公开(公告)号：WO2021190759A1

公开(公告)日：2021-09-30

申请号：PCT/EP2020/058634

申请日：2020-03-26

Applicant: ADVANTEST CORPORATION ,  MOREIRA, José ,  ZHANG, Zhan ,  WERKMANN, Hubert ,  PIZZA, Fabio ,  MAZZUCCHELLI, Paolo

Inventor： MOREIRA, José ,  ZHANG, Zhan ,  WERKMANN, Hubert ,  PIZZA, Fabio ,  MAZZUCCHELLI, Paolo

IPC: G01R31/28 ,  G01R1/04 ,  G01R1/067 ,  G01R31/311 ,  G01R1/0416 ,  G01R1/06772 ,  G01R1/07314 ,  G01R31/2834 ,  G01R31/2884 ,  G01R31/2889

Abstract: Test arrangement for testing high-frequency components, particularly Silicon Photonics Devices Under Test The invention relates to a probe card (PC) for use with an automatic test equipment (ATE), wherein the probe card (PC) comprises a probe head (PH) on a first side thereof, and wherein the probe card (PC) is adapted to be attached to an interface (IF) and wherein the probe card (PC) comprises a plurality of contact pads on a second side in a region opposing at least a region of the interface (IF), arranged to contact a plurality of contacts of the interface (IF), and wherein the probe card (PC) comprises one or more coaxial connectors (CCPT) arranged to mate with one or more corresponding coaxial connectors (CCPT) of the interface (IF). The invention relates further to pogo tower (PT) for connecting a wafer probe interface (WPI) of an automatic test equipment with the probe card (PC). Additionally, the invention relates to a method for testing a device under test using an automatic test equipment (ATE) with such a pogo tower (PT).

公开(公告)号：WO2021062117A1

公开(公告)日：2021-04-01

申请号：PCT/US2020/052668

申请日：2020-09-25

Applicant: ADVANCED MICRO DEVICES, INC.

Inventor： RAVIKUMAR, Venkat Krishnan ,  CHIN, Jiann Min ,  WEI, Joel Yang Kwang ,  LEONG, Pey Kin

IPC: G01R1/07 ,  G01R31/311 ,  G01R31/317

Abstract: A reconfigurable optic probe is used to measure signals from a device under test. The reconfigurable optic probe is positioned at a target probe location within a cell of the device under test. The cell including a target net to be measured and non-target nets. A test pattern is applied to the cell and a laser probe (LP) waveform is obtained in response. A target net waveform is extracted from the LP waveform by: i) configuring the reconfigurable optic probe to produce a ring-shaped beam having a relatively low-intensity region central to the ring-shaped beam; (ii) re-applying the test pattern to the cell at the target probe location with the relatively low-intensity region applied to the target net and obtaining a cross-talk LP waveform in response; (iii) normalizing the cross-talk LP waveform; and (iv) determining a target net waveform by subtracting the normalized cross-talk LP waveform from the LP waveform.

公开(公告)号：WO2019029765A9

公开(公告)日：2019-02-14

申请号：PCT/DE2018/100642

申请日：2018-07-13

Applicant: JENOPTIK OPTICAL SYSTEMS GMBH

Inventor： GNAUSCH, Tobias ,  BÜTTNER, Robert ,  KADEN, Thomas ,  JUHASZ, Thomas ,  GRUNDMANN, Armin ,  VON FREYHOLD, Thilo

IPC: G01R31/28 ,  G01R31/311 ,  G02B6/43 ,  H04B10/80

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Kontaktierungsmodul (1), mittels dem die individuellen elektrischen und optischen Ein- und Ausgänge (A oC ) von optoelektronischen Chips (2) mit den gerätespezifischen elektrischen und optischen Ein- und Ausgängen einer Testapparatur verbunden werden. Es zeichnet sich durch eine vergleichsweise hohe Justierinsensibilität der optischen Kontakte zwischen den Chips (2) und dem Kontaktierungsmodul (1) aus, die z. B. durch technische Maßnahmen erreicht wird, die dazu führen, dass die optischen Eingänge (Ε oK ) des Chips (2) oder am Kontaktierungsmodul (1) in jeder möglichen Justierlage von dem jeweils einzukoppelnden optischen Signal (S o ) überstrahlt werden.

