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公开(公告)号:WO2002072705A1
公开(公告)日:2002-09-19
申请号:PCT/JP2002/002178
申请日:2002-03-08
Applicant: ジェイエスアール株式会社 , 西村 功 , 別所 信夫 , 熊野 厚司 , 山田 憲司
IPC: C08L101/00
CPC classification number: G03F7/039 , G02B1/04 , G02B6/02033 , G03F7/001 , G03F7/0042 , G03F7/0043 , G03F7/0757 , C08L85/00 , C08L83/04
Abstract: A composition which can be changed in refractive index by a simple method to give a refractive-index pattern and an optical material in each of which the resultant difference in refractive index is significantly large and is stable regardless of conditions of use thereafter; and a method of forming the pattern or optical material. The composition comprises (A) a decomposable compound, (B) a hydrolyzate of an alkoxide such as tetrabutoxytitanium, tetramethoxyzirconium, tetramethoxygermanium, or tetramethoxysilane or of a halide such as tetrachlorosilane, and (C) a radiation-sensitive decomposer. The composition is sensitive to a radiation.
Abstract translation: 可以通过简单的方法改变折射率的组合物,得到折射率图形和光学材料,其中所得到的折射率差异显着大,并且无论其后的使用条件如何都是稳定的; 以及形成图案或光学材料的方法。 该组合物包含(A)可分解化合物,(B)四丁氧基钛,四甲氧基锆,四甲氧基锗或四甲氧基硅烷等烷氧基化合物或四氯硅烷等卤化物的水解产物,(C)辐射敏感性分解剂。 组合物对辐射敏感。
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公开(公告)号:WO2004048462A1
公开(公告)日:2004-06-10
申请号:PCT/JP2003/014440
申请日:2003-11-13
IPC: C08L01/00
CPC classification number: G03F7/038
Abstract: 本発明は、紫外光あるいは可視光を含む広範な波長領域の光による硬化が可能であって、感度が高く、少ない露光で充分な硬化ができ、レジストとして用いた場合には微細なパターンを好適に形成でき、硬化物が耐熱性および絶縁性に優れる新規な光硬化性組成物およびそれを用いたネガ型フォトレジスト組成物を提供することを目的とする。また、本発明は、医療用具に用いられるポリイミド薄膜を高精度に、容易に製造する方法およびそのポリイミド薄膜を具備した医療用具を提供することを目的とする。 本発明の光硬化性組成物は、(A)光増感作用を有する、炭素クラスターおよび/またはその誘導体、(B)分子内に複数のヘテロ環を有する化合物、および、必要に応じて(C)非感光性樹脂を含有することを特徴としている。
Abstract translation: 公开了一种高灵敏度且可以通过包括紫外光和可见光在内的宽波长范围内的光固化的新型光固化组合物。 该光固化性组合物可以通过少量的曝光充分固化,并且当用作抗蚀剂时可以适当地形成微细图案。 该光固化性组合物的固化物的耐热性和绝缘性优异。 还公开了使用这种光固化组合物的负性光致抗蚀剂组合物。 还公开了一种用于简单且高精度地制造用于医疗装置的聚酰亚胺薄膜的方法和包括这种聚酰亚胺薄膜的医疗装置。 光固化组合物的特征在于含有(A)具有光敏作用的碳簇和/或其衍生物,(B)分子中具有多个杂环的化合物,如果需要,(C)非感光性树脂 。
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公开(公告)号:WO2002066561A1
公开(公告)日:2002-08-29
申请号:PCT/JP2002/001362
申请日:2002-02-18
Applicant: ジェイエスアール株式会社 , 西村 功 , 別所 信夫 , 熊野 厚司 , 山田 憲司
IPC: C08L101/00
CPC classification number: G03F7/001 , G02B5/1857 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/039 , G03F7/0757 , Y10S428/913
Abstract: A radiation-sensitive composition capable of having a refractive index distribution which comprises (A) a decomposable compound, (B) a non-decomposable component containing inorganic oxide particles and (C) a radiation-sensitive decomposing agent; and a method for forming a refractive index pattern or an optical material which comprises irradiating the above composition with a radiation and then treating the resulting product with (D) a stabilizer. The method allows the preparation, with ease and simplicity, of a refractive index pattern or an optical material having a refractive index distribution including satisfactorily great refractive index change and being stable independently of the conditions wherein it is used.
