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    Self-test for yaw rate sensors
    1.
    发明授权
    Self-test for yaw rate sensors 有权
    偏航率传感器自检

    公开(公告)号：US08910518B2

    公开(公告)日：2014-12-16

    申请号：US13266408

    申请日：2010-04-06

    申请人： Wolfram Bauer ,  Johannes Classen ,  Rainer Willig ,  Matthias Meier ,  Burkhard Kuhlmann ,  Mathias Reimann ,  Ermin Esch ,  Hans-Dieter Schwarz ,  Michael Veith ,  Christoph Lang ,  Udo-Martin Gomez

    发明人： Wolfram Bauer ,  Johannes Classen ,  Rainer Willig ,  Matthias Meier ,  Burkhard Kuhlmann ,  Mathias Reimann ,  Ermin Esch ,  Hans-Dieter Schwarz ,  Michael Veith ,  Christoph Lang ,  Udo-Martin Gomez

    IPC分类号： G01C19/00 ,  G01C19/5726

    CPC分类号： G01C25/00 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5726

    摘要： A yaw rate sensor (10) includes a movable mass structure (12) and a drive component (13) which is suitable for setting the movable mass structure (12) in motion (14), and an analysis component (15) which is suitable for detecting a response (40) of the movable mass structure (12) to a yaw rate (Ω). A method for functional testing of a yaw rate sensor (10) includes the following steps: driving a movable mass structure (12), feeding a test signal (42) into a quadrature control loop (44) at a feed point (48) of the quadrature control loop (44), feeding back a deflection (40) of the movable mass structure (12), detecting a measure of the feedback of the movable mass structure (12), and reading out the response signal (47) from the quadrature control loop (44). In the yaw rate sensor (10) and also in the method, the readout of the response signal (47) in relation to a processing direction (45) of the test signal (42) is provided between a feed point (48) for a test signal (42) and an actuator (38) for feeding back a deflection (40) of the movable mass structure (12).

    摘要翻译： 横摆率传感器（10）包括可移动质量结构（12）和适于设置可移动质量结构（12）运动（14）的驱动部件（13），以及适合的分析部件（15） 用于将所述可移动质量结构（12）的响应（40）检测到偏航率（＆lt; OHgr）。 一种用于横摆角速度传感器（10）的功能测试的方法包括以下步骤：驱动可移动质量结构（12），将测试信号（42）馈送到正交控制回路（44） 正交控制回路（44），反馈可移动质量结构（12）的偏转（40），检测可移动质量结构（12）的反馈的测量值，并从 正交控制回路（44）。 在偏航率传感器（10）中，并且在该方法中，响应信号（47）相对于测试信号（42）的处理方向（45）的读出被提供在用于 测试信号（42）和用于反馈可移动质量结构（12）的偏转（40）的致动器（38）。

    YAW-RATE SENSOR
    2.
    发明申请
    YAW-RATE SENSOR 审中-公开
    YAW-RATE传感器

    公开(公告)号：US20140326070A1

    公开(公告)日：2014-11-06

    申请号：US14334407

    申请日：2014-07-17

    申请人： Reinhard Neul ,  Johannes Classen ,  Torsten Ohms ,  Burkhard Kuhlmann ,  Axel Franke ,  Oliver Kohn ,  Daniel Christoph Meisel ,  Joerg Hauer ,  Udo-Martin Gomez ,  Kersten Kehr

    发明人： Reinhard Neul ,  Johannes Classen ,  Torsten Ohms ,  Burkhard Kuhlmann ,  Axel Franke ,  Oliver Kohn ,  Daniel Christoph Meisel ,  Joerg Hauer ,  Udo-Martin Gomez ,  Kersten Kehr

    IPC分类号： G01P3/44 ,  F16F1/02 ,  G01C19/574

    CPC分类号： G01C19/574 ,  F16F1/025 ,  G01C19/5747 ,  G01P3/44

    摘要： A yaw-rate sensor having a substrate and a plurality of movable substructures that are mounted over a surface of the substrate, the movable substructures being coupled to a shared, in particular, central spring element, means being provided for exciting the movable substructures into a coupled oscillation in a plane that extends parallel to the surface of the substrate, the movable substructures having Coriolis elements, means being provided for detecting deflections of the Coriolis elements induced by a Coriolis force, a first Coriolis element being provided for detecting a yaw rate about a first axis, a second Coriolis element being provided for detecting a yaw rate about a second axis, the second axis being oriented perpendicularly to the first axis.

