公开(公告)号：US08435717B2

公开(公告)日：2013-05-07

申请号：US12527362

申请日：2008-02-14

申请人： Yuji Hagiwara ,  Jonathan Joachim Jodry ,  Satoru Narizuka ,  Kazuhiko Maeda

发明人： Yuji Hagiwara ,  Jonathan Joachim Jodry ,  Satoru Narizuka ,  Kazuhiko Maeda

IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  G03F7/038 ,  G03C1/675 ,  G03C1/73

CPC分类号： C07C69/003 ,  C07C69/74 ,  C07C309/12 ,  C07C381/12 ,  C07C2603/74 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397

摘要： A sulfonic acid onium salt represented by the following formula (1) can be used as a superior radiosensitive acid generator for resist compositions. It is possible to form a good pattern by using a resist composition containing this sulfonic acid onium salt. In formula (1), R1 represents a monovalent organic group, and Q+ represents a sulfonium cation or iodonium cation.

摘要翻译： 由下式（1）表示的磺酸鎓盐可用作抗蚀剂组合物的优异的放射敏感酸发生剂。 可以通过使用含有该磺酸鎓盐的抗蚀剂组合物形成良好的图案。 在式（1）中，R 1表示一价有机基团，Q +表示锍阳离子或碘鎓阳离子。

公开(公告)号：US20100035185A1

公开(公告)日：2010-02-11

申请号：US12527362

申请日：2008-02-14

申请人： Yuji Hagiwara ,  Jonathan Joachim Jodry ,  Satoru Narizuka ,  Kazuhiko Maeda

发明人： Yuji Hagiwara ,  Jonathan Joachim Jodry ,  Satoru Narizuka ,  Kazuhiko Maeda

IPC分类号： G03F7/004 ,  C07C69/003 ,  C07C69/74 ,  C07D207/00 ,  G03F7/20

CPC分类号： C07C69/003 ,  C07C69/74 ,  C07C309/12 ,  C07C381/12 ,  C07C2603/74 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397

摘要： A sulfonic acid onium salt represented by the following formula (1) can be used as a superior radiosensitive acid generator for resist compositions. It is possible to form a good pattern by using a resist composition containing this sulfonic acid onium salt. In formula (1), R1 represents a monovalent organic group, and Q+ represents a sulfonium cation or iodonium cation.

摘要翻译： 由下式（1）表示的磺酸鎓盐可用作抗蚀剂组合物的优异的放射敏感酸发生剂。 可以通过使用含有该磺酸鎓盐的抗蚀剂组合物形成良好的图案。 在式（1）中，R 1表示一价有机基团，Q +表示锍阳离子或碘鎓阳离子。

公开(公告)号：US08581009B2

公开(公告)日：2013-11-12

申请号：US12678250

申请日：2008-09-05

申请人： Yuji Hagiwara ,  Masashi Nagamori ,  Masaki Fujiwara ,  Jonathan Joachim Jodry ,  Satoru Narizuka

发明人： Yuji Hagiwara ,  Masashi Nagamori ,  Masaki Fujiwara ,  Jonathan Joachim Jodry ,  Satoru Narizuka

IPC分类号： C07C31/34

CPC分类号： C07C309/17 ,  C07C29/147 ,  C07C67/08 ,  C07C67/14 ,  C07C303/32 ,  C07C309/08 ,  C07C309/12 ,  C07C313/04 ,  C07C381/12 ,  C07C2602/42 ,  C07C2603/74 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  C07C31/34 ,  C07C69/653 ,  C07C69/63 ,  C07C69/753

摘要： By using an organic base when a carboxylic acid bromodifluoroethyl ester is sulfinated by using a sulfinating agent, there is obtained 2-(alkylcarbonyloxy)-1,1-difluoroethanesulfinic acid ammonium salt. By oxidizing the 2-(alkylcarbonyloxy)-1,1-difluoroethanesulfinic acid ammonium salt, there is obtained 2-(alkylcarbonyloxy)-1,1-difluoroethanesulfonic acid ammonium salt. By using the 2-(alkylcarbonyloxy)-1,1-difluoroethanesulfonic acid ammonium salt as a raw material and exchanging it into an onium salt directly or through saponification/esterification, there can be obtained a 2-alkylcarbonyloxy-1,1-difluoroethanesulfonic acid onium salt.

