公开(公告)号：US5719003A

公开(公告)日：1998-02-17

申请号：US534565

申请日：1995-09-27

申请人： Roger F. Sinta ,  Daniel Y. Pai ,  Timothy G. Adams

发明人： Roger F. Sinta ,  Daniel Y. Pai ,  Timothy G. Adams

IPC分类号： G03F7/004 ,  C09D7/12 ,  G03F7/022 ,  G03F7/033 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027 ,  H05K3/06 ,  G03F7/023 ,  G03F7/38

CPC分类号： G03F7/022

摘要： A photoresist composition comprising an alkali soluble resin and an ortho-naphthoquinone diazide sulfonic acid ester of a polyhydroxy alcohol. The photoresist is characterized by having at least a portion of its free hydroxyl groups on the photoactive compound blocked with an acid labile blocking group that generates a hydroxide upon cleavage.

摘要翻译： 一种光致抗蚀剂组合物，其包含多羟基醇的碱溶性树脂和邻萘醌二叠氮磺酸酯。 光致抗蚀剂的特征在于在光活性化合物上具有至少一部分游离羟基被酸不稳定的封闭基团封端，在裂解时产生氢氧化物。

公开(公告)号：US07147983B1

公开(公告)日：2006-12-12

申请号：US08726613

申请日：1996-10-07

申请人： James Michael Mori ,  James W. Thackeray ,  Roger F. Sinta ,  Rosemary Bell ,  Robin L. Miller-Fahey ,  Timothy G. Adams ,  Thomas M. Zydowsky ,  Edward K. Pavelchek ,  Manuel doCanto

发明人： James Michael Mori ,  James W. Thackeray ,  Roger F. Sinta ,  Rosemary Bell ,  Robin L. Miller-Fahey ,  Timothy G. Adams ,  Thomas M. Zydowsky ,  Edward K. Pavelchek ,  Manuel doCanto

IPC分类号： G03F7/04

CPC分类号： G03F7/091 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/039 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/111 ,  Y10S430/127

摘要： The present invention provides new photoresist compositions that comprise a resin binder, a photoactive component, particularly an acid generator, and a dye material that contains one or more chromophores that can reduce undesired reflections of exposure radiation. Preferred dye compounds are polymeric materials that include one or more chromophores such as anthracene and other polycyclic moieties that effectively absorb deep UV exposure radiation.

公开(公告)号：US20090220888A1

公开(公告)日：2009-09-03

申请号：US12316578

申请日：2008-12-12

申请人： James Michael Mori ,  James W. Thackeray ,  Roger F. Sinta ,  Rosemary Bell ,  Robin L. Miller-Fahey ,  Timothy G. Adams ,  Thomas M. Zydowsky ,  Edward K. Pavelchek ,  Manual doCanto

发明人： James Michael Mori ,  James W. Thackeray ,  Roger F. Sinta ,  Rosemary Bell ,  Robin L. Miller-Fahey ,  Timothy G. Adams ,  Thomas M. Zydowsky ,  Edward K. Pavelchek ,  Manual doCanto

IPC分类号： G03F7/004

CPC分类号： G03F7/091 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/039 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/111 ,  Y10S430/127

摘要： The present invention provides new photoresist compositions that comprise a resin binder, a photoactive component, particularly an acid generator, and a dye material that contains one or more chromophores that can reduce undesired reflections of exposure radiation. Preferred dye compounds are polymeric materials that include one or more chromophores such as anthracene and other polycyclic moieties that effectively absorb deep UV exposure radiation.

公开(公告)号：US06033830A

公开(公告)日：2000-03-07

申请号：US966006

申请日：1997-11-07

申请人： Roger F. Sinta ,  Timothy G. Adams ,  James Michael Mori

发明人： Roger F. Sinta ,  Timothy G. Adams ,  James Michael Mori

IPC分类号： G03F7/11 ,  C09D5/00 ,  C09D7/12 ,  C09D133/14 ,  C09D201/02 ,  G02B1/11 ,  G03F7/09 ,  H01L21/027 ,  G03F7/38

CPC分类号： G03F7/091

摘要： The invention provides new light absorbing crosslinking compositions suitable for use as an antireflective composition (ARC), particularly for deep UV applications. The ARCs of the invention in general comprise a crosslinker and novel ARC resin binders that effectively absorb reflected deep UV exposure radiation.