    摘要翻译： 具有基板和多个可移动子结构的偏转速率传感器，其安装在所述基板的表面上，所述可移动子结构联接到共享的，特别是中心的弹簧元件，所述装置用于将所述可移动子结构激励为 在平行于衬底表面延伸的平面中的耦合振荡，具有科里奥利元件的可移动子结构被提供用于检测由科里奥利力引起的科里奥利元件的偏转，第一科里奥利元件用于检测围绕 第一轴线，第二科里奥利元件被提供用于检测围绕第二轴线的横摆率，所述第二轴线垂直于所述第一轴线定向。

    SELF-TEST FOR YAW RATE SENSORS
    3.
    发明申请
    SELF-TEST FOR YAW RATE SENSORS 有权
    自动检测传感器

    公开(公告)号：US20120186345A1

    公开(公告)日：2012-07-26

    申请号：US13266408

    申请日：2010-04-06

    申请人： Wolfram Bauer ,  Johannes Classen ,  Rainer Willig ,  Matthias Meier ,  Burkhard Kuhlmann ,  Matthias Mathias Reimann ,  Ermin Esch ,  Hans-Dieter Schwarz ,  Michael Veith ,  Christoph Lang ,  Udo-Martin Gomez

    发明人： Wolfram Bauer ,  Johannes Classen ,  Rainer Willig ,  Matthias Meier ,  Burkhard Kuhlmann ,  Matthias Mathias Reimann ,  Ermin Esch ,  Hans-Dieter Schwarz ,  Michael Veith ,  Christoph Lang ,  Udo-Martin Gomez

    IPC分类号： G01C19/00

    CPC分类号： G01C25/00 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5726

    摘要： A yaw rate sensor (10) includes a movable mass structure (12) and a drive component (13) which is suitable for setting the movable mass structure (12) in motion (14), and an analysis component (15) which is suitable for detecting a response (40) of the movable mass structure (12) to a yaw rate (Ω). A method for functional testing of a yaw rate sensor (10) includes the following steps: driving a movable mass structure (12), feeding a test signal (42) into a quadrature control loop (44) at a feed point (48) of the quadrature control loop (44), feeding back a deflection (40) of the movable mass structure (12), detecting a measure of the feedback of the movable mass structure (12), and reading out the response signal (47) from the quadrature control loop (44). In the yaw rate sensor (10) and also in the method, the readout of the response signal (47) in relation to a processing direction (45) of the test signal (42) is provided between a feed point (48) for a test signal (42) and an actuator (38) for feeding back a deflection (40) of the movable mass structure (12).

    摘要翻译： 横摆率传感器（10）包括可移动质量结构（12）和适于设置可移动质量结构（12）运动（14）的驱动部件（13），以及适合的分析部件（15） 用于将所述可移动质量结构（12）的响应（40）检测到偏航率（＆lt; OHgr）。 一种用于横摆角速度传感器（10）的功能测试的方法包括以下步骤：驱动可移动质量结构（12），将测试信号（42）馈送到正交控制回路（44） 正交控制回路（44），反馈可移动质量结构（12）的偏转（40），检测可移动质量结构（12）的反馈的测量值，并从 正交控制回路（44）。 在偏航率传感器（10）中，并且在该方法中，响应信号（47）相对于测试信号（42）的处理方向（45）的读出被提供在用于 测试信号（42）和用于反馈可移动质量结构（12）的偏转（40）的致动器（38）。

    Rotational rate sensor
    4.
    发明授权
    Rotational rate sensor 有权
    转速传感器

    公开(公告)号：US07313958B2

    公开(公告)日：2008-01-01

    申请号：US10471635

    申请日：2002-09-25

    申请人： Rainer Willig ,  Jochen Franz ,  Burkhard Kuhlmann ,  Joerg Hauer ,  Udo-Martin Gomez ,  Dieter Maurer ,  Christian Doering ,  Wolfram Bauer ,  Udo Bischof ,  Reinhard Neul ,  Johannes Classen ,  Christoph Lang ,  Jens Frey

    发明人： Rainer Willig ,  Jochen Franz ,  Burkhard Kuhlmann ,  Joerg Hauer ,  Udo-Martin Gomez ,  Dieter Maurer ,  Christian Doering ,  Wolfram Bauer ,  Udo Bischof ,  Reinhard Neul ,  Johannes Classen ,  Christoph Lang ,  Jens Frey

    IPC分类号： G01C19/00

    CPC分类号： G01C19/5747

    摘要： A rotational rate sensor having a substrate and a Coriolis element is proposed, the Coriolis element being situated over a surface of a substrate; a driving arrangement being provided, by which the Coriolis element is induced to vibrations parallel to a first axis; a detection arrangement being provided, by which an excursion of the Coriolis elements is detectable on the basis of a Coriolis force in a second axis that is provided to be essentially perpendicular to the first axis; the first and second axis being parallel to the surface of the substrate; sensor elements that are designated to be at least partially movable with respect to the substrate being provided; a force-conveying arrangement being provided; the force-conveying arrangement being provided to convey a static force effect between the substrate and at least one of the sensor elements.