摘要翻译： 通过使用硫酸化剂将羧酸溴二氟乙酯磺化时，通过使用有机碱，得到2-（烷基羰氧基）-1,1-二氟乙烷亚磺酸铵盐。 通过氧化2-（烷基羰基氧基）-1,1-二氟乙烷亚磺酸铵盐，得到2-（烷基羰氧基）-1,1-二氟乙磺酸铵盐。 通过使用2-（烷基羰氧基）-1,1-二氟乙磺酸铵盐作为原料，直接或通过皂化/酯化将其交换为鎓盐，可以得到2-烷基羰基氧基-1,1-二氟乙磺酸 盐盐

公开(公告)号：US20110319652A1

公开(公告)日：2011-12-29

申请号：US13223605

申请日：2011-09-01

申请人： Jonathan Joachim Jodry ,  Masashi Nagamori ,  Yuji Hagiwara ,  Masaki Fujiwara ,  Satoru Narizuka

发明人： Jonathan Joachim Jodry ,  Masashi Nagamori ,  Yuji Hagiwara ,  Masaki Fujiwara ,  Satoru Narizuka

IPC分类号： C07C69/54

CPC分类号： C07C309/17 ,  C07C29/147 ,  C07C67/08 ,  C07C67/14 ,  C07C303/32 ,  C07C309/08 ,  C07C309/12 ,  C07C313/04 ,  C07C381/12 ,  C07C2602/42 ,  C07C2603/74 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  C07C31/34 ,  C07C69/653 ,  C07C69/63 ,  C07C69/753

摘要： Disclosed is a process for producing 2-bromo-2,2-difluoroethanol, which comprises reducing a bromodifluoroacetic acid derivative represented by the formula [1] by using an ate hydride complex as a reducing agent. 2-Bromo-2,2-difluoroethanol thus produced can be used as the starting material to carry out the esterification step, the sulfination step and the oxidation step in this order, thereby producing a 2-alkylcarbonyloxy-1,1-difluoroethanesulfonic acid salt, wherein A represents a substituted or unsubstituted linear, branched or cyclic alkoxy group having 1 to 20 carbon atoms, a substituted or unsubstituted aryloxy group having 6 to 15 carbon atoms, a heteroaryloxy group having 4 to 15 carbon atoms, or a halogen atom.

摘要翻译： 公开了一种2-溴-2,2-二氟乙醇的制备方法，其包括使用氢化物​​络合物作为还原剂还原式[1]表示的溴二氟乙酸衍生物。 可以使用如此制备的2-溴-2,2-二氟乙醇作为起始原料，依次进行酯化步骤，硫化步骤和氧化步骤，由此制备2-烷基羰基氧基-1,1-二氟乙磺酸盐 其中A表示取代或未取代的具有1至20个碳原子的直链，支链或环状烷氧基，取代或未取代的碳原子数6〜15的芳氧基，碳原子数4〜15的杂芳氧基或卤素原子。

公开(公告)号：US20110034721A1

公开(公告)日：2011-02-10

申请号：US12678250

申请日：2008-09-05

申请人： Yuji Hagiwara ,  Masashi Nagamori ,  Masaki Fujiwara ,  Jonathan Joachim Jodry ,  Satoru Narizuka

发明人： Yuji Hagiwara ,  Masashi Nagamori ,  Masaki Fujiwara ,  Jonathan Joachim Jodry ,  Satoru Narizuka

IPC分类号： C07C69/74

CPC分类号： C07C309/17 ,  C07C29/147 ,  C07C67/08 ,  C07C67/14 ,  C07C303/32 ,  C07C309/08 ,  C07C309/12 ,  C07C313/04 ,  C07C381/12 ,  C07C2602/42 ,  C07C2603/74 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  C07C31/34 ,  C07C69/653 ,  C07C69/63 ,  C07C69/753

摘要： By using an organic base when a carboxylic acid bromodifluoroethyl ester is sulfinated by using a sulfinating agent, there is obtained 2-(alkylcarbonyloxy)-1,1-difluoroethanesulfinic acid ammonium salt. By oxidizing the 2-(alkylcarbonyloxy)-1,1-difluoroethanesulfinic acid ammonium salt, there is obtained 2-(alkylcarbonyloxy)-1,1-difluoroethanesulfonic acid ammonium salt. By using the 2-(alkylcarbonyloxy)-1,1-difluoroethanesulfonic acid ammonium salt as a raw material and exchanging it into an onium salt directly or through saponification/esterification, there can be obtained a 2-alkylcarbonyloxy-1,1-difluoroethanesulfonic acid onium salt.