公开(公告)号：WO2018000495A1

公开(公告)日：2018-01-04

申请号：PCT/CN2016/092256

申请日：2016-07-29

Applicant: 中国科学院深圳先进技术研究院

Inventor： 李慧云 ,  邵翠萍 ,  刘玢玢

IPC: G01R31/311

CPC classification number: G01R31/311

Abstract: 一种芯片单粒子效应探测方法及装置，其中方法包括：将待测芯片放入测试机台，触发待测芯片产生单粒子效应；随机关断待测芯片的扫描寄存器，形成随机观测矩阵；向待测芯片提供输入测试向量，获得待测芯片的输出测试向量，根据输出测试向量获得错误总数向量；对错误总数向量进行压缩感知信号重构，确定待测芯片内部敏感区域。可以高效、便捷地对芯片单粒子效应进行探测。

公开(公告)号：WO2017134057A1

公开(公告)日：2017-08-10

申请号：PCT/EP2017/052065

申请日：2017-01-31

Applicant: CENTRE NATIONAL D'ETUDES SPATIALES ,  UNIVERSITÉ DE BOURGOGNE

Inventor： BOSCARO, Anthony ,  JACQUIR, Sabir ,  BINCZAK, Stéphane ,  SANCHEZ, Kevin ,  PERDU, Philippe

IPC: G06F17/14 ,  G01R1/07 ,  G01R31/308 ,  G01R31/311

CPC classification number: G06F17/148 ,  G01R1/071 ,  G01R31/308 ,  G01R31/311

Abstract: L'invention concerne un procédé et un dispositif de reconstruction d'un signal utile à partir d'un signal acquis composé d'une pluralité d'échantillons représentatifs de grandeurs physiques mesurées, le signal acquis comportant ledit signal utile bruité par un bruit, mis en œuvre par un processeur d'un dispositif programmable. Le procédé comporte une décomposition (32) du signal acquis sur une base de décomposition en ondelettes prédéterminée, selon un nombre de niveaux de décomposition donné, et l'obtention de coefficients d'ondelettes représentatifs dudit signal acquis correspondants, une estimation (42, 44) d'une valeur représentative de l'écart-type dudit bruit à partir d'au moins une partie des coefficients d'ondelettes, et une mise en œuvre (34) d'une méthode itérative de reconstruction de signaux parcimonieux sur le signal acquis, avec un dictionnaire construit à partir de la base de décomposition en ondelettes, ladite méthode itérative ayant un critère d'arrêt associé, le critère d'arrêt étant calculé (50) en fonction de la valeur représentative du bruit estimée.

Abstract translation:

本发明涉及一种方法 以及用于重建有用信号的设备。 从化合物获得信号; 大量的; 所测量的物理量的代表性样本，所获取的信号包括所述有用信号噪声; 通过噪声，由可编程设备的处理器实现。 d＆oacute的过程; 包括根据给定数量的合成级别，在预定小波构成基础上获取的信号的合成（32），并且获得表示的小波系数 感知所述对应的获取信号，估计所述噪声的类型的代表值（42,44）; 根据所述小波系数的至少一部分以及利用内置字典重建所述采集信号上的简约信号的迭代方法的实现（34） 所述随机方法具有与其相关的停止标准，即所计算的停止标准; （50）取决于估计噪声的代表值。