    摘要翻译： 提出了具有基板和科里奥利元件的旋转速率传感器，科里奥利元件位于基板的表面上方; 提供了一种驱动装置，通过该驱动装置将科里奥利元件引入平行于第一轴线的振动; 提供了一种检测装置，通过该检测装置可以基于设置成基本上垂直于第一轴线的第二轴线中的科里奥利力检测科里奥利元件的偏移; 所述第一和第二轴平行于所述基板的表面; 指定为相对于所述基板至少部分移动的传感器元件; 提供力传递装置; 所述力输送装置被提供以在所述基底和所述传感器元件中的至少一个之间传递静态力效应。

    METHOD FOR CONTROLLING A DEVICE AND A DEVICE FOR CONTROLLING THE DEVICE
    8.
    发明申请
    METHOD FOR CONTROLLING A DEVICE AND A DEVICE FOR CONTROLLING THE DEVICE 有权
    用于控制设备的方法和用于控制设备的设备

    公开(公告)号：US20100225500A1

    公开(公告)日：2010-09-09

    申请号：US12611662

    申请日：2009-11-03

    申请人： Markus ULM ,  Mathias Reimann ,  Harald Emmerich ,  Udo-Martin Gomez ,  Emma Abel

    发明人： Markus ULM ,  Mathias Reimann ,  Harald Emmerich ,  Udo-Martin Gomez ,  Emma Abel

    IPC分类号： G05B11/01

    CPC分类号： B60R21/0132 ,  B60R2021/01327 ,  G01C19/5726 ,  G01C19/574 ,  G01P15/14 ,  G01P21/00

    摘要： A device for controlling a device by using a rotation-rate sensor. In order to provide a device for determining a triggering signal for a safety device which allows a particularly compact implementation of the device, the device is set up to ascertain an acceleration variable on the basis of a first sensor signal for a first seismic mass of the rotation-rate sensor and the second sensor signal for a second seismic mass of the rotation-rate sensor and to control the device as a function of the acceleration variable.

    摘要翻译： 一种用于通过使用旋转速率传感器来控制设备的装置。 为了提供一种用于确定安全装置的触发信号的装置，其允许特别紧凑的装置的实现，该装置被设置为基于第一传感器信号来确定加速度变量，该第一传感器信号用于 旋转速率传感器和用于旋转速率传感器的第二地震质量的第二传感器信号，并且根据加速度变量来控制该装置。

    Micromechanical motion sensor
    9.
    发明授权
    Micromechanical motion sensor 有权
    微机械运动传感器

    公开(公告)号：US07591179B2

    公开(公告)日：2009-09-22

    申请号：US10556172

    申请日：2004-03-24

    申请人： Dietmar Krieg ,  Udo-Martin Gomez ,  Reinhard Neul

    发明人： Dietmar Krieg ,  Udo-Martin Gomez ,  Reinhard Neul

    IPC分类号： G01P9/04

    CPC分类号： G01C19/5712 ,  G01C19/5726 ,  G01C19/5776

    摘要： A micromechanical motion sensor is capable of detecting a deflection imparted to an oscillatably mounted bar spring element excited to a permanent periodic oscillation by an electrostatic oscillating drive to which a periodic drive voltage is applied. To compensate non-linearities of the resonance frequency response of the bar spring element, a sum of a normal drive voltage signal and a compensation drive signal may be applied to a comb drive. In an alternative embodiment, separate compensation comb drive units may be additionally provided to the comb drive units used for the oscillation drive and a compensation voltage signal may be applied to them to compensate for the non-linearity.

    摘要翻译： 微机械运动传感器能够检测通过施加周期性驱动电压的静电振荡驱动器激发到永久周期性振荡的可摆放安装的弹簧元件的偏转。 为了补偿棒弹簧元件的共振频率响应的非线性，可以将正常驱动电压信号和补偿驱动信号的总和施加到梳齿驱动器。 在替代实施例中，分离的补偿梳驱动单元可以附加地提供给用于振荡驱动的梳状驱动单元，并且补偿电压信号可以被施加到它们以补偿非线性。