摘要翻译： 通过使用硫酸化剂将羧酸溴二氟乙酯磺化时，通过使用有机碱，得到2-（烷基羰氧基）-1,1-二氟乙烷亚磺酸铵盐。 通过氧化2-（烷基羰基氧基）-1,1-二氟乙烷亚磺酸铵盐，得到2-（烷基羰氧基）-1,1-二氟乙磺酸铵盐。 通过使用2-（烷基羰氧基）-1,1-二氟乙磺酸铵盐作为原料，直接或通过皂化/酯化将其交换为鎓盐，可以得到2-烷基羰基氧基-1,1-二氟乙磺酸 盐盐

公开(公告)号：US20110015431A1

公开(公告)日：2011-01-20

申请号：US12678223

申请日：2008-09-05

申请人： Jonathan Joachim Jodry ,  Masashi Nagamori ,  Yuji Hagiwara ,  Masaki Fujiwara ,  Satoru Narizuka

发明人： Jonathan Joachim Jodry ,  Masashi Nagamori ,  Yuji Hagiwara ,  Masaki Fujiwara ,  Satoru Narizuka

IPC分类号： C07C67/16 ,  C07C309/08 ,  C07C309/10 ,  C07C29/143

CPC分类号： C07C309/17 ,  C07C29/147 ,  C07C67/08 ,  C07C67/14 ,  C07C303/32 ,  C07C309/08 ,  C07C309/12 ,  C07C313/04 ,  C07C381/12 ,  C07C2602/42 ,  C07C2603/74 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  C07C31/34 ,  C07C69/653 ,  C07C69/63 ,  C07C69/753

摘要： Disclosed is a process for producing 2-bromo-2,2-difluoroethanol, which comprises reducing a bromodifluoroacetic acid derivative represented by the formula [1] by using an ate hydride complex as a reducing agent. 2-Bromo-2,2-difluoroethanol thus produced can be used as the starting material to carry out the esterification step, the sulfination step and the oxidation step in this order, thereby producing a 2-alkylcarbonyloxy-1,1-difluoroethanesulfonic acid salt, wherein A represents a substituted or unsubstituted linear, branched or cyclic alkoxy group having 1 to 20 carbon atoms, a substituted or unsubstituted aryloxy group having 6 to 15 carbon atoms, a heteroaryloxy group having 4 to 15 carbon atoms, or a halogen atom.

摘要翻译： 公开了一种2-溴-2,2-二氟乙醇的制备方法，其包括使用氢化物​​络合物作为还原剂还原式[1]表示的溴二氟乙酸衍生物。 可以使用如此制备的2-溴-2,2-二氟乙醇作为起始原料，依次进行酯化步骤，硫化步骤和氧化步骤，由此制备2-烷基羰基氧基-1,1-二氟乙磺酸盐 其中A表示取代或未取代的具有1至20个碳原子的直链，支链或环状烷氧基，取代或未取代的碳原子数6〜15的芳氧基，碳原子数4〜15的杂芳氧基或卤素原子。

公开(公告)号：US08222448B2

公开(公告)日：2012-07-17

申请号：US13223605

申请日：2011-09-01

申请人： Jonathan Joachim Jodry ,  Masashi Nagamori ,  Yuji Hagiwara ,  Masaki Fujiwara ,  Satoru Narizuka

发明人： Jonathan Joachim Jodry ,  Masashi Nagamori ,  Yuji Hagiwara ,  Masaki Fujiwara ,  Satoru Narizuka

