公开(公告)号：US08146024B2

公开(公告)日：2012-03-27

申请号：US11612432

申请日：2006-12-18

申请人： Kevin Chan ,  Emmanuel Drege ,  Nickhil Jakatdar ,  Svetlana Litvintseva ,  Mark A. Miller ,  Francis Raquel

发明人： Kevin Chan ,  Emmanuel Drege ,  Nickhil Jakatdar ,  Svetlana Litvintseva ,  Mark A. Miller ,  Francis Raquel

IPC分类号： G06F17/50

CPC分类号： G05B19/41865 ,  G03F7/70525 ,  G05B2219/32015 ,  G05B2219/32293 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/20

摘要： A method and apparatus for process optimization is provided. Process optimization improves parametric and functional yield post mask manufacturing.

摘要翻译： 提供了一种用于过程优化的方法和装置。 工艺优化提高了掩模制造的参数和功能产量。

公开(公告)号：US06865432B2

公开(公告)日：2005-03-08

申请号：US10152348

申请日：2002-05-22

申请人： Peter G. Brown

发明人： Peter G. Brown

IPC分类号： G05B19/418 ,  G06Q10/04 ,  G06F19/00

CPC分类号： G06Q10/04 ,  G05B19/41865 ,  G05B2219/32283 ,  G05B2219/32293 ,  G05B2219/32304 ,  Y02P90/20

摘要： In an effort to achieve the lowest cost of goods (COG) possible, a key objective in batch manufacturing is to maximize equipment utilization so that the capacity and size of equipment per batch cycle is the smallest possible for a given batch production capacity. This optimization of equipment utilization minimizes equipment and direct utility costs per batch, as well as reduces the physical space and the associated utilities required to support manufacturing operations. The present invention provides a process of: (1) determining the optimal number of batch cycles per year for a required annual production capacity; and (2) determining the optimal number of equipment cycle iterations per batch cycle in a manner that: (a) creates the smallest batch sizes possible; and (b) achieves higher equipment utilization per batch cycle, thereby reducing the capacity and size of equipment required to produce a given batch quantity of product.

摘要翻译： 为了实现最低成本的成本（COG），批量生产的一个关键目标是最大限度地提高设备利用率，使得每批次循环的设备的容量和尺寸对于给定的批量生产能力而言是最小的。 这种设备利用率的优化最大限度地减少了每批次的设备和直接公用事业成本，并减少了支持制造操作所需的物理空间和相关实用工具。 本发明提供一种方法：（1）确定所需年生产能力的每年最佳批次周期数; 和（2）以下列方式确定每批次循环的设备循环迭代的最佳数量：（a）创建可能的最小批量大小; 和（b）每批次循环实现更高的设备利用率，从而降低生产给定批次产品所需设备的容量和尺寸。

公开(公告)号：US08185226B2

公开(公告)日：2012-05-22

申请号：US12119042

申请日：2008-05-12

申请人： Joerg Weigang ,  Robert Ringel ,  Steffen Kalisch ,  Thomas Quarg

发明人： Joerg Weigang ,  Robert Ringel ,  Steffen Kalisch ,  Thomas Quarg

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G05B19/41865 ,  G05B2219/31449 ,  G05B2219/32266 ,  G05B2219/32293 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/20

摘要： By defining a section-related WIP limit or a throughput-related WIP limit, an efficient “look ahead” characteristic may be established to efficiently control the WIP in a complex manufacturing environment, such as a semiconductor facility. The respective critical WIP values may enable efficient reduction of priority of products moving towards an increased WIP queue, thereby reducing or substantially avoiding the release of products that are expected to run into the WIP queue. In this way, the efficiency of shared tools may be increased, since process capacity no longer required for the processing products running into WIP queues may be allocated for other operations.

