公开(公告)号：WO2015042304A1

公开(公告)日：2015-03-26

申请号：PCT/US2014/056380

申请日：2014-09-18

申请人： APPLIED MATERIALS, INC.

发明人： WHITE, John M. ,  WANG, Zuoqian

IPC分类号： C23C16/00 ,  B65G49/05 ,  C23C14/00

CPC分类号： H01L21/6833 ,  C23C14/042 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  C23C14/50 ,  C23C14/541 ,  C23C14/562 ,  C23C16/042 ,  C23C16/345 ,  C23C16/401 ,  C23C16/45578 ,  C23C16/4587 ,  C23C16/463 ,  C23C16/545 ,  F26B3/00 ,  F27B1/08 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6732 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/67718 ,  H01L21/67742 ,  H05B3/03

摘要： A substrate carrier adapted to use in a processing system includes an electrode assembly and a support base. The electrode assembly is configured to generate an electrostatic chucking force for securing a substrate to the substrate carrier. The support base has a heating/cooling reservoir formed therein. The electrode assembly and the support base form an unitary body configured for transport within a processing system. A quick disconnect is coupled to the body and configured to trap a heat regulating medium in the reservoir heating/cooling reservoir when the body is decoupled from a source of heat regulating medium.

摘要翻译： 适用于处理系统的基板载体包括电极组件和支撑基座。 电极组件被配置为产生用于将基板固定到基板载体的静电吸附力。 支撑底座中形成有加热/冷却储存器。 电极组件和支撑底座形成配置用于在处理系统内运输的单体。 快速断开装置连接到本体上，并且构造成当本体与热调节介质源分离时，将热调节介质收集在贮存器加热/冷却贮存器中。

公开(公告)号：WO2014155006A1

公开(公告)日：2014-10-02

申请号：PCT/FR2014/050709

申请日：2014-03-26

申请人： VIT

发明人： WOLF, Christian

IPC分类号： B65G15/12 ,  B65G15/64 ,  H01L21/677

CPC分类号： B65G15/12 ,  B65G15/32 ,  B65G15/64 ,  H01L21/67706 ,  H05K13/0061

摘要： L'invention concerne une installation de convoyage avec courroie (2) de convoyage comportant, en section transversale, un cran (222) au niveau d'un bord supérieur de la courroie. L'installation comporte avantageusement deux courroies (2) qui supportent les objets à transporter, en particulier des cartes électroniques.

摘要翻译： 本发明涉及一种具有传送带（2）的输送机单元，其包括在该带的上边缘中的一个凹槽（222）的横截面。 有利地，该单元包括支撑要运输的物体，特别是电子板的两个带（2）。

公开(公告)号：WO2014092204A1

公开(公告)日：2014-06-19

申请号：PCT/JP2013/083999

申请日：2013-12-12

申请人： 東京エレクトロン株式会社

发明人： 廣木　勤 ,  中山　剛宏

IPC分类号： H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31

CPC分类号： H01L21/67706 ,  B25J11/0095 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/67742

摘要： 　搬送される基板の位置を正確に調整し、搬送基台内の他の機器の熱による破損を防止し、搬送基台内の他の機器の電力不足を防止し、且つ搬送基台を円滑に移動させることができる搬送システムを提供する。基板処理システム１０は、搬送室Ｓと、搬送室Ｓの内部を移動するスライドボックス１７とを備えるとともに複数のプロセスモジュール１３が接続され、スライドボックス１７は、ウエハＷを移動させる搬送アーム２１と、該搬送アーム２１を駆動させるサーボモータ２３と、該サーボモータ２３へ供給される電力を制御するサーボモータドライバ２４とを備え、サーボモータドライバ２４を制御するサーボモータコントローラ２５がスライドボックス１７以外の場所であるトランスファモジュール１２の外に配置され、サーボモータドライバ２４及びサーボモータコントローラ２５は光通信を行う。

摘要翻译： 提供了正确地调整被输送的基板的位置的输送系统，防止由输送基座中的其他装置的热量引起的损坏，防止输送基座中的其他装置的电力不足，并且可以平稳地移动输送台。 基板处理系统（10）设置有在输送室（S）内移动的输送室（S）和滑动箱（17）。 多个处理模块（13）连接，滑动箱（17）设有：移动晶片（W）的输送臂（21）; 移动所述输送臂（21）的伺服马达（23）。 以及控制提供给伺服电动机（23）的电力的伺服电机驱动器（24）。 控制伺服电动机驱动器（24）的伺服电动机控制器（25）配置在与滑动箱（17）以外的位置的转移模块（12）的外侧，伺服电动机驱动器（24）和伺服电动机 控制器（25）执行光通信。