IPC分类号： C07C69/54

CPC分类号： C07C309/17 ,  C07C29/147 ,  C07C67/08 ,  C07C67/14 ,  C07C303/32 ,  C07C309/08 ,  C07C309/12 ,  C07C313/04 ,  C07C381/12 ,  C07C2602/42 ,  C07C2603/74 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  C07C31/34 ,  C07C69/653 ,  C07C69/63 ,  C07C69/753

摘要： Disclosed is a process for producing 2-bromo-2,2-difluoroethanol, which comprises reducing a bromodifluoroacetic acid derivative represented by the formula [1] by using an ate hydride complex as a reducing agent. 2-Bromo-2,2-difluoroethanol thus produced can be used as the starting material to carry out the esterification step, the sulfination step and the oxidation step in this order, thereby producing a 2-alkylcarbonyloxy-1,1-difluoroethanesulfonic acid salt, wherein A represents a substituted or unsubstituted linear, branched or cyclic alkoxy group having 1 to 20 carbon atoms, a substituted or unsubstituted aryloxy group having 6 to 15 carbon atoms, a heteroaryloxy group having 4 to 15 carbon atoms, or a halogen atom.

摘要翻译： 公开了一种2-溴-2,2-二氟乙醇的制备方法，其包括使用氢化物​​络合物作为还原剂还原式[1]表示的溴二氟乙酸衍生物。 可以使用如此制备的2-溴-2,2-二氟乙醇作为起始原料，依次进行酯化步骤，硫化步骤和氧化步骤，由此制备2-烷基羰基氧基-1,1-二氟乙磺酸盐 其中A表示取代或未取代的具有1至20个碳原子的直链，支链或环状烷氧基，取代或未取代的碳原子数6〜15的芳氧基，碳原子数4〜15的杂芳氧基或卤素原子。

公开(公告)号：US08110711B2

公开(公告)日：2012-02-07

申请号：US12678223

申请日：2008-09-05

申请人： Jonathan Joachim Jodry ,  Masashi Nagamori ,  Yuji Hagiwara ,  Masaki Fujiwara ,  Satoru Narizuka

发明人： Jonathan Joachim Jodry ,  Masashi Nagamori ,  Yuji Hagiwara ,  Masaki Fujiwara ,  Satoru Narizuka

IPC分类号： C07C29/143 ,  C07C67/16 ,  C07C309/08 ,  C07C309/10

CPC分类号： C07C309/17 ,  C07C29/147 ,  C07C67/08 ,  C07C67/14 ,  C07C303/32 ,  C07C309/08 ,  C07C309/12 ,  C07C313/04 ,  C07C381/12 ,  C07C2602/42 ,  C07C2603/74 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  C07C31/34 ,  C07C69/653 ,  C07C69/63 ,  C07C69/753

摘要： Disclosed is a process for producing 2-bromo-2,2-difluoroethanol, which comprises reducing a bromodifluoroacetic acid derivative represented by the formula [1] by using an ate hydride complex as a reducing agent. 2-Bromo-2,2-difluoroethanol thus produced can be used as the starting material to carry out the esterification step, the sulfination step and the oxidation step in this order, thereby producing a 2-alkylcarbonyloxy-1,1-difluoroethanesulfonic acid salt, wherein A represents a substituted or unsubstituted linear, branched or cyclic alkoxy group having 1 to 20 carbon atoms, a substituted or unsubstituted aryloxy group having 6 to 15 carbon atoms, a heteroaryloxy group having 4 to 15 carbon atoms, or a halogen atom.

摘要翻译： 公开了一种2-溴-2,2-二氟乙醇的制备方法，其包括使用氢化物​​络合物作为还原剂还原式[1]表示的溴二氟乙酸衍生物。 可以使用如此制备的2-溴-2,2-二氟乙醇作为起始原料，依次进行酯化步骤，硫化步骤和氧化步骤，由此制备2-烷基羰基氧基-1,1-二氟乙磺酸盐 其中A表示取代或未取代的具有1至20个碳原子的直链，支链或环状烷氧基，取代或未取代的碳原子数6〜15的芳氧基，碳原子数4〜15的杂芳氧基或卤素原子。

公开(公告)号：US08513457B2

公开(公告)日：2013-08-20

申请号：US13474187

申请日：2012-05-17

申请人： Yoshimi Isono ,  Jonathan Joachim Jodry ,  Satoru Narizuka ,  Kazuhiro Yamanaka

