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    OPTICAL ELEMENT UNIT FOR EXPOSURE PROCESSES
    3.
    发明申请
    OPTICAL ELEMENT UNIT FOR EXPOSURE PROCESSES 有权
    光学元件曝光过程

    公开(公告)号：US20080225247A1

    公开(公告)日：2008-09-18

    申请号：US12046186

    申请日：2008-03-11

    申请人： Tilman Schwertner ,  Ulrich Bingel ,  Guido Limbach ,  Julian Kaller ,  Hans-Juergen Scherle ,  Jens Kugler ,  Dirk Schaffer ,  Bernhard Gellrich

    发明人： Tilman Schwertner ,  Ulrich Bingel ,  Guido Limbach ,  Julian Kaller ,  Hans-Juergen Scherle ,  Jens Kugler ,  Dirk Schaffer ,  Bernhard Gellrich

    IPC分类号： G03B27/54 ,  G03B27/52 ,  G02B23/16

    CPC分类号： G03F7/7015 ,  G02B27/0006 ,  G03F7/70808 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70883 ,  G03F7/70908 ,  G03F7/70916 ,  G03F7/70933 ,  Y10T29/49

    摘要： An optical element unit including a first optical element module and a sealing arrangement is disclosed. The first optical element module occupies a first module space and includes a first module component of a first component type and an associated second module component of a second component type. The first component type is optical elements and the second component type being different from the first component type. The sealing arrangement separates the first module space into a first space and a second space and substantially prevents, at least in a first direction, the intrusion of substances from one of the first space and the second space into the other one of the first space and the second space. The first module component at least partially contacts the first space and, at least in its area optically used, not contacting the second space. The second module component at least partially contacts the second space.

    摘要翻译： 公开了一种包括第一光学元件模块和密封装置的光学元件单元。 第一光学元件模块占据第一模块空间并且包括第一组件类型的第一模块组件和第二组件类型的相关联的第二模块组件。 第一部件类型是光学元件，第二部件类型与第一部件类型不同。 密封装置将第一模块空间分隔成第一空间和第二空间，并至少在第一方向上基本上防止物质从第一空间和第二空间中的一个进入第一空间和 第二个空间。 第一模块部件至少部分地接触第一空间，并且至少在其光学使用的区域中不接触第二空间。 第二模块组件至少部分地接触第二空间。

    Optical element unit for exposure processes having sealing element
    4.
    发明授权
    Optical element unit for exposure processes having sealing element 有权
    用于具有密封元件的曝光工艺的光学元件单元

    公开(公告)号：US09046795B2

    公开(公告)日：2015-06-02

    申请号：US12046186

    申请日：2008-03-11

    申请人： Tilman Schwertner ,  Ulrich Bingel ,  Guido Limbach ,  Julian Kaller ,  Hans-Juergen Scherle ,  Jens Kugler ,  Dirk Schaffer ,  Bernhard Gellrich

    发明人： Tilman Schwertner ,  Ulrich Bingel ,  Guido Limbach ,  Julian Kaller ,  Hans-Juergen Scherle ,  Jens Kugler ,  Dirk Schaffer ,  Bernhard Gellrich

    IPC分类号： G03F7/20

    CPC分类号： G03F7/7015 ,  G02B27/0006 ,  G03F7/70808 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70883 ,  G03F7/70908 ,  G03F7/70916 ,  G03F7/70933 ,  Y10T29/49

    摘要： An optical element unit includes a first optical element module and a sealing arrangement. The first optical element module occupies a first module space and includes a first module component of a first component type and an associated second module component of a second component type. The first component type is optical elements and the second component type being different from the first component type. The sealing arrangement separates the first module space into a first space and a second space and substantially pre-vents, at least in a first direction, the intrusion of substances from one of the first space and the second space into the other one of the first space and the second space. The first module component at least partially contacts the first space and, at least in its area optically used, not contacting the second space. The second module component at least partially contacts the second space.

