公开(公告)号：WO2019096644A1

公开(公告)日：2019-05-23

申请号：PCT/EP2018/080433

申请日：2018-11-07

Applicant: ASML NETHERLANDS B.V.

Inventor： HUANG, Yang-Shan ,  DE JAGER, Pieter, Cornelis, Johan ,  REILINK, Rob ,  VALENTIN, Christiaan, Louis ,  SCHOLTEN, Jasper, Leonardus, Johannes ,  VERWEIJ, Antonie, Hendrik ,  VAN HORNE, Edwin

IPC: G03F7/20 ,  F16C32/06 ,  F16C33/74

CPC classification number: G03F7/70908 ,  F16C29/025 ,  F16C32/06 ,  F16C33/748 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/70816

Abstract: An object stage bearing system can include an object stage, a hollow shaft coupled to the object stage, and an in-vacuum gas bearing assembly coupled to the hollow shaft and the object stage. The in-vacuum gas bearing assembly can include a gas bearing, a scavenging groove, and a vacuum groove. The gas bearing is disposed along an inner wall of the in-vacuum gas bearing assembly and along an external wall of the hollow shaft. The scavenging groove is disposed along the inner wall such that the scavenging groove is isolated from the gas bearing. The vacuum groove is disposed along the inner wall such that the vacuum groove is isolated from the scavenging groove and the gas bearing.

公开(公告)号：WO2014205429A1

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：PCT/US2014/043543

申请日：2014-06-22

Applicant: KLA-TENCOR CORPORATION

Inventor： CHILESE, Francis C. ,  GARCIA, Rudy

IPC: F16C32/06 ,  G01J3/10 ,  H01J35/00 ,  H05G2/00

CPC classification number: F16C32/0614 ,  F16C32/0685 ,  F16C33/748 ,  F16C2380/18

Abstract: A gas bearing assembly including: a stator, a spindle rotatable about an axis, a first space between the spindle and the stator and arranged to receive a bearing gas at a first pressure, to support rotation of the spindle about the axis, a first annulus, in the stator or the spindle and arranged to vent the bearing gas from a first portion of the first space, a second annulus, in the stator or the spindle, and arranged to transport a barrier gas, at a second pressure, into a second portion of the first space, and a third annulus, in the stator or the spindle, the third annulus disposed between the first and second annuli and arranged to transport the bearing gas and the barrier gas out of a third portion of the space to a create, in the third portion, a third pressure less than the first and second pressures.

Abstract translation: 一种气体轴承组件，包括：定子，可围绕轴线旋转的主轴，所述心轴和所述定子之间的第一空间，并且布置成在第一压力下接收轴承气体，以支撑所述心轴围绕所述轴的旋转;第一环 在定子或主轴中，并布置成从第一空间的第一部分，在定子或主轴中的第二环形空气排出轴承气体，并且布置成在第二压力下将阻挡气体输送到第二压力 所述第一空间的一部分和所述定子或所述心轴中的第三环形空间，所述第三环形空间设置在所述第一和第二环之间，并且被布置成将所述轴承气体和所述阻挡气体从所述空间的第三部分输送到所述空间 在第三部分中，具有小于第一和第二压力的第三压力。

公开(公告)号：WO2007108399A1

公开(公告)日：2007-09-27

申请号：PCT/JP2007/055249

申请日：2007-03-15

Applicant: 京セラ株式会社 ,  宗石 猛

Inventor： 宗石 猛

IPC: F16C32/06

CPC classification number: F16C29/025 ,  F16C32/0402 ,  F16C32/0404 ,  F16C32/0614 ,  F16C33/748 ,  F16C39/00 ,  F16C2300/62

Abstract: 　本発明は、固定体２と、固定体２とに間に静圧流体層を介在させた状態で固定体２に対して相対移動可能とされた可動体３と、を備えた静圧スライダに関する。静圧スライダは、第１導体層２５（２６～２８）と、固定体２に対して、少なくとも一部が、第１導体層２５（２６～２８）との間に作用する静電気力により、第１導体層２５（２６～２８）に対する距離が変化可能とされた第２導体層３１Ａ（３２Ａ～３４Ａ）と、をさらに備えている。本発明はさらに、前記静圧スライダを備えた搬送装置および処理装置にも関する。

