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    Self-test for yaw rate sensors
    1.
    发明授权
    Self-test for yaw rate sensors 有权
    偏航率传感器自检

    公开(公告)号：US08910518B2

    公开(公告)日：2014-12-16

    申请号：US13266408

    申请日：2010-04-06

    申请人： Wolfram Bauer ,  Johannes Classen ,  Rainer Willig ,  Matthias Meier ,  Burkhard Kuhlmann ,  Mathias Reimann ,  Ermin Esch ,  Hans-Dieter Schwarz ,  Michael Veith ,  Christoph Lang ,  Udo-Martin Gomez

    发明人： Wolfram Bauer ,  Johannes Classen ,  Rainer Willig ,  Matthias Meier ,  Burkhard Kuhlmann ,  Mathias Reimann ,  Ermin Esch ,  Hans-Dieter Schwarz ,  Michael Veith ,  Christoph Lang ,  Udo-Martin Gomez

    IPC分类号： G01C19/00 ,  G01C19/5726

    CPC分类号： G01C25/00 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5726

    摘要： A yaw rate sensor (10) includes a movable mass structure (12) and a drive component (13) which is suitable for setting the movable mass structure (12) in motion (14), and an analysis component (15) which is suitable for detecting a response (40) of the movable mass structure (12) to a yaw rate (Ω). A method for functional testing of a yaw rate sensor (10) includes the following steps: driving a movable mass structure (12), feeding a test signal (42) into a quadrature control loop (44) at a feed point (48) of the quadrature control loop (44), feeding back a deflection (40) of the movable mass structure (12), detecting a measure of the feedback of the movable mass structure (12), and reading out the response signal (47) from the quadrature control loop (44). In the yaw rate sensor (10) and also in the method, the readout of the response signal (47) in relation to a processing direction (45) of the test signal (42) is provided between a feed point (48) for a test signal (42) and an actuator (38) for feeding back a deflection (40) of the movable mass structure (12).

    摘要翻译： 横摆率传感器（10）包括可移动质量结构（12）和适于设置可移动质量结构（12）运动（14）的驱动部件（13），以及适合的分析部件（15） 用于将所述可移动质量结构（12）的响应（40）检测到偏航率（＆lt; OHgr）。 一种用于横摆角速度传感器（10）的功能测试的方法包括以下步骤：驱动可移动质量结构（12），将测试信号（42）馈送到正交控制回路（44） 正交控制回路（44），反馈可移动质量结构（12）的偏转（40），检测可移动质量结构（12）的反馈的测量值，并从 正交控制回路（44）。 在偏航率传感器（10）中，并且在该方法中，响应信号（47）相对于测试信号（42）的处理方向（45）的读出被提供在用于 测试信号（42）和用于反馈可移动质量结构（12）的偏转（40）的致动器（38）。

    SELF-TEST FOR YAW RATE SENSORS
    2.
    发明申请
    SELF-TEST FOR YAW RATE SENSORS 有权
    自动检测传感器

    公开(公告)号：US20120186345A1

    公开(公告)日：2012-07-26

    申请号：US13266408

    申请日：2010-04-06

    申请人： Wolfram Bauer ,  Johannes Classen ,  Rainer Willig ,  Matthias Meier ,  Burkhard Kuhlmann ,  Matthias Mathias Reimann ,  Ermin Esch ,  Hans-Dieter Schwarz ,  Michael Veith ,  Christoph Lang ,  Udo-Martin Gomez

    发明人： Wolfram Bauer ,  Johannes Classen ,  Rainer Willig ,  Matthias Meier ,  Burkhard Kuhlmann ,  Matthias Mathias Reimann ,  Ermin Esch ,  Hans-Dieter Schwarz ,  Michael Veith ,  Christoph Lang ,  Udo-Martin Gomez