公开(公告)号：WO2015030619A1

公开(公告)日：2015-03-05

申请号：PCT/RO2014/000022

申请日：2014-08-26

Applicant: INSTITUTUL NATIONAL DE CERCETARE - DEZVOLTARE PENTRU FIZICA LASERILOR, PLASMEI SI RADIAŢIEI

Inventor： GANCIU-PETCU, Mihai ,  PISO, Marius-Ioan ,  STOICAN, Ovidiu-Sorin ,  MIHALCEA, Bogdan-Vasile ,  DIPLAŞU, Constantin ,  MARGHITU, Octav ,  JULEA, Andreea-Maria ,  SURMEIAN, Agavni ,  GROZA, Andreea-Liliana ,  DABU, Răzvan-Victor-Anton ,  MORJAN, Ison

IPC: G01R31/28 ,  G01R31/311 ,  G01R31/317 ,  H05H15/00

CPC classification number: H05H7/00 ,  G01R31/311 ,  H05H2007/008

Abstract: The patent application refers to a system and method to test components, circuits and complex equipment, used in order to determine the effect of an external particle flux and of radiation, with different energies, upon the characteristics and operating parameters and, if applicable, upon the program which controls the operation of components, circuits and complex equipment located on-board satellites, space ships or planes flying at high altitudes, that may be part of control systems for nuclear reactors or particle accelerators, intended for handling nuclear materials or waste, or used in areas exposed to nuclear accidents. We suggest a method to generate two or more pulsed fluxes of particles, that can eventually be associated with the emission of gamma or X ray radiation, characterized by specific space configurations, with an aim to use them to perform radiation hardening tests on components and complex systems (intended to operate in outer space or in very demanding environments such as nuclear plants or particle accelerators). According to the patent application, the system is made out of at least two separate laser- plasma particle accelerators (3, 4), placed in different locations with respect to the subsystem (1) under test, fixed on the holder system (2) which is able to rotate and translate, horizontally and vertically, so that the incident particle fluxes (5 and 6) can be applied under different optical angles and to different areas of the subsystem (1). Depending on their design, the laser-plasma accelerators (3 and 4) generate at least two pulsed fluxes of accelerated particles (5 and 6) that may contain identical or different types of particles, by applying incident laser pulses (9 and 10) delivered by two separate high power lasers (7 and 8). The laser beam (9) generated by the high power laser (7) is guided by a mirror (11) towards a parabolic mirror (13) that focuses the beam at the input of a laser-plasma accelerator (3). The laser beam (10) delivered by the high power laser (8), is guided by a mirror (12) towards a parabolic mirror (14), that focuses the beam at the input of another laser-plasma accelerator (4). According to the patent application, the method consists of a calibration procedure and the determination of the operating parameters of the subsystem (1) under test, i) in absence of particle fluxes (5 and 6), ii) in presence of particle fluxes (5 and 6), and iii) after applying the particle fluxes (5 and 6) to the subsystem (1).

Abstract translation: 专利申请是指测试组件，电路和复杂设备的系统和方法，用于确定具有不同能量的外部粒子通量和辐射的影响， 操作参数以及适用于控制位于机载卫星，航天器或高空飞行的飞机上的部件，电路和复杂设备的操作的程序（可能是核反应堆或粒子加速器的控制系统的一部分） 用于处理核材料或废物，或用于暴露于核事故的地区。 我们建议一种产生两个或更多脉冲通量的粒子的方法，这些通量可能最终与伽玛射线或X射线辐射的发射相关联，其特征在于特定的空间配置，目的是用它们对组件和复合物执行辐射硬化测试 系统（打算在外太空或诸如核电站或粒子加速器等非常苛刻的环境中运行）。 根据该专利申请，该系统由至少两个独立的激光等离子体粒子加速器（3,4）制成，该激光等离子体粒子加速器相对于被测子系统（1）放置在不同的位置，固定在支架系统（2）上， 它能够水平和垂直旋转和平移，使得入射粒子通量（5和6）可以在不同的光学角度下应用到子系统（1）的不同区域。 根据它们的设计，激光等离子体加速器（3和4）通过施加入射的激光脉冲（9和10）产生至少两个可能包含相同或不同类型的粒子的加速粒子（5和6）的脉冲通量 通过两个独立的高功率激光器（7和8）。 由高功率激光器（7）产生的激光束（9）由反射镜（11）引向抛物面反射镜（13），该反射镜将激光束聚焦在激光等离子体加速器（3）的输入端。 由高功率激光器（8）传送的激光束（10）由镜子（12）引向抛物面镜（14），该抛物面镜将光束聚焦在另一激光等离子体加速器（4）的输入处。 根据专利申请，该方法包括校准程序和测试中子系统（1）的操作参数的确定，i）不存在颗粒通量（5和6），ii）存在颗粒通量（ 5和6），和iii）在将子通量（5和6）施加到子系统（1）之后。