摘要翻译： 本发明提供适合用作抗反射组合物（ARC）的新的光吸收交联组合物，特别是用于深UV应用。 本发明的ARC通常包含有效吸收反射的深紫外线照射辐射的交联剂和新型ARC树脂粘合剂。

公开(公告)号：US5641604A

公开(公告)日：1997-06-24

申请号：US583223

申请日：1996-01-04

申请人： Roger F. Sinta ,  Daniel Y. Pai ,  Timothy G. Adams

发明人： Roger F. Sinta ,  Daniel Y. Pai ,  Timothy G. Adams

IPC分类号： G03F7/004 ,  C09D7/12 ,  G03F7/022 ,  G03F7/033 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027 ,  H05K3/06 ,  G03F7/023

CPC分类号： G03F7/022

摘要： A photoresist composition comprising an alkali soluble resin and an ortho-naphthoquinone diazide sulfonic acid ester of a polyhydroxy alcohol. The photoresist is characterized by having at least a portion of its free hydroxyl groups on the photoactive compound blocked with an acid labile blocking group that generates a hydroxide upon cleavage.

摘要翻译： 一种光致抗蚀剂组合物，其包含多羟基醇的碱溶性树脂和邻 - 萘醌二叠氮磺酸酯。 光致抗蚀剂的特征在于在光活性化合物上具有至少一部分游离羟基被酸不稳定的封闭基团封端，在裂解时产生氢氧化物。

公开(公告)号：US4857227A

公开(公告)日：1989-08-15

申请号：US69172

申请日：1987-07-02

申请人： Timothy G. Adams ,  Roger F. Sinta

发明人： Timothy G. Adams ,  Roger F. Sinta

IPC分类号： C09K19/20

CPC分类号： C09K19/2021

摘要： Mixtures of liquid crystal compounds from among different classes of liquid crystal ester compounds are disclosed. The mixtures exhibit freezing points substantially lower than the freezing point of either ester compound alone, so as to provide a substantially improved (widened) smectic C mesomorphic temperature range and protection against freezing or crystallization of liquid crystal material over a range of temperatures at which an electrooptic display device would typically be operated.

摘要翻译： 公开了来自不同种类的液晶酯化合物的液晶化合物的混合物。 混合物显示出比单独的酯化合物的凝固点低的凝固点，从而提供基本上改进的（加宽的）近晶C介晶温度范围，并且防止液晶材料在温度范围内的冷冻或结晶， 电光显示装置通常将被操作。

公开(公告)号：US07632630B2

公开(公告)日：2009-12-15

申请号：US11418520

申请日：2006-05-03

申请人： James Michael Mori ,  James W. Thackeray ,  Roger F. Sinta ,  Rosemary Bell ,  Robin L. Miller-Fahey ,  Timothy G. Adams ,  Thomas M. Zydowsky ,  Edward K. Pavelchek ,  Manual doCanto

发明人： James Michael Mori ,  James W. Thackeray ,  Roger F. Sinta ,  Rosemary Bell ,  Robin L. Miller-Fahey ,  Timothy G. Adams ,  Thomas M. Zydowsky ,  Edward K. Pavelchek ,  Manual doCanto

IPC分类号： G03F7/30 ,  G03F7/004

CPC分类号： G03F7/091 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/039 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/111 ,  Y10S430/127

摘要： The present invention provides new photoresist compositions that comprise a resin binder, a photoactive component, particularly an acid generator, and a dye material that contains one or more chromophores that can reduce undesired reflections of exposure radiation. Preferred dye compounds are polymeric materials that include one or more chromophores such as anthracene and other polycyclic moieties that effectively absorb deep UV exposure radiation.