    IPC分类号： G01C19/00

    CPC分类号： G01C25/00 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5726

    摘要： A yaw rate sensor (10) includes a movable mass structure (12) and a drive component (13) which is suitable for setting the movable mass structure (12) in motion (14), and an analysis component (15) which is suitable for detecting a response (40) of the movable mass structure (12) to a yaw rate (Ω). A method for functional testing of a yaw rate sensor (10) includes the following steps: driving a movable mass structure (12), feeding a test signal (42) into a quadrature control loop (44) at a feed point (48) of the quadrature control loop (44), feeding back a deflection (40) of the movable mass structure (12), detecting a measure of the feedback of the movable mass structure (12), and reading out the response signal (47) from the quadrature control loop (44). In the yaw rate sensor (10) and also in the method, the readout of the response signal (47) in relation to a processing direction (45) of the test signal (42) is provided between a feed point (48) for a test signal (42) and an actuator (38) for feeding back a deflection (40) of the movable mass structure (12).

    摘要翻译： 横摆率传感器（10）包括可移动质量结构（12）和适于设置可移动质量结构（12）运动（14）的驱动部件（13），以及适合的分析部件（15） 用于将所述可移动质量结构（12）的响应（40）检测到偏航率（＆lt; OHgr）。 一种用于横摆角速度传感器（10）的功能测试的方法包括以下步骤：驱动可移动质量结构（12），将测试信号（42）馈送到正交控制回路（44） 正交控制回路（44），反馈可移动质量结构（12）的偏转（40），检测可移动质量结构（12）的反馈的测量值，并从 正交控制回路（44）。 在偏航率传感器（10）中，并且在该方法中，响应信号（47）相对于测试信号（42）的处理方向（45）的读出被提供在用于 测试信号（42）和用于反馈可移动质量结构（12）的偏转（40）的致动器（38）。

    Rotational rate sensor
    3.
    发明授权
    Rotational rate sensor 有权
    转速传感器

    公开(公告)号：US07313958B2

    公开(公告)日：2008-01-01

    申请号：US10471635

    申请日：2002-09-25

    申请人： Rainer Willig ,  Jochen Franz ,  Burkhard Kuhlmann ,  Joerg Hauer ,  Udo-Martin Gomez ,  Dieter Maurer ,  Christian Doering ,  Wolfram Bauer ,  Udo Bischof ,  Reinhard Neul ,  Johannes Classen ,  Christoph Lang ,  Jens Frey

    发明人： Rainer Willig ,  Jochen Franz ,  Burkhard Kuhlmann ,  Joerg Hauer ,  Udo-Martin Gomez ,  Dieter Maurer ,  Christian Doering ,  Wolfram Bauer ,  Udo Bischof ,  Reinhard Neul ,  Johannes Classen ,  Christoph Lang ,  Jens Frey

    IPC分类号： G01C19/00

    CPC分类号： G01C19/5747

    摘要： A rotational rate sensor having a substrate and a Coriolis element is proposed, the Coriolis element being situated over a surface of a substrate; a driving arrangement being provided, by which the Coriolis element is induced to vibrations parallel to a first axis; a detection arrangement being provided, by which an excursion of the Coriolis elements is detectable on the basis of a Coriolis force in a second axis that is provided to be essentially perpendicular to the first axis; the first and second axis being parallel to the surface of the substrate; sensor elements that are designated to be at least partially movable with respect to the substrate being provided; a force-conveying arrangement being provided; the force-conveying arrangement being provided to convey a static force effect between the substrate and at least one of the sensor elements.

    摘要翻译： 提出了具有基板和科里奥利元件的旋转速率传感器，科里奥利元件位于基板的表面上方; 提供了一种驱动装置，通过该驱动装置将科里奥利元件引入平行于第一轴线的振动; 提供了一种检测装置，通过该检测装置可以基于设置成基本上垂直于第一轴线的第二轴线中的科里奥利力检测科里奥利元件的偏移; 所述第一和第二轴平行于所述基板的表面; 指定为相对于所述基板至少部分移动的传感器元件; 提供力传递装置; 所述力输送装置被提供以在所述基底和所述传感器元件中的至少一个之间传递静态力效应。

    Micromechanical rotation rate sensor having error suppression
    6.
    发明授权
    Micromechanical rotation rate sensor having error suppression 有权
    微机械转速传感器具有误差抑制