公开(公告)号：WO2013188046A1

公开(公告)日：2013-12-19

申请号：PCT/US2013041468

申请日：2013-05-16

Applicant: DCG SYSTEMS INC ,  VEDAGARBHA PRAVEEN ,  REID DERRYCK ,  SERRELS KEITH ,  VICKERS JAMES S

Inventor： VEDAGARBHA PRAVEEN ,  REID DERRYCK ,  SERRELS KEITH ,  VICKERS JAMES S

IPC: G01R31/311

CPC classification number: G01R31/311 ,  G01R31/31725

Abstract: A pulsed-laser LADA system is provided, which utilizes temporal resolution to enhance spatial resolution. The system is capable of resolving CMOS pairs within the illumination spot using synchronization of laser pulses with the DUT clock. The system can be implemented using laser wavelength having photon energy above the silicon bandgap so as to perform single- photon LADA or wavelength having photon energy below the silicon bandgap so as to generate two-photon LADA. The timing of the laser pulses can be adjusted using two feedback loops tied to the clock signal of an ATE, or by adjusting the ATE's clock signal with reference to a fixed- pulse laser source.

Abstract translation: 提供了脉冲激光LADA系统，其利用时间分辨率来增强空间分辨率。 该系统能够利用激光脉冲与DUT时钟的同步来分辨照明点内的CMOS对。 可以使用具有高于硅带隙的光子能量的激光波长来实现该系统，以便执行具有低于硅带隙的光子能量的单光子LADA或波长，以便产生双光子LADA。 可以使用连接到ATE的时钟信号的两个反馈回路来调整激光脉冲的时序，或者通过参考固定脉冲激光源调整ATE的时钟信号。

公开(公告)号：WO2009044058A2

公开(公告)日：2009-04-09

申请号：PCT/FR2008/051593

申请日：2008-09-05

Applicant: EUROPEAN AERONAUTIC DEFENCE AND SPACE COMPANY EADS FRANCE ,  BUARD, Nadine ,  MILLER, Florent ,  HEINS, Patrick ,  CARRIERE, Thierry

Inventor： BUARD, Nadine ,  MILLER, Florent ,  HEINS, Patrick ,  CARRIERE, Thierry

IPC: G01R31/28 ,  G01R31/02 ,  G01R31/311 ,  G01R31/30

CPC classification number: G01R31/2881 ,  G01R31/002 ,  G01R31/2849 ,  G01R31/2853 ,  G01R31/30 ,  G01R31/311

Abstract: Procédé de caractérisation des conditions d'utilisation d'un composant électronique permettant de limiter sa sensibilité aux interactions énergétiques. On mesure le comportement d'un composant soumis à un rayonnement laser pulsé. On détermine pour quelles valeurs de polarisation, de fréquence et de température(ou autres conditions d'utilisation), ce composant y est sensible en détectant un défaut transitoire ou permanent de fonctionnement du composant. Si nécessaire, on empêche que les courants parasites produits ne détruisent, au moment de ces tests, le composant testé. On en déduit une susceptibilité du composant aux interactions énergétiques et les conditions préférables de fonctionnement de ce composant.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于表征电子部件的操作条件的方法，其允许其敏感性受限于能量相互作用。 测量经受脉冲激光辐射的部件的行为。 通过检测组件操作中的暂时性或永久性故障来确定组件敏感的极化频率和温度（或其他工作条件）的值。 如果需要，可以防止在测试时产生的寄生电流破坏测试组件。 推导出组件对能量相互作用的敏感性和组件的优选操作条件。