公开(公告)号：WO2013161375A1

公开(公告)日：2013-10-31

申请号：PCT/JP2013/054986

申请日：2013-02-26

申请人： 株式会社IHI

发明人： 王　鵬 ,  松尾　研吾 ,  和田　芳幸

IPC分类号： B65G49/06 ,  H01L21/677

CPC分类号： B65G49/065 ,  B65G2249/045 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67784

摘要： 　対象物を気体により浮上させて第１の方向へ搬送するための搬送装置は、前記気体を噴出して前記対象物に与圧することにより前記対象物を浮上させる浮上部と、前記第１の方向に延びた無端のベルトであって前記対象物に接触するべく突出した複数の突起を備えたベルトおよび、前記第１の方向に回転可能であって前記第１の方向に配列された複数のローラのうち、少なくとも一方を備えた搬送部であって、前記対象物に接触して前記第１の方向へ駆動するべく構成された搬送部と、前記搬送部を覆い、前記複数の突起または前記複数のローラのそれぞれ上端のみを突出させたカバーと、前記カバー内に負圧を与えて前記対象物を前記搬送部に接触せしめる吸引部と、を備える。

摘要翻译： 这种用于通过气体使物体浮起来沿第一方向输送被检体的输送装置设置有：漂浮单元，其通过喷射气体并赋予压力而使被检体浮起 对主题; 输送单元，其设置有可沿第一方向旋转并沿第一方向排列的多个辊，和/或带，其是在第一方向上延伸的环形带，并且设置有多个突起 突出以便接触对象，所述输送单元被配置为以与所述对象接触并且沿所述第一方向驱动所述对象的方式; 覆盖所述输送单元并且允许仅突出所述多个突起或所述多个辊中的每一个的顶端的盖; 以及向所述盖的内部施加负压的吸引单元，使所述被检体与所述输送单元接触。

公开(公告)号：WO2013159383A1

公开(公告)日：2013-10-31

申请号：PCT/CN2012/075157

申请日：2012-05-08

申请人： 深圳市华星光电技术有限公司 ,  朱二庆 ,  吴俊豪 ,  林昆贤 ,  李贤德 ,  杨卫兵 ,  郭振华

发明人： 朱二庆 ,  吴俊豪 ,  林昆贤 ,  李贤德 ,  杨卫兵 ,  郭振华

IPC分类号： B65G49/06

CPC分类号： B65G49/064 ,  H01L21/67706

摘要： 一种液晶面板搬运方法及搬运装置，所述液晶面板搬运方法包括以下步骤：步骤1、提供搬运装置，该搬运装置包括本体（10）、安装于本体上的直线导轨（20）、依次安装于直线导轨上的数个叉片（30）、及安装于本体上的伺服马达（40），该伺服马达与数个叉片连接，驱动该数个叉片于直线导轨上滑动；步骤2、根据待搬运的液晶面板尺寸，调节数个叉片之间的间距；步骤3、操作搬运装置将叉片插至待搬运的液晶面板的下方，进而将该待搬运的液晶面板承载于该数个叉片上；步骤4、操作搬运装置将待搬运的液晶面板运送到指定位置。本发明适用于不同尺寸的液晶面板的搬运，减少了换线时间，且保证了液晶面板在搬运过程中受力的均匀性，避免了由于受力不均而导致的变形及破片的现象，同时还适用于超薄液晶面板的搬运。

公开(公告)号：WO2012125572A4

公开(公告)日：2013-10-03

申请号：PCT/US2012028790

申请日：2012-03-12

申请人： BROOKS AUTOMATION INC ,  GILCHRIST ULYSSES ,  CAVENEY ROBERT T ,  KRISHNASAMY JAYARAMAN ,  DREW MITCHELL ,  MOURA JAIRO T

发明人： GILCHRIST ULYSSES ,  CAVENEY ROBERT T ,  KRISHNASAMY JAYARAMAN ,  DREW MITCHELL ,  MOURA JAIRO T

IPC分类号： B25J9/04

CPC分类号： H01L21/67706 ,  B25J9/042 ,  B25J9/043 ,  B25J11/0095 ,  B25J18/04 ,  H01L21/67742 ,  Y10S901/15 ,  Y10S901/27 ,  Y10T74/20305 ,  Y10T74/20329

摘要： A substrate processing apparatus including a frame, a first SCARA arm connected to the frame, including an end effector, configured to extend and retract along a first radial axis; a second SCARA arm connected to the frame, including an end effector, configured to extend and retract along a second radial axis, the SCARA arms having a common shoulder axis of rotation; and a drive section coupled to the SCARA arms is configured to independently extend each SCARA arm along a respective radial axis and rotate each SCARA arm about the common shoulder axis of rotation where the first radial axis is angled relative to the second radial axis and the end effector of a respective arm is aligned with a respective radial axis, wherein each end effector is configured to hold at least one substrate and the end effectors are located on a common transfer plane.