    公开(公告)号：US07523663B2

    公开(公告)日：2009-04-28

    申请号：US11317819

    申请日：2005-12-22

    申请人： Rainer Willig ,  Buckhard Kuhlmann ,  Udo-Martin Gomez ,  Wolfram Bauer ,  Johannes Classen ,  Christoph Lang ,  Michael Veith

    发明人： Rainer Willig ,  Buckhard Kuhlmann ,  Udo-Martin Gomez ,  Wolfram Bauer ,  Johannes Classen ,  Christoph Lang ,  Michael Veith

    IPC分类号： G01P15/08

    CPC分类号： G01C19/5755 ,  G01C19/5726

    摘要： A micromechanical rotation rate sensor has a seismic mass and driving devices which cause a driving vibration of the seismic mass in a first direction x. The rotation rate sensor has measuring devices which measure a deflection of the seismic mass in a second direction y, and generate a deflection signal. The deflection includes a measurement deflection caused by a Coriolis force and an interference deflection, the interference deflection being phase-shifted with respect to the measurement deflection by 90°. Compensation devices are provided at the seismic mass to reduce the interference deflection. Regulation devices are provided, to which the deflection signal is supplied as an input variable, which demodulate an interference deflection signal from the deflection signal, and which generate a compensation signal from the interference deflection signal, which is supplied to the compensation devices.

    摘要翻译： 微机械转速传感器具有地震质量和驱动装置，其引起地震块在第一方向x上的驱动振动。 旋转速率传感器具有测量在第二方向y上的地震质量的偏转的测量装置，并产生偏转信号。 偏转包括由科里奥利力和干涉偏转引起的测量偏转，干涉偏转相对于测量偏转相移90°。 在地震质量体上提供补偿装置以减少干涉偏转。 提供了偏转信号作为输入变量提供的调节装置，其解调来自偏转信号的干涉偏转信号，并从干涉偏转信号产生补偿信号，该补偿信号被提供给补偿装置。

    YAW-RATE SENSOR
    7.
    发明申请
    YAW-RATE SENSOR 审中-公开
    YAW-RATE传感器

    公开(公告)号：US20140326070A1

    公开(公告)日：2014-11-06

    申请号：US14334407

    申请日：2014-07-17

    申请人： Reinhard Neul ,  Johannes Classen ,  Torsten Ohms ,  Burkhard Kuhlmann ,  Axel Franke ,  Oliver Kohn ,  Daniel Christoph Meisel ,  Joerg Hauer ,  Udo-Martin Gomez ,  Kersten Kehr

    发明人： Reinhard Neul ,  Johannes Classen ,  Torsten Ohms ,  Burkhard Kuhlmann ,  Axel Franke ,  Oliver Kohn ,  Daniel Christoph Meisel ,  Joerg Hauer ,  Udo-Martin Gomez ,  Kersten Kehr

    IPC分类号： G01P3/44 ,  F16F1/02 ,  G01C19/574

    CPC分类号： G01C19/574 ,  F16F1/025 ,  G01C19/5747 ,  G01P3/44

    摘要： A yaw-rate sensor having a substrate and a plurality of movable substructures that are mounted over a surface of the substrate, the movable substructures being coupled to a shared, in particular, central spring element, means being provided for exciting the movable substructures into a coupled oscillation in a plane that extends parallel to the surface of the substrate, the movable substructures having Coriolis elements, means being provided for detecting deflections of the Coriolis elements induced by a Coriolis force, a first Coriolis element being provided for detecting a yaw rate about a first axis, a second Coriolis element being provided for detecting a yaw rate about a second axis, the second axis being oriented perpendicularly to the first axis.

