side of the threshold, and moving the third drive element onto the threshold, placing both the second and third drive elements on the threshold. The method includes moving both the second and third drive elements off the second side of the threshold.

摘要翻译： 操作移动机器人横穿阈值的方法包括检测机器人附近的阈值。 该机器人包括一个完整的驱动系统，其具有被配置成全方向地操纵机器人的第一，第二和第三驱动元件。 该方法还包括将第一驱动元件从第一侧移动到阈值上并将第二驱动元件移动到阈值上以将第一和第二驱动元件都置于阈值上。 该方法包括将第一驱动元件移离阈值的第二侧，与阈值的第一侧相反，并将第三驱动元件移动到阈值上，将第二和第三驱动元件都置于阈值上。 该方法包括将第二和第三驱动元件移动离开阈值的第二侧。

公开(公告)号：US20120185094A1

公开(公告)日：2012-07-19

申请号：US13032312

申请日：2011-02-22

申请人： Michael Rosenstein ,  Michael Halloran ,  Steven V. Shamlian ,  Chikyung Won ,  Mark Chiappetta

发明人： Michael Rosenstein ,  Michael Halloran ,  Steven V. Shamlian ,  Chikyung Won ,  Mark Chiappetta

IPC分类号： G05B15/00

CPC分类号： G05D1/0246 ,  B25J5/007 ,  B25J9/1694 ,  B25J11/009 ,  B25J13/08 ,  B25J19/023 ,  G02B13/22 ,  G05D1/0227 ,  G05D1/024 ,  G05D1/0242 ,  G05D1/0248 ,  G05D1/0251 ,  G05D1/0255 ,  G05D1/027 ,  G05D1/0272 ,  G05D1/0274 ,  G05D2201/0206 ,  G05D2201/0211 ,  G06K9/00664 ,  G06T7/248 ,  G06T7/521 ,  H04N13/243 ,  H04N13/271 ,  H04N2013/0081 ,  Y10S901/01 ,  Y10S901/09 ,  Y10S901/47

摘要： A mobile robot that includes a drive system, a controller in communication with the drive system, and a volumetric point cloud imaging device supported above the drive system at a height of greater than about one feet above the ground and directed to be capable of obtaining a point cloud from a volume of space that includes a floor plane in a direction of movement of the mobile robot. The controller receives point cloud signals from the imaging device and issues drive commands to the drive system based at least in part on the received point cloud signals.

摘要翻译： 一种移动机器人，其包括驱动系统，与驱动系统通信的控制器，以及支撑在驱动系统上方的体积点云成像装置，其高度大于地面上方约一英尺，并被引导为能够获得 来自包括移动机器人的移动方向上的底板平面的空间体积的点云。 控制器从成像设备接收点云信号，并且至少部分地基于接收到的点云信号向驱动系统发出驱动命令。

公开(公告)号：US09014848B2

公开(公告)日：2015-04-21

申请号：US13032406

申请日：2011-02-22

申请人： Timothy S. Farlow ,  Michael Rosenstein ,  Michael Halloran ,  Chikyung Won ,  Steven V. Shamlian ,  Mark Chiappetta

发明人： Timothy S. Farlow ,  Michael Rosenstein ,  Michael Halloran ,  Chikyung Won ,  Steven V. Shamlian ,  Mark Chiappetta

IPC分类号： G05D1/02 ,  B25J5/00 ,  B25J11/00 ,  G05D1/00 ,  B25J13/00 ,  B25J19/02

CPC分类号： B25J9/1697 ,  B25J5/007 ,  B25J11/009 ,  B25J19/023 ,  G05D1/0011 ,  G05D1/0022 ,  G05D1/0038 ,  G05D1/0227 ,  G05D1/024 ,  G05D1/0242 ,  G05D1/0246 ,  G05D1/0255 ,  G05D1/027 ,  G05D1/0272 ,  G05D1/0274 ,  G05D2201/0206 ,  G05D2201/0211 ,  H04N7/142 ,  H04N7/144 ,  Y10S901/01 ,  Y10S901/47

摘要： A robot system includes a mobile robot having a controller executing a control system for controlling operation of the robot, a cloud computing service in communication with the controller of the robot, and a remote computing device in communication with the cloud computing service. The remote computing device communicates with the robot through the cloud computing service.