摘要翻译： 1。一种基板处理装置，其特征在于，具备：框架;第一SCARA臂，其与所述框架连接，且具有末端执行器，该第一SCARA臂被构成为沿着第一径向轴延伸并缩回; 连接到所述框架的第二SCARA臂，所述第二SCARA臂包括端部执行器，所述第二SCARA臂被配置为沿着第二径向轴线延伸和缩回，所述SCARA臂具有共同的肩部旋转轴线; 并且连接到所述SCARA臂的驱动部分被配置为沿着相应的径向轴线独立地延伸每个SCARA臂并且围绕所述共同肩部旋转轴线旋转每个SCARA臂，其中所述第一径向轴线相对于所述第二径向轴线成角度， 相应的臂的效应器与相应的径向轴线对齐，其中每个端部执行器构造成保持至少一个基板并且末端执行器位于共同的传送平面上。

公开(公告)号：WO2012140801A1

公开(公告)日：2012-10-18

申请号：PCT/JP2011/074987

申请日：2011-10-28

申请人： 株式会社アルバック ,  大野 哲宏 ,  佐藤 重光 ,  大空 弘樹 ,  佐藤 善勝 ,  松岡 隆滋

发明人： 大野　哲宏 ,  佐藤　重光 ,  大空　弘樹 ,  佐藤　善勝 ,  松岡　隆滋

IPC分类号： H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  C23C14/50

CPC分类号： B65G49/063 ,  B65G49/061 ,  B65G2249/02 ,  C23C14/50 ,  C23C14/56 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67709 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/6776

摘要： 　円柱状のスライドシャフトを下部に備え、被処理体を運ぶ搬送部材と、前記スライドシャフトと接して、前記搬送部材を誘導するＵ字状の溝部を備えた、複数のローラーからなる支持部材と、を備える被処理体の搬送機構であって、前記スライドシャフト及び前記ローラーのうちの一方の少なくとも接触部が、シリコン、アルミニウム、酸素、および窒素を含むバルク体から構成され、前記スライドシャフト及び前記ローラーのうちの他方の少なくとも接触部が、ステンレス鋼から構成されている。

摘要翻译： 本发明提供一种用于被处理物品的输送机构，其特征在于，包括：输送部件，其下部具有圆柱形滑动轴，并承载被加工物品; 以及包括多个辊的支撑构件，其设置有用于引导输送构件的U形槽。 至少滑动轴或滚筒的接触部分由包括硅，铝，氧和氮的本体组成，至少滑动轴或滚子中的另一个的接触部分由不锈钢制成。

公开(公告)号：WO2012117327A1

公开(公告)日：2012-09-07

申请号：PCT/IB2012/050885

申请日：2012-02-27

申请人： REC WAFER NORWAY AS ,  HOMAYONIFAR, Pouria

发明人： HOMAYONIFAR, Pouria

IPC分类号： G01N3/20 ,  G01N3/26 ,  H01L21/66

CPC分类号： G01N3/20 ,  G01N3/26 ,  G01N2203/0282 ,  H01L21/67253 ,  H01L21/67271 ,  H01L21/67706 ,  H01L22/12

摘要： Disclosed is a module for in-line identification of weak items (14) of sheet material as they pass along a moving line of such items, including provision (17, 18) to apply twist to the items as they pass along the line by applying bending in two generally diagonal directions, in which the applied degree of twist is such that it will not crack items with sufficient strength to provide acceptable products, so that after satisfactorily resisting the applied twist, acceptable wafers continue along the moving line, and after breakage or cracking unacceptable wafers can be removed from the line.