    摘要翻译： 具有基板和多个可移动子结构的偏转速率传感器，其安装在所述基板的表面上，所述可移动子结构联接到共享的，特别是中心的弹簧元件，所述装置用于将所述可移动子结构激励为 在平行于衬底表面延伸的平面中的耦合振荡，具有科里奥利元件的可移动子结构被提供用于检测由科里奥利力引起的科里奥利元件的偏转，第一科里奥利元件用于检测围绕 第一轴线，第二科里奥利元件被提供用于检测围绕第二轴线的横摆率，所述第二轴线垂直于所述第一轴线定向。

    YAW-RATE SENSOR
    9.
    发明申请
    YAW-RATE SENSOR 有权
    YAW-RATE传感器

    公开(公告)号：US20120060604A1

    公开(公告)日：2012-03-15

    申请号：US12734228

    申请日：2008-10-02

    申请人： Reinhard Neul ,  Johannes Classen ,  Torsten Ohms ,  Burkhard Kuhlmann ,  Axel Franke ,  Oliver Kohn ,  Daniel Christoph Meisel ,  Joerg Hauer ,  Udo-Martin Gomez ,  Kersten Kehr

    发明人： Reinhard Neul ,  Johannes Classen ,  Torsten Ohms ,  Burkhard Kuhlmann ,  Axel Franke ,  Oliver Kohn ,  Daniel Christoph Meisel ,  Joerg Hauer ,  Udo-Martin Gomez ,  Kersten Kehr

    IPC分类号： G01P3/44 ,  F16F3/00

    CPC分类号： G01C19/574 ,  F16F1/025 ,  G01C19/5747 ,  G01P3/44

    摘要： A yaw-rate sensor having a substrate and a plurality of movable substructures that are mounted over a surface of the substrate, the movable substructures being coupled to a shared, in particular, central spring element, means being provided for exciting the movable substructures into a coupled oscillation in a plane that extends parallel to the surface of the substrate, the movable substructures having Coriolis elements, means being provided for detecting deflections of the Coriolis elements induced by a Coriolis force, a first Coriolis element being provided for detecting a yaw rate about a first axis, a second Coriolis element being provided for detecting a yaw rate about a second axis, the second axis being oriented perpendicularly to the first axis.

    摘要翻译： 具有基板和多个可移动子结构的偏转速率传感器，其安装在所述基板的表面上，所述可移动子结构联接到共享的，特别是中心的弹簧元件，所述装置用于将所述可移动子结构激励为 在平行于衬底表面延伸的平面中的耦合振荡，具有科里奥利元件的可移动子结构被提供用于检测由科里奥利力引起的科里奥利元件的偏转，第一科里奥利元件用于检测围绕 第一轴线，第二科里奥利元件被提供用于检测围绕第二轴线的横摆率，所述第二轴线垂直于所述第一轴线定向。

    YAW RATE SENSOR
    10.
    发明申请
    YAW RATE SENSOR 有权
    YAW RATE传感器

    公开(公告)号：US20100000321A1

    公开(公告)日：2010-01-07

    申请号：US12303443

    申请日：2007-06-06

    申请人： Reinhard Neul ,  Johannes Classen ,  Axel Franke ,  Marco Quander ,  Udo-Martin Gomez ,  Kersten Kehr

    发明人： Reinhard Neul ,  Johannes Classen ,  Axel Franke ,  Marco Quander ,  Udo-Martin Gomez ,  Kersten Kehr

    IPC分类号： G01C19/56

    CPC分类号： G01C19/5762 ,  G01C19/5747

    摘要： A yaw rate sensor includes a drive mass element which is situated above a surface of a substrate and is drivable to vibrate by a drive device along a first axis extending along the surface, having a detection mass element, which is deflectable under the influence of a Coriolis force along a second axis perpendicular to the surface, and having a detection device by which the deflection of the detection mass element along the second axis is detectable. Due to the arrangement of the second axis perpendicular to the surface, the yaw rate sensor may be integrated into a chip together with additional yaw rate sensors suitable for detection of rotations about axes of rotation in other directions.

    摘要翻译： 偏航率传感器包括驱动质量元件，该驱动质量元件位于衬底的表面上方并且可被驱动装置驱动，沿着沿表面延伸的第一轴线振动，具有检测质量元件，该检测质量元件可在 科里奥利力沿着垂直于表面的第二轴线，并且具有检测装置，通过该检测装置可以检测检测质量元件沿着第二轴线的偏转。 由于垂直于表面的第二轴的布置，横摆角速度传感器可以与适合于检测围绕其它方向的旋转轴线的旋转的附加横摆速率传感器一体地集成到一个芯片中。