摘要翻译： 通过定义与部分相关的WIP限制或吞吐量相关的WIP限制，可以建立有效的“展望”特性，以在诸如半导体设施的复杂制造环境中有效地控制WIP。 相应的关键WIP值可以有效地降低向增加的WIP队列移动的产品的优先级，从而减少或基本上避免预期进入WIP队列的产品的释放。 以这种方式，可以增加共享工具的效率，这是因为处理产品不再需要进行WIP队列的处理能力可能被分配给其他操作。

公开(公告)号：US20060149404A1

公开(公告)日：2006-07-06

申请号：US10905456

申请日：2005-01-05

申请人： Brian Denton ,  Kenneth Fordyce ,  Robert Milne

发明人： Brian Denton ,  Kenneth Fordyce ,  Robert Milne

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G05B19/41865 ,  G05B2219/31411 ,  G05B2219/32247 ,  G05B2219/32267 ,  G05B2219/32271 ,  G05B2219/32293 ,  G05B2219/45028 ,  Y02P90/20

摘要： Disclosed is a method of controlling a manufacturing system. The invention automatically monitors current levels of partially completed products waiting to be processed by a tool (or group of tools) and determines whether the current levels exceed a predetermined limit. If the current levels do exceed the predetermined limit, the invention performs an optimization process. However, if the current levels do not exceed the predetermined limit, the invention performs a dispatching process. In this dispatching process, the invention automatically projects future levels of partially completed products that will be supplied to the tool to identify a future work-in-process (WIP) bubble. The WIP bubble occurs when larger than normal amounts of partially completed products are supplied to the tool. The invention automatically adjusts the operating parameters of the tool based upon both the current levels and the future levels.

摘要翻译： 公开了一种控制制造系统的方法。 本发明自动监视等待由工具（或一组工具）处理的部分完成的产品的当前水平，并确定当前水平是否超过预定极限。 如果当前水平超过预定极限，本发明进行优化处理。 然而，如果当前电平不超过预定限度，则本发明执行调度处理。 在这个调度过程中，本发明会自动将未来的部分完成产品的水平提供给工具，以识别未来的在制品（WIP）泡沫。 当大于正常量的部分完成的产品被提供给工具时，会出现WIP气泡。 本发明基于当前水平和未来水平自动调整工具的操作参数。

公开(公告)号：US20160189072A1

公开(公告)日：2016-06-30

申请号：US15066368

申请日：2016-03-10

申请人： KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA

发明人： Yusuke KUROKI ,  Shigeta KUNINOBU

IPC分类号： G06Q10/06 ,  G06Q30/02 ,  G06F17/30

CPC分类号： G06Q10/06314 ,  G05B19/41865 ,  G05B2219/32293 ,  G06F16/9024 ,  G06Q10/0631 ,  G06Q30/0283 ,  G06Q50/04 ,  Y02P90/18 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/30

摘要： A new operation is added to an operation plan while reducing the change amount in switch costs before and after change. An operation-plan scheduling device according to one embodiment is provided with a reader to read an operation plan, switch-cost information, information of an additional operation; a graph-network creator to create a graph network by setting intervals between operations allocated to the operation executors as an interval vertices, connecting edges among an entry vertex, an interval vertex, and an exit vertex, and setting weight variables on the edges; a path selector to select a path based on edge weight sums of the paths from the entry vertex to the exit vertex of the graph network; and an operation-plan creator to exchange operations between the operation executors in accordance with the selected path and allocate the additional operation to the interval created by the exchange.