摘要翻译： 公开了一种用于对片材材料的弱物品（14）进行在线识别的模块，当它们通过这些物品的移动线时，包括提供（17,18）在物品通过时通过施加扭曲 在两个大致对角线方向上弯曲，其中施加的扭转程度使得其不会以足够的强度裂开物品以提供可接受的产品，使得在令人满意地抵抗所施加的扭转之后，可接受的晶片沿着移动线继续，并且在断裂之后 或破裂不可接受的晶片可以从管线上移除。

公开(公告)号：WO2012056893A1

公开(公告)日：2012-05-03

申请号：PCT/JP2011/073512

申请日：2011-10-13

申请人： タツモ株式会社 ,  月本浩明 ,  池田早人

发明人： 月本浩明 ,  池田早人

IPC分类号： H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  B65H1/28 ,  B65H3/12

CPC分类号： H01L21/67706 ,  H01L21/67778

摘要： 　カセット内の単一の収納部に複数枚のワークが収納された場合でも、搬送装置に１枚ずつワークを供給することができ、搬送中のワークに対する処理を適正に行うことができるようにする。　ワーク供給装置（１０）に、カセット（１）、昇降機構（２）、第１搬出部材（３）、第２搬出部材（４）を設けた。カセット（１）は、シート状のワークを収納する複数の収納部（１１）を上下方向に多段に積層して配置している。昇降機構（２）は、上下方向について複数の収納部（１１）のそれぞれの位置が搬送面の位置に順次一致するようにカセット（１）を下降又は上昇させる。第１搬出機構（３）は、単一の収納部（１１）のワークを底面側から第１の方向Ｘに沿って搬出する。第２搬出機構（４）は、第１搬出部材（３）が搬出したワークを上面側から第１の方向に直交する第２の方向Ｙに沿って搬入位置へ搬出する。

摘要翻译： 本发明能够一次将工件一次性地供给到输送装置，即使在盒体内的一个容纳单元中容纳多张工件的情况下，也可以对进行搬运的工件进​​行适当的处​​理。 工件供给装置（10）设置有盒（1），升降机构（2），第一转印部件（3）和第二转印部件（4）。 盒（1）包括多个容纳单元（11），其中容纳有工件，并且容纳单元布置成沿上下方向堆叠的多层。 提升/降低机构（2）降低或提升盒（1），使得多个容纳单元（11）中的每个位置沿上下方向移动，顺序地与输送表面的位置一致。 第一传送机构（3）沿着第一方向（X）从下表面侧将工件传送到单个容纳单元（11）中。 第二传送机构（4）从第一传送机构（3）沿着第二方向（Y）从上表面侧传送工件。

公开(公告)号：WO2012046360A1

公开(公告)日：2012-04-12

申请号：PCT/JP2011/001727

申请日：2011-03-24

申请人： 川崎重工業株式会社 ,  久下 守正 ,  田中 秀幸 ,  辻田 京史 ,  高原 一典

发明人： 久下　守正 ,  田中　秀幸 ,  辻田　京史 ,  高原　一典

IPC分类号： H01L21/677 ,  B24B9/00 ,  B24B9/10 ,  B24B41/06 ,  B65G49/06 ,  C03B33/03

CPC分类号： B24B9/102 ,  B24B9/107 ,  B24B41/005 ,  B24B41/06 ,  B65G15/00 ,  B65G49/065 ,  B65G2249/045 ,  H01L21/67706

摘要： 板ガラス（１）の反パターン面を支持して板ガラス（１）を搬送方向に送るベルト部（１１）と、このベルト部（１１）と対向する位置に配置され、前記板ガラス（１）のパターン面（２）に向けて所定圧の水圧を作用させパターン面支持水ガイド（３０）とを有する送り機構（４０）を備え、該送り機構（４０）は、前記パターン面支持水ガイド（３０）の水圧で前記板ガラス（１）を前記ベルト部（１１）に押圧して、この板ガラス（１）のパターン面（２）に非接触の状態で、この板ガラス（１）を前記ベルト部（１１）との間で挟持するように構成し、板ガラス（１）のパターン面を疵付けることなく安定して送ることができる板ガラスの搬送装置（１０）を提供する。

摘要翻译： 本发明提供一种具有输送机构（40）的平板玻璃输送装置（10），该输送机构具有支撑平板玻璃（1）的相对图案面的带部（11），并将平板玻璃（1）输送到输送 方向，以及配置在与带部件（11）相对的位置并使预定水压朝向平板玻璃（1）的图案表面（2）的位置的图案表面支撑水引导件（30）。 平板玻璃输送装置10被构造成使得输送机构40利用图案表面支撑水引导件30的水压将平板玻璃1压靠在带部11上， 与平板玻璃（1）的图案表面（2）不接触的状态，传送机构（40）用平板玻璃（1）保持带部分（11），平板玻璃（1）可以 稳定地运输，而不会刮擦其图案表面。