发明人： Yoshimi Isono ,  Jonathan Joachim Jodry ,  Satoru Narizuka ,  Kazuhiro Yamanaka

IPC分类号： C07C59/58

CPC分类号： C07C69/653 ,  C08F220/24 ,  C08F220/28 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0382 ,  Y10S430/108 ,  Y10S430/115 ,  Y10S430/143 ,  Y10S430/167 ,  Y10T428/24802

摘要： A fluorine-containing unsaturated carboxylic acid represented by formula (1), wherein R1 represents a polymerizable double-bond containing group, R3 represents a fluorine atom or fluorine-containing alkyl group, and W represents a bivalent linking group. This compound can provide a fluorine-containing polymer compound that has a weight-average molecular weight of 1,000-1,000,000 and contains a repeating unit represented by formula (2), wherein R3 and W are defined as above, each of R4, R5 and R6 independently represents a hydrogen atom, fluorine atom or monovalent organic group, at least two of R4, R5 and R6 may be combined to form a ring. This polymer compound can provide a chemically amplified resist composition that is transparent to KrF or ArF excimer laser light and has a high resolution and is capable of forming a pattern having a rectangular section with no swelling.

摘要翻译： 由式（1）表示的含氟不饱和羧酸，其中R 1表示可聚合双键的基团，R 3表示氟原子或含氟烷基，W表示二价连接基团。 该化合物可以提供重均分子量为1,000〜1,000,000的含氟聚合物化合物，并且含有式（2）所示的重复单元，其中R 3和W如上定义，各自为R 4，R 5和R 6 独立地表示氢原子，氟原子或一价有机基团，R4，R5和R6中的至少两个可以组合形成环。 该高分子化合物可以提供对KrF或ArF准分子激光透明的化学放大抗蚀剂组合物，并且具有高分辨率，并且能够形成具有无膨胀的矩形截面的图案。

公开(公告)号：US08187787B2

公开(公告)日：2012-05-29

申请号：US12146889

申请日：2008-06-26

申请人： Yoshimi Isono ,  Jonathan Joachim Jodry ,  Satoru Narizuka ,  Kazuhiro Yamanaka

发明人： Yoshimi Isono ,  Jonathan Joachim Jodry ,  Satoru Narizuka ,  Kazuhiro Yamanaka

IPC分类号： G03C1/00 ,  C08F16/24

CPC分类号： C07C69/653 ,  C08F220/24 ,  C08F220/28 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0382 ,  Y10S430/108 ,  Y10S430/115 ,  Y10S430/143 ,  Y10S430/167 ,  Y10T428/24802

摘要： Disclosed is a fluorine-containing unsaturated carboxylic acid represented by formula (1), wherein R1 represents a polymerizable double-bond containing group, R3 represents a fluorine atom or fluorine-containing alkyl group, and W represents a bivalent linking group. This compound can provide a fluorine-containing polymer compound that has a weight-average molecular weight of 1,000-1,000,000 and contains a repeating unit represented by formula (2), wherein R3 and W are defined as above, each of R4, R5 and R6 independently represents a hydrogen atom, fluorine atom or monovalent organic group, at least two of R4, R5 and R6 may be combined to form a ring. This polymer compound can provide a chemically amplified resist composition that is transparent to KrF or ArF excimer laser light and has a high resolution and is capable of forming a pattern having a rectangular section with no swelling.

摘要翻译： 公开了式（1）表示的含氟不饱和羧酸，其中R1表示可聚合双键的基团，R3表示氟原子或含氟烷基，W表示二价连接基团。 该化合物可以提供重均分子量为1,000〜1,000,000的含氟聚合物化合物，并且含有式（2）所示的重复单元，其中R 3和W如上定义，各自为R 4，R 5和R 6 独立地表示氢原子，氟原子或一价有机基团，R4，R5和R6中的至少两个可以组合形成环。 该高分子化合物可以提供对KrF或ArF准分子激光透明的化学放大抗蚀剂组合物，并且具有高分辨率，并且能够形成具有无膨胀的矩形截面的图案。