摘要翻译： 机器人系统包括具有执行用于控制机器人的操作的控制系统的控制器的移动机器人，与机器人的控制器通信的云计算服务以及与云计算服务通信的远程计算设备。 远程计算设备通过云计算服务与机器人进行通信。

公开(公告)号：US20110288684A1

公开(公告)日：2011-11-24

申请号：US13032406

申请日：2011-02-22

申请人： Tim S. Farlow ,  Michael Rosenstein ,  Michael Halloran ,  Chikyung Won ,  Steven V. Shamlian ,  Mark Chiappetta

发明人： Tim S. Farlow ,  Michael Rosenstein ,  Michael Halloran ,  Chikyung Won ,  Steven V. Shamlian ,  Mark Chiappetta

IPC分类号： B25J13/08

CPC分类号： B25J9/1697 ,  B25J5/007 ,  B25J11/009 ,  B25J19/023 ,  G05D1/0011 ,  G05D1/0022 ,  G05D1/0038 ,  G05D1/0227 ,  G05D1/024 ,  G05D1/0242 ,  G05D1/0246 ,  G05D1/0255 ,  G05D1/027 ,  G05D1/0272 ,  G05D1/0274 ,  G05D2201/0206 ,  G05D2201/0211 ,  H04N7/142 ,  H04N7/144 ,  Y10S901/01 ,  Y10S901/47

摘要： A robot system includes a mobile robot having a controller executing a control system for controlling operation of the robot, a cloud computing service in communication with the controller of the robot, and a remote computing device in communication with the cloud computing service. The remote computing device communicates with the robot through the cloud computing service.

摘要翻译： 机器人系统包括具有执行用于控制机器人的操作的控制系统的控制器的移动机器人，与机器人的控制器通信的云计算服务以及与云计算服务通信的远程计算设备。 远程计算设备通过云计算服务与机器人进行通信。

公开(公告)号：US20070062452A1

公开(公告)日：2007-03-22

申请号：US11602134

申请日：2006-11-20

申请人： Ian Pancham ,  Michael Rosenstein ,  Leif DeLaurentis ,  Allen Lau ,  Praburam Gopalraja ,  James Gogh

发明人： Ian Pancham ,  Michael Rosenstein ,  Leif DeLaurentis ,  Allen Lau ,  Praburam Gopalraja ,  James Gogh

IPC分类号： C23C16/00

CPC分类号： H01J37/321 ,  H01J37/32495 ,  H01J37/3408

摘要： A coil has an integral fastener portion to facilitate fastening the coil to a shield wall to reduce generation of particulates.

摘要翻译： 线圈具有一体的紧固件部分，以便于将线圈紧固到屏蔽壁以减少微粒的产生。

公开(公告)号：US07097744B2

公开(公告)日：2006-08-29

申请号：US10460865

申请日：2003-06-12

申请人： Alan Barry Liu ,  Marc O. Schweitzer ,  James Stephen Van Gogh ,  Michael Rosenstein ,  Jennifer L. Watia ,  Xinyu Zhang ,  Yoichiro Tanaka ,  John C. Forster ,  Anthony Chen

发明人： Alan Barry Liu ,  Marc O. Schweitzer ,  James Stephen Van Gogh ,  Michael Rosenstein ,  Jennifer L. Watia ,  Xinyu Zhang ,  Yoichiro Tanaka ,  John C. Forster ,  Anthony Chen

IPC分类号： C23C14/35

CPC分类号： H01J37/3441 ,  H01J37/34

摘要： In one embodiment, a target alignment surface disposed on a target support mechanically engages a darkspace shield alignment surface disposed on a darkspace shield as the target is lodged into a chamber body. The respective alignment surfaces are shaped and positioned so that the darkspace shield is physically moved to a desired aligned position as the alignment surfaces engage each other. In this manner a darkspace shield may be directly aligned to a target within a semiconductor fabrication chamber to provide a suitable darkspace gap between the target and the darkspace shield.

摘要翻译： 在一个实施例中，设置在目标支架上的目标对准表面机械地接合设置在黑暗空间屏蔽上的暗空屏蔽对准表面，因为目标被放置在腔体中。 相应的对准表面被成形和定位成使得当对准表面彼此接合时，暗区屏蔽件物理地移动到期望的对准位置。 以这种方式，暗区屏蔽可以直接对齐到半导体制造室内的靶，以在靶和暗空间屏蔽之间提供合适的暗空隙。

公开(公告)号：US06660134B1

公开(公告)日：2003-12-09

申请号：US09113577

申请日：1998-07-10

申请人： Praburam Gopalraja ,  Zheng Xu ,  Michael Rosenstein ,  John C. Forster

发明人： Praburam Gopalraja ,  Zheng Xu ,  Michael Rosenstein ,  John C. Forster

IPC分类号： C23C1400

CPC分类号： H01J37/321

摘要： A coil for inductively coupling RF energy to a plasma in a substrate processing chamber has adjacent spaced and circumferentially overlapping RF feedthroughs adjacent to overlapping ends to improve uniformity of processing of the substrate.

摘要翻译： 用于将RF能量感应耦合到衬底处理室中的等离子体的线圈具有与重叠端相邻的相邻间隔开的和周向重叠的RF馈通，以提高衬底的处理的均匀性。