利索-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册

搜索结果

5 条记录 (耗时 0.02 秒)

    Support structure for temporarily supporting a substrate
    1.
    发明申请
    Support structure for temporarily supporting a substrate 审中-公开
    用于临时支撑基材的支撑结构

    公开(公告)号：US20070285647A1

    公开(公告)日：2007-12-13

    申请号：US11728799

    申请日：2007-03-27

    申请人： Yim-Bun Kwan ,  Hubert Holderer ,  Johannes Deyhle ,  Claudia Ekstein

    发明人： Yim-Bun Kwan ,  Hubert Holderer ,  Johannes Deyhle ,  Claudia Ekstein

    IPC分类号： G03B27/58 ,  G03F1/00

    CPC分类号： G03F7/707 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/6838 ,  H01L21/6875 ,  H01L21/68757 ,  Y10T29/49826

    摘要： There is provided a support structure for temporarily supporting a substrate in a support di-reaction during one of treatment and handling of the substrate comprising a base structure and at least one layer connected to the base structure. The at least one layer defines at least one protrusion of the support structure, the at least one protrusion being adapted to contact the substrate when the substrate is supported by the support structure. The at least one layer comprises a wear resistant material.

    摘要翻译： 提供了一种支撑结构，用于在包括基础结构和连接到基部结构的至少一个层的基底的处理和处理之一期间临时支撑载体二反应中的基底。 所述至少一个层限定所述支撑结构的至少一个突出部，所述至少一个突出部适于在所述基板由所述支撑结构支撑时接触所述基板。 至少一层包括耐磨材料。

    ARRANGEMENT OF TWO CONNECTED BODIES
    2.
    发明申请
    ARRANGEMENT OF TWO CONNECTED BODIES 审中-公开
    两个连接体的安排

    公开(公告)号：US20080100815A1

    公开(公告)日：2008-05-01

    申请号：US11842313

    申请日：2007-08-21

    申请人： Hubert Holderer ,  Claudia Ekstein

    发明人： Hubert Holderer ,  Claudia Ekstein

    IPC分类号： G03B27/54 ,  B23P11/00

    CPC分类号： G03F7/70825 ,  Y10T29/49826

    摘要： Arrangements of a first body and a second body connected to the first body, as well as related systems and methods, are disclosed. The arrangements, systems and methods can be used, for example, with optical devices, such as in the field of microlithography systems used to manufacture of microelectronic devices.

    摘要翻译： 公开了连接到第一体的第一体和第二体的安排，以及相关系统和方法。 布置，系统和方法可以用于例如光学器件，例如在用于制造微电子器件的微光刻系统领域。