Abstract translation: 一种静压滑块，其具有固定体（2）和可相对于固定体（2）移动的可移动体（3），静压压力流体层插入在主体（2,3）之间。 静压滑块还具有第一导体层（25）（26至28），并且还具有第二导体层（31A）（32A至34A），其中第二导体层的至少一部分可以具有与第一导体层 通过第一导体层（25）（26〜28）与第二导体层（31A）（32A〜34A）之间的静电力的作用，导体层（25）（26〜28）。 还提供了具有静压滑块的输送装置和处理装置。

公开(公告)号：WO2007016688A1

公开(公告)日：2007-02-08

申请号：PCT/US2006/030331

申请日：2006-08-02

Applicant: NEW WAY MACHINE COMPONENTS, INC. ,  DEVITT, Andrew J.

Inventor： DEVITT, Andrew J.

IPC: C23C16/54 ,  C23C14/56

CPC classification number: C23C16/458 ,  B05C13/00 ,  C03B35/147 ,  C03C15/00 ,  C03C17/002 ,  C03C23/0075 ,  C23C14/562 ,  C23C16/4409 ,  C23C16/50 ,  C23C16/545 ,  F16C32/0614 ,  F16C33/748 ,  F16C2300/62 ,  H01J37/3277 ,  H01J37/32834 ,  H01L21/67028 ,  H01L21/67034 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67739 ,  Y02P40/57

Abstract: A method and apparatus for coating and baking and deposition of surfaces on glass substrate or flexible substrate, such as films and thin glass sheets or other similar work pieces as it transitions thru and between small gaps of aero-static or hydro-static porous media bearings and differentially pumped vacuum grooves, in a non-contact manner, in order to process within a vacuum environment. The process is also intended to incorporate simultaneous and immediately sequential ordering of various processes.

Abstract translation: 一种用于在玻璃基板或柔性基板上涂覆和烘烤和沉积表面的方法和装置，例如薄膜和薄玻璃板或其它类似的工件，当它们穿过静电或静电多孔介质轴承的小间隙 以及差分抽真空槽，以非接触的方式，以在真空环境中进行处理。 该过程还旨在并入并且立即顺序排列各种过程。

公开(公告)号：WO2015032425A1

公开(公告)日：2015-03-12

申请号：PCT/EP2013/068259

申请日：2013-09-04

Applicant: STATOIL PETROLEUM AS

Inventor： BRENNE, Lars ,  BJØRGE, Tor ,  MAZZALI, Carlo ,  UNDERBAKKE, Harald ,  KIBSGAARD, Svend Tarald

IPC: F16C17/20 ,  F16C33/10 ,  F16C33/74 ,  F16C39/02 ,  F16C39/06 ,  F16C32/04 ,  F16C32/06

CPC classification number: F16C33/101 ,  F04D29/047 ,  F04D29/102 ,  F16C17/02 ,  F16C17/024 ,  F16C19/06 ,  F16C32/0402 ,  F16C32/0662 ,  F16C33/748 ,  F16C39/02 ,  F16C39/063 ,  F16C2360/00

Abstract: The present invention relates to a combination bearing (1) for a rotor in rotating machines, provided with a main bearing (6) and an auxiliary bearing (7), wherein the main bearing comprises a combined gas bearing and seal and wherein the auxiliary bearing is adapted to support the rotor during transient periods at start-up, shut-down or accidental operational loads, and wherein the main bearing and the auxiliary bearing are integrated within the same bearing housing (2).

Abstract translation: 本发明涉及一种用于旋转机械中的转子的组合轴承（1），其具有主轴承（6）和辅助轴承（7），其中主轴承包括组合的气体轴承和密封件，并且其中辅助轴承 适于在启动，关闭或意外操作负载的过渡期间支撑转子，并且其中主轴承和辅助轴承集成在相同的轴承壳体（2）内。

公开(公告)号：WO2007069713A1

公开(公告)日：2007-06-21

申请号：PCT/JP2006/325020

申请日：2006-12-15

Applicant: 京セラ株式会社 ,  宗石 猛

Inventor： 宗石 猛

IPC: F16C32/06

CPC classification number: F16C29/025 ,  F16C32/0614 ,  F16C33/748 ,  F16C2300/62