公开(公告)号：WO2008086282A3

公开(公告)日：2008-09-12

申请号：PCT/US2008050397

申请日：2008-01-07

Applicant: KLA TENCOR CORP ,  PARK ALLEN ,  ROSE PETER ,  CHANG ELLIS ,  DUFFY BRIAN ,  MCCORD MARK ,  ABBOTT GORDON

Inventor： PARK ALLEN ,  ROSE PETER ,  CHANG ELLIS ,  DUFFY BRIAN ,  MCCORD MARK ,  ABBOTT GORDON

IPC: G01N21/95 ,  G01N21/956 ,  G01R31/307 ,  G01R31/311 ,  G03F7/20 ,  G06T7/20 ,  H01L21/66

CPC classification number: G06T7/0004 ,  G01N21/8851 ,  G01N21/956 ,  G01R31/2894 ,  G06T2207/30148

Abstract: Various methods and systems for using electrical information for a device being fabricated on a wafer to perform one or more defect-related functions are provided. One computer-implemented method includes using electrical information for a device being fabricated on a wafer to perform one or more defect-related functions. The one or more defect-related functions include one or more post-mask, defect-related functions.

Abstract translation: 提供了用于将电信息用于在晶圆上制造的器件以执行一个或多个缺陷相关功能的各种方法和系统。 一种计算机实现的方法包括使用电信息来制造在晶片上制造的器件以执行一个或多个缺陷相关功能。 一个或多个缺陷相关功能包括一个或多个后掩模，缺陷相关功能。

公开(公告)号：WO2008062341A1

公开(公告)日：2008-05-29

申请号：PCT/IB2007/054609

申请日：2007-11-13

Applicant: NXP B.V. ,  GOOSSENS, Martijn

Inventor： GOOSSENS, Martijn

IPC: G01R31/311

CPC classification number: G01R31/311

Abstract: A method is disclosed for optically inspecting an integrated circuit (IC) comprising a plurality of semiconductor devices (20) on a first surface of a substrate (10) through a lens (310, 410) in or on an area (40) of a further surface of the substrate (10) opposite the first surface. The method comprises a first step of reducing the thickness of the area (40) such that the area, at least when equipped with the lens (310, 410), has an increased transmittance for light having a predefined wavelength, preferably light having a wavelength in the range of 450-700 nm. In a next step, the lens (310, 410) is placed in or on said area (40). The lens may be formed in said area, or may be a separate lens placed on said area. Finally, a subset of the plurality of semiconductor devices (20) is inspected through the lens (310, 410). The method of the present invention has the advantage that, because of the relationship between optical resolution and light wavelength, a better resolution can be obtained when inspecting the IC.

Abstract translation: 公开了一种用于通过透镜（310,410）在基板（10）的第一表面上或其上的透镜（310,410）光学地检查包括多个半导体器件（20）的集成电路（IC）的方法， 所述基板（10）的与所述第一表面相对的另一表面。 该方法包括减小区域（40）的厚度的第一步骤，使得至少当配备有透镜（310,410）时，具有预定波长的光具有增加的透射率的区域，优选具有波长 在450-700nm的范围内。 在下一步骤中，将透镜（310,410）放置在所述区域（40）中或上述区域（40）上。 透镜可以形成在所述区域中，或者可以是放置在所述区域上的单独透镜。 最后，通过透镜（310,410）检查多个半导体器件（20）的子集。 本发明的方法的优点在于，由于光学分辨率和光波长之间的关系，在检查IC时可以获得更好的分辨率。