    摘要翻译： 光学元件单元包括第一光学元件模块和密封装置。 第一光学元件模块占据第一模块空间并且包括第一组件类型的第一模块组件和第二组件类型的相关联的第二模块组件。 第一部件类型是光学元件，第二部件类型与第一部件类型不同。 密封装置将第一模块空间分隔成第一空间和第二空间，并且至少在第一方向上基本上预先将物质从第一空间和第二空间中的一个进入另一个第一空间 空间和第二空间。 第一模块部件至少部分地接触第一空间，并且至少在其光学使用的区域中不接触第二空间。 第二模块组件至少部分地接触第二空间。

    PROJECTION OBJECTIVE FOR MICROLITHOGRAPHY
    6.
    发明申请
    PROJECTION OBJECTIVE FOR MICROLITHOGRAPHY 有权
    投影目标的微观算法

    公开(公告)号：US20100201964A1

    公开(公告)日：2010-08-12

    申请号：US12724496

    申请日：2010-03-16

    申请人： Jens Kugler ,  Tilman Schwertner

    发明人： Jens Kugler ,  Tilman Schwertner

    IPC分类号： G03B27/54 ,  G02B7/02

    CPC分类号： G03F7/70825 ,  G02B7/023 ,  G02B7/1822 ,  G03F7/70816

    摘要： An optical system includes an optical element having adjusting elements. The optical element is connected to a rotatable carrying ring via at least one connecting member arranged on the carrying ring directly or via one or a plurality of intermediate elements to the optical element. The rotatable carrying ring is borne in a manner freely rotatable about an axis relative to a fixed outer mount or the optical element via a rotating device. The outer mount, the rotatable carrying ring and the connecting members are constructed as rotatable kinematics in the form of parallel kinematics.

    摘要翻译： 光学系统包括具有调节元件的光学元件。 光学元件通过直接或经由一个或多个中间元件布置在承载环上的至少一个连接构件连接到可转动的承载环到光学元件。 可旋转承载环以相对于固定的外部安装件或光学元件经由旋转装置绕轴线自由旋转的方式承载。 外部安装件，可旋转承载环和连接构件被构造为平行运动学形式的可旋转运动学。

    Projection objective for microlithography
    7.
    发明授权
    Projection objective for microlithography 有权
    微光刻的投影目标

    公开(公告)号：US08553202B2

    公开(公告)日：2013-10-08

    申请号：US12724496

    申请日：2010-03-16

    申请人： Jens Kugler ,  Tilman Schwertner

    发明人： Jens Kugler ,  Tilman Schwertner

    IPC分类号： G03B27/54 ,  G03B27/42

    CPC分类号： G03F7/70825 ,  G02B7/023 ,  G02B7/1822 ,  G03F7/70816

    摘要： An optical system includes an optical element having adjusting elements. The optical element is connected to a rotatable carrying ring via at least one connecting member arranged on the carrying ring directly or via one or a plurality of intermediate elements to the optical element. The rotatable carrying ring is borne in a manner freely rotatable about an axis relative to a fixed outer mount or the optical element via a rotating device. The outer mount, the rotatable carrying ring and the connecting members are constructed as rotatable kinematics in the form of parallel kinematics.

    摘要翻译： 光学系统包括具有调节元件的光学元件。 光学元件通过直接或经由一个或多个中间元件布置在承载环上的至少一个连接构件连接到可转动的承载环到光学元件。 可旋转承载环以相对于固定的外部安装件或光学元件经由旋转装置绕轴线自由旋转的方式承载。 外部安装件，可旋转承载环和连接构件被构造为平行运动学形式的可旋转运动学。

    Holding device for optical element
    9.
    发明授权
    Holding device for optical element 有权
    光学元件保持装置

    公开(公告)号：US07869147B2

    公开(公告)日：2011-01-11

    申请号：US11784511

    申请日：2007-04-06

    申请人： Tilman Schwertner ,  Stefan Hembacher

    发明人： Tilman Schwertner ,  Stefan Hembacher

    IPC分类号： G02B7/02

    CPC分类号： G02B27/0006 ,  G02B7/028 ,  G02B21/33 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70825