Abstract: A hydrostatic slider for moving a moving element relatively with a solid element with a hydrostatic fluid layer formed of a pressurized fluid interposed between the solid element and the moving element. The hydrostatic slider comprises a solid element (2) having a dynamic guide surface, and a moving element (3) capable of moving relatively along the dynamic guide surface, a measuring means for directly measuring the distance between the dynamic guide surface and a facing surface at the end of the moving element facing the dynamic guide surface being provided. Preferably, the measuring means includes first conductor layers (25-28) formed on the dynamic guide surface and second conductor layer (31A-34A) formed on the facing surface, the first and the second conductor layers being constituted so as to measure electrostatic capacity between the these conductor layers. The moving element has a moving body (30) and displacing bodies (31-34) displaceable relative to the moving body in a direction perpendicular to the moving direction of the moving element with their end surfaces constituting the above facing surface, and further has a control means for controlling the positions of the displacing bodies so as to adjust the distance between the dynamic guide surface and the facing surface based on measurement results by the measuring means.

Abstract translation: 一种用于使移动元件相对于固体元件移动的流体静力滑动器，其中流体静力流体层由置于固体元件和移动元件之间的加压流体形成。 静液压滑块包括具有动态导向表面的实体元件（2）和能够相对于动态导向表面移动的移动元件（3），用于直接测量动态导向表面和相对表面之间的距离的测量装置 在移动元件的面向动态引导表面的端部设置。 优选地，测量装置包括形成在动态引导表面上的第一导体层（25-28）和形成在相对表面上的第二导体层（31A-34A），第一和第二导体层构成为测量静电容量 在这些导体层之间。 所述移动体具有移动体（30）和位移体（31-34），所述移动体（31-34）能够相对于所述移动体在与所述移动体的移动方向垂直的方向上移动，并且所述移动体的端面构成所述面对面，并且还具有 控制装置，用于基于测量装置的测量结果来控制位移体的位置，以调节动态导向表面和相对表面之间的距离。

公开(公告)号：WO2007016689A1

公开(公告)日：2007-02-08

申请号：PCT/US2006/030332

申请日：2006-08-02

Applicant: NEW WAY MACHINE COMPONENTS, INC. ,  DEVITT, Andrew, J.

Inventor： DEVITT, Andrew, J.

IPC: F16C32/06 ,  B65G49/06 ,  H01L21/00

CPC classification number: C23C16/458 ,  B05C13/00 ,  C03B35/147 ,  C03C15/00 ,  C03C17/002 ,  C03C23/0075 ,  C23C14/562 ,  C23C16/4409 ,  C23C16/50 ,  C23C16/545 ,  F16C32/0614 ,  F16C33/748 ,  F16C2300/62 ,  H01J37/3277 ,  H01J37/32834 ,  H01L21/67028 ,  H01L21/67034 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67739 ,  Y02P40/57

Abstract: A method and apparatus for cleaning, drying, coating, baking etching and deposition of surfaces on glass substrate as it transitions thru and between small gaps between hydro-static porous media bearings. Due to the non-contact nature of the device extremely high pressures can be induced upon the work piece through various fluids without damage to the substrate, allowing the system to utilize the viscous nature of fluids to accomplish the desired cleaning, drying, coating, etching or baking. The process also allows for simultaneous and immediately sequential ordering of processes.

Abstract translation: 一种用于清洗，干燥，涂覆，烘烤蚀刻和沉积玻璃基板上的表面的方法和装置，因为其在水力静力多孔介质轴承之间经过并且在小间隙之间转变。 由于设备的非接触性质，可以通过各种流体在工件上引起非常高的压力而不损坏基板，从而允许系统利用流体的粘性来实现所需的清洁，干燥，涂覆，蚀刻 或烘焙。 该过程还允许同时且立即顺序排序过程。

公开(公告)号：WO2013103732A3

公开(公告)日：2013-09-26

申请号：PCT/US2013020162

申请日：2013-01-03

Applicant: NEW WAY MACHINE COMPONENTS INC

Inventor： DEVITT ANDREW

IPC: F16J15/447 ,  F16C33/80

CPC classification number: F16C32/0685 ,  F16C11/0666 ,  F16C23/04 ,  F16C32/0603 ,  F16C32/0618 ,  F16C32/067 ,  F16C32/0677 ,  F16C32/0692 ,  F16C33/748 ,  F16C2202/10 ,  F16J15/342

Abstract: In order to effect a seal; a porous material which comprises one side of two opposing surfaces is used to restrict and evenly distribute externally pressurized gas, liquid, steam, etc. between the two surfaces, exerting a force which is opposite the forces from pressure differences or springs trying to close the two faces together and so may create a non contact seal that is more stable and reliable than hydrodynamic seals currently in use.