摘要翻译： 在操作计划中增加了新的操作，同时减少了变更前后的开关成本变化量。 根据一个实施例的操作计划调度装置设置有读取器以读取操作计划，开关成本信息，附加操作的信息; 图形网络创建者通过将分配给操作执行器的操作之间的间隔设置为间隔顶点，连接入口顶点中的边缘，间隔顶点和退出顶点，以及在边缘上设置权重变量来创建图形网络。 路径选择器，用于基于从图形网络的入口顶点到出口顶点的路径的边缘权重和来选择路径; 以及操作计划创建者，以根据所选路径在操作执行器之间交换操作，并将附加操作分配给由交换所创建的间隔。

公开(公告)号：US20090037012A1

公开(公告)日：2009-02-05

申请号：US12119042

申请日：2008-05-12

申请人： Joerg Weigang ,  Robert Ringel ,  Steffen Kalisch ,  Thomas Quarg

发明人： Joerg Weigang ,  Robert Ringel ,  Steffen Kalisch ,  Thomas Quarg

IPC分类号： G06F17/00

CPC分类号： G05B19/41865 ,  G05B2219/31449 ,  G05B2219/32266 ,  G05B2219/32293 ,  G05B2219/45031 ,  Y02P90/20

摘要： By defining a section-related WIP limit or a throughput-related WIP limit, an efficient “look ahead” characteristic may be established to efficiently control the WIP in a complex manufacturing environment, such as a semiconductor facility. The respective critical WIP values may enable efficient reduction of priority of products moving towards an increased WIP queue, thereby reducing or substantially avoiding the release of products that are expected to run into the WIP queue. In this way, the efficiency of shared tools may be increased, since process capacity no longer required for the processing products running into WIP queues may be allocated for other operations.

摘要翻译： 通过定义与部分相关的WIP限制或吞吐量相关的WIP限制，可以建立有效的“展望”特性，以在诸如半导体设施的复杂制造环境中有效地控制WIP。 相应的关键WIP值可以有效地降低向增加的WIP队列移动的产品的优先级，从而减少或基本上避免预期进入WIP队列的产品的释放。 以这种方式，可以增加共享工具的效率，这是因为处理产品不再需要进行WIP队列的处理能力可能被分配给其他操作。

公开(公告)号：US20070088449A1

公开(公告)日：2007-04-19

申请号：US11538821

申请日：2006-10-05

申请人： Brian Denton ,  Kenneth Fordyce

发明人： Brian Denton ,  Kenneth Fordyce

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G05B19/41865 ,  G05B2219/31411 ,  G05B2219/32247 ,  G05B2219/32267 ,  G05B2219/32271 ,  G05B2219/32293 ,  G05B2219/45028 ,  Y02P90/20

摘要： Disclosed is a method of controlling a manufacturing system. The invention automatically monitors current levels of partially completed products waiting to be processed by a tool (or group of tools) and determines whether the current levels exceed a predetermined limit. If the current levels do exceed the predetermined limit, the invention performs an optimization process. However, if the current levels do not exceed the predetermined limit, the invention performs a dispatching process. In this dispatching process, the invention automatically projects future levels of partially completed products that will be supplied to the tool to identify a future work-in-process (WIP) bubble. The WIP bubble occurs when larger than normal amounts of partially completed products are supplied to the tool. The invention automatically adjusts the operating parameters of the tool based upon both the current levels and the future levels.

摘要翻译： 公开了一种控制制造系统的方法。 本发明自动监视等待由工具（或一组工具）处理的部分完成的产品的当前水平，并确定当前水平是否超过预定极限。 如果当前水平超过预定极限，本发明进行优化处理。 然而，如果当前电平不超过预定限度，则本发明执行调度处理。 在这个调度过程中，本发明会自动将未来的部分完成产品的水平提供给工具，以识别未来的在制品（WIP）泡沫。 当大于正常量的部分完成的产品被提供给工具时，会出现WIP气泡。 本发明基于当前水平和未来水平自动调整工具的操作参数。

公开(公告)号：US20110166683A1

公开(公告)日：2011-07-07

申请号：US12683454

申请日：2010-01-07

申请人： Vincent Vazquez ,  Jeffrey Paul Gifford ,  Dmitriy Shneyder

发明人： Vincent Vazquez ,  Jeffrey Paul Gifford ,  Dmitriy Shneyder

IPC分类号： G06F17/00

CPC分类号： G05B19/41865 ,  G05B2219/32293 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/86