    摘要： A device or the operation of a device for the holding, especially sealing support of an optical element, especially an optical lens with at least one holding element for mounting the optical element and preferably at least one sealing element for sealing contact at at least a part of the optical element and/or the holding element, wherein the sealing element or at least a part thereof is displaceable between a first position, in which the sealing element rests against the optical element and a second position, in which the sealing element is spaced apart from the optical element, or wherein the sealing element is switchable such that it rests against the optical element under different contact pressure or adjustable contact force. The holding element can either take on the holding function alone and independently of the sealing element or work together with the sealing element in this regard. The sealing element can also be provided separately and independently of the holding element, such that the holding element is optimizable to the holding function. Especially, the present invention concerns an immersion objective for microlithography in which at least one actuatable sealing element is provided.

    摘要翻译： 尤其是具有用于安装光学元件的至少一个保持元件的光学元件的光学元件的保持，特别是密封支撑的装置或操作装置，并且优选地至少一个用于在至少一部分处密封接触的密封元件 其中所述密封元件或其至少一部分可在第一位置和第二位置之间移动，所述第一位置在所述第一位置和所述第二位置之间移动，所述密封元件和/ 除了光学元件之外，或者其中密封元件是可切换的，使得其在不同的接触压力或可调接触力下靠在光学元件上。 在这方面，保持元件可以独立地承担保持功能，独立于密封元件或与密封元件一起工作。 密封元件也可以分开设置并且独立于保持元件，使得保持元件可以优化到保持功能。 特别地，本发明涉及一种用于微光刻的浸没物镜，其中提供至少一个致动密封元件。

    Holding device for optical element
    10.
    发明申请
    Holding device for optical element 有权
    光学元件保持装置

    公开(公告)号：US20070285645A1

    公开(公告)日：2007-12-13

    申请号：US11784511

    申请日：2007-04-06

    申请人： Tilman Schwertner ,  Stefan Hembacher

    发明人： Tilman Schwertner ,  Stefan Hembacher

    IPC分类号： G03B27/54 ,  G02B7/02 ,  G02B7/182

    CPC分类号： G02B27/0006 ,  G02B7/028 ,  G02B21/33 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70825

    摘要： A device or the operation of a device for the holding, especially sealing support of an optical element, especially an optical lens with at least one holding element for mounting the optical element and preferably at least one sealing element for sealing contact at at least a part of the optical element and/or the holding element, wherein the sealing element or at least a part thereof is displaceable between a first position, in which the sealing element rests against the optical element and a second position, in which the sealing element is spaced apart from the optical element, or wherein the sealing element is switchable such that it rests against the optical element under different contact pressure or adjustable contact force. The holding element can either take on the holding function alone and independently of the sealing element or work together with the sealing element in this regard. The sealing element can also be provided separately and independently of the holding element, such that the holding element is optimizable to the holding function. Especially, the present invention concerns an immersion objective for microlithography in which at least one actuatable sealing element is provided.

    摘要翻译： 尤其是具有用于安装光学元件的至少一个保持元件的光学元件的光学元件的保持，特别是密封支撑的装置或操作装置，并且优选地至少一个用于在至少一部分处密封接触的密封元件 其中所述密封元件或其至少一部分可在第一位置和第二位置之间移动，所述第一位置在所述第一位置和所述第二位置之间移动，所述密封元件和/ 除了光学元件之外，或者其中密封元件是可切换的，使得其在不同的接触压力或可调接触力下靠在光学元件上。 在这方面，保持元件可以独立地承担保持功能，独立于密封元件或与密封元件一起工作。 密封元件也可以分开设置并且独立于保持元件，使得保持元件可以优化到保持功能。 特别地，本发明涉及一种用于微光刻的浸没物镜，其中提供至少一个致动密封元件。