摘要翻译： 本发明提供了新的光致抗蚀剂组合物，其包含树脂粘合剂，光活性组分，特别是酸发生剂，以及含有一种或多种可以减少曝光辐射的不希望的反射的发色团的染料。 优选的染料化合物是包括一种或多种发色团，例如蒽和其它有效吸收深紫外线照射辐射的多环部分的聚合材料。

公开(公告)号：US06602652B2

公开(公告)日：2003-08-05

申请号：US10126636

申请日：2002-04-20

申请人： Timothy G. Adams ,  Edward K. Pavelchek ,  Roger F. Sinta ,  Manuel DoCanto ,  Robert F. Blacksmith ,  Peter Trefonas, III

发明人： Timothy G. Adams ,  Edward K. Pavelchek ,  Roger F. Sinta ,  Manuel DoCanto ,  Robert F. Blacksmith ,  Peter Trefonas, III

IPC分类号： G03C500

CPC分类号： G03F7/091

摘要： The invention provides new light absorbing crosslinking compositions suitable for use as an antireflective composition (ARC), particularly suitable for short wavelength imaging applications such as 193 nm. The ARCs of the invention are preferably used with an overcoated resist layer (i.e. bottom layer ARCs) and in general comprise novel ARC resin binders that can effectively absorb reflected sub-200 nm exposure radiation.

摘要翻译： 本发明提供了适合用作抗反射组合物（ARC）的新的光吸收交联组合物，特别适合于短波长成像应用例如193nm。 本发明的ARCs优选与外涂抗蚀剂层（即底层ARC）一起使用，并且通常包含可有效吸收反射的亚-200nm曝光辐射的新型ARC树脂粘合剂。

公开(公告)号：US06410209B1

公开(公告)日：2002-06-25

申请号：US09153575

申请日：1998-09-15

申请人： Timothy G. Adams ,  Edward K. Pavelchek ,  Roger F. Sinta ,  Manuel DoCanto ,  Robert F. Blacksmith ,  Peter Trefonas, III

发明人： Timothy G. Adams ,  Edward K. Pavelchek ,  Roger F. Sinta ,  Manuel DoCanto ,  Robert F. Blacksmith ,  Peter Trefonas, III

IPC分类号： G03C500

CPC分类号： G03F7/091

摘要： The invention provides new light absorbing crosslinking compositions suitable for use as an antireflective composition (ARC), particularly suitable for short wavelength imaging applications such as 193 nm. The ARCs of the invention are preferably used with an overcoated resist layer (i.e. bottom layer ARCs) and in general comprise novel ARC resin binders that can effectively absorb reflected sub-200 nm exposure radiation.

摘要翻译： 本发明提供了适合用作抗反射组合物（ARC）的新的光吸收交联组合物，特别适合于短波长成像应用例如193nm。 本发明的ARCs优选与外涂抗蚀剂层（即底层ARC）一起使用，并且通常包含可有效吸收反射的亚-200nm曝光辐射的新型ARC树脂粘合剂。

公开(公告)号：US5886102A

公开(公告)日：1999-03-23

申请号：US665019

申请日：1996-06-11

申请人： Roger F. Sinta ,  Timothy G. Adams ,  James Michael Mori

发明人： Roger F. Sinta ,  Timothy G. Adams ,  James Michael Mori

IPC分类号： G03F7/11 ,  C09D5/00 ,  C09D7/12 ,  C09D133/14 ,  C09D201/02 ,  G02B1/11 ,  G03F7/09 ,  H01L21/027 ,  C08L33/04 ,  C08L33/08 ,  C08L33/10

CPC分类号： G03F7/091

摘要： The invention provides new light absorbing crosslinking compositions suitable for use as an antireflective composition (ARC), particularly for deep UV applications. The ARCs of the invention in general comprise a crosslinker and novel ARC resin binders that effectively absorb reflected deep UV exposure radiation.