Abstract translation: 为了实现印章; 使用包括两个相对表面中的一侧的多孔材料来限制并均匀分配两个表面之间的外部加压的气体，液体，蒸汽等，施加与来自压力差的力相反的力或试图关闭 两个面在一起，因此可以产生非接触式密封，其比目前使用的流体动力密封更稳定和可靠。

公开(公告)号：WO2013103732A2

公开(公告)日：2013-07-11

申请号：PCT/US2013/020162

申请日：2013-01-03

Applicant: NEW WAY MACHINE COMPONENTS, INC.

Inventor： DEVITT, Andrew

IPC: F16J15/447 ,  F16C33/80

CPC classification number: F16C32/0685 ,  F16C11/0666 ,  F16C23/04 ,  F16C32/0603 ,  F16C32/0618 ,  F16C32/067 ,  F16C32/0677 ,  F16C32/0692 ,  F16C33/748 ,  F16C2202/10 ,  F16J15/342

Abstract: In order to effect a seal; a porous material which comprises one side of two opposing surfaces is used to restrict and evenly distribute externally pressurized gas, liquid, steam, etc. between the two surfaces, exerting a force which is opposite the forces from pressure differences or springs trying to close the two faces together and so may create a non contact seal that is more stable and reliable than hydrodynamic seals currently in use.

Abstract translation: 为了进行印章; 使用包括两个相对表面的一侧的多孔材料来限制并均匀分布在两个表面之间的外部加压气体，液体，蒸汽等，施加与压力差的力相反的力或试图关闭压力的弹簧 两个面在一起，因此可能产生比目前使用的流体动力密封件更稳定和可靠的非接触密封。

公开(公告)号：WO99066221A1

公开(公告)日：1999-12-23

申请号：PCT/JP1999/003077

申请日：1999-06-09

IPC: F16C29/02 ,  F16C32/06 ,  H01J37/20 ,  H01L21/68 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01L21/6838 ,  F16C29/025 ,  F16C32/06 ,  F16C32/0603 ,  F16C33/748 ,  F16C2300/62 ,  H01J37/20 ,  H01L21/68

Abstract: A static pressure gas bearing, stage device, and optical device, in which a gas layer is provided between relatively movable two members (fixed part and movable part) and maintained at a specified distance; specifically, a static pressure gas bearing, a stage device, and an optical device capable of reducing the size of devices and easily laying out piping, wherein the static pressure gas bearing comprises a fixed part (4) and a movable part (3) installed movably along the fixed part (4) and a space between the fixed part (4) and the movable part (3) is maintained at a specified distance by the gas layer between the fixed part (4) and the movable part (3), the movable part (3) comprises bearing pads (3a) to feed gas into the gas layer between the movable part (3) and the fixed part (4) and discharge grooves (3c) to discharge gas fed by the bearing pads (3a), and the fixed part (4) comprises discharge ports (4a) provided at positions opposite to the discharge grooves (3c).

Abstract translation: 一种静压气体轴承，平台装置和光学装置，其中气体层设置在相对移动的两个构件（固定部分和可动部分）之间并保持在特定距离处; 具体地，静压气体轴承，平台装置和能够减小装置尺寸并容易铺设管道的光学装置，其中静压气体轴承包括固定部分（4）和可移动部分（3） 可移动地沿固定部分（4）移动，并且固定部分（4）和可移动部分（3）之间的空间通过固定部分（4）和可移动部分（3）之间的气体层保持在特定的距离， 可移动部分（3）包括用于将气体输送到可移动部分（3）和固定部分（4）之间的气体层中的轴瓦（3a）和排放槽（3c）以排放由轴承瓦片（3a）供给的气体， 并且固定部分（4）包括设置在与排出槽（3c）相对的位置处的排出口（4a）。