Abstract translation: 一种能够具有折射率分布的辐射敏感组合物,其包含(A)可分解化合物,(B)含有无机氧化物颗粒的不可分解组分和(C)辐射敏感性分解剂; 以及形成折射率图案或光学材料的方法,其包括用辐射照射上述组合物,然后用(D)稳定剂处理所得产物。 该方法容易且简单地制备折射率图案或折射率分布包括令人满意的大的折射率变化的光学材料,并且与使用它们的条件无关地稳定。
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公开(公告)号:WO2003095579A1
公开(公告)日:2003-11-20
申请号:PCT/JP2003/005899
申请日:2003-05-12
Applicant: ジェイエスアール株式会社 , 横山 泰明 , 別所 信夫 , 花村 政暁
IPC: C09J11/00
CPC classification number: B24B37/042 , B24B37/30 , H01L21/6835 , H01L2221/68327 , H01L2221/6834 , Y10T428/1059
Abstract: 2つの固体を相互に且つ一時的に堅固に固定する方法である。その方法は、2つの固体を、液晶化合物またはそれを含む組成物により、相互に且つ一時的に固定する一時的固定法である。この方法は、例えば1つの固体を半導体デバイス用ウエハの化学機械研磨用パッドとし、もう1つの固体をそれを固定するための定盤としたとき、半導体デバイス用ウエハをその上に固定して研磨するための、化学機械研磨用パッドの一時的固定法として用いられる。
Abstract translation: 一种用于牢固地固定两种固体的方法。 该方法是通过液晶化合物或含有它们的组合物相互临时固定两种固体的临时固定方法。 该方法是用于化学机械抛光垫的临时固定方法,其中当例如使用固体作为半导体器件晶片的化学机械抛光垫时,使用另一种固体作为其上固定的表面板,半导体 将器件晶片固定在其上并进行抛光。
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公开(公告)号:WO2003012547A1
公开(公告)日:2003-02-13
申请号:PCT/JP2002/007561
申请日:2002-07-25
Applicant: ジェイエスアール株式会社 , 西村 功 , 別所 信夫 , 熊野 厚司 , 山田 憲司
IPC: G03F7/004
CPC classification number: H05K1/162 , G03F7/001 , G03F7/0045 , G03F7/0047 , G03F7/039 , G03F7/0392 , G03F7/0757 , G03F7/26 , G03F7/38 , H01L21/02126 , H01L21/02186 , H01L21/02282 , H01L21/02343 , H01L21/02348 , H01L21/312 , H05K1/0286 , H05K2201/0116 , H05K2201/0187 , H05K2203/107 , H05K2203/1163 , Y10S430/106
Abstract: A composition having a permitivity being radiation−sensitively changeable, which comprises (A) a decomposable compound, (B) a non−decomposable compound, (C) a radiation− sensitive decomposer and (D) a stabilizer. The composition allows the achievement of the change of the permitivity of a material, which is satisfactorily great and stable, in an easy and simple manner, and thus can provide a permitivity pattern and an optical material having a satisfactory distribution of permitivity being stable independently of the condition for its use.
Abstract translation: 一种具有辐射敏感变化的介电常数的组合物,其包含(A)可分解化合物,(B)不可分解化合物,(C)辐射敏感分解剂和(D)稳定剂。 该组成允许以简单和简单的方式实现令人满意地大而稳定的材料的介电常数的变化,从而可以提供具有令人满意的容纳率分布稳定的容性图形和光学材料, 其使用条件。
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