摘要： A method identifies a real time downstream to processing capability within a production environment using a computerized device. The processing sequences perform operations utilizing one or more tools. The method also determines if an upstream tool capacity is greater than a downstream tool capacity. When the upstream tool capacity is greater than the downstream tool capacity the method calculates an overlap value. The method then adjusts the run rate for the upstream tool to by dividing the run rate of the upstream tool by the overlap value. The method is a centralized system that references tool processing parameters to determine processing capability. In the cases where the upstream tool has a significantly shorter processing time than the downstream tool, the system is used to determine if value should be added at the upstream tool to avoid WIP build up at the downstream tool.

摘要翻译： 一种方法使用计算机化设备在生产环境中识别处理能力的下游实时。 处理顺序使用一个或多个工具执行操作。 该方法还确定上游工具容量是否大于下游工具容量。 当上游工具容量大于下游工具容量时，该方法计算重叠值。 然后，该方法通过将上游工具的运行速率除以重叠值来调整上游工具的运行速率。 该方法是一个集中系统，它引用工具处理参数来确定处理能力。 在上游工具比下游工具具有明显缩短的处理时间的情况下，系统用于确定是否应在上游工具添加值以避免在下游工具上生成WIP。

公开(公告)号：US06757577B1

公开(公告)日：2004-06-29

申请号：US09635481

申请日：2000-08-08

申请人： Bo-Chan Jeng ,  Wei-Shan Mao ,  Po-Win Cheng

发明人： Bo-Chan Jeng ,  Wei-Shan Mao ,  Po-Win Cheng

IPC分类号： G06F1900

CPC分类号： G05B19/41865 ,  G05B2219/32258 ,  G05B2219/32293 ,  Y02P90/20

摘要： A system and a method for managing a work-in-process (WIP) workload within a fabrication facility employ sequential processing of the work-in-process (WIP) workload within one each of a minimum of one pre-process tool, a minimum of one buffer tool and a minimum of one post-process tool. A buffer tool tolerance time is calculated predicated upon an available work-in-process (WIP) pre-process rate, an available work-in-process (WIP) buffer capacity and an available work-in-process (WIP) post process rate. The work-in-process (WIP) workload may thus be optimally processed in accord with the buffer tool tolerance time.

摘要翻译： 用于管理制造设备内的在制品（WIP）工作负载的系统和方法使用至少一个预处理工具中的每一个中的工作在制品（WIP）工作量的顺序处理，最小 一个缓冲工具和至少一个后处理工具。 缓冲区工具容忍时间是根据可用的在制品（WIP）预处理速率，可用的在制品（WIP）缓冲容量和可用的在制品（WIP）后处理率计算的。 。 因此，在制品（WIP）工作量可以根据缓冲刀具的公差时间进行最佳的处理。

公开(公告)号：US20040059451A1

公开(公告)日：2004-03-25

申请号：US10251636

申请日：2002-09-19

发明人： John Holtan ,  Michael Kilen ,  John Maher

IPC分类号： G06F019/00

CPC分类号： G05B19/41865 ,  G05B2219/32239 ,  G05B2219/32293 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/86

摘要： A process is scheduled based on one or more tasks identified as control tasks from a set of tasks comprising part of a job. A desired work-in-progress load time level is set for each of the identified control tasks, and a time load on each of the identified control tasks is determined for each new job, each new job comprising one or more tasks. New jobs are released based on the desired work-in-progress load time level for one or more control tasks to approximately maintain the set desired work-in-progress load time level.

摘要翻译： 基于从包括作业的一部分的一组任务中识别为控制任务的一个或多个任务来调度进程。 为每个所识别的控制任务设置期望的在制品加载时间级别，并且为每个新作业确定每个所识别的控制任务上的时间负载，每个新作业包括一个或多个任务。 基于针对一个或多个控制任务的期望的工作进程加载时间级别来释放新作业，以大致维持所设置的所需工作进行中加载时间级别。