固体の一時的固定のための組成物および方法
    2.
    发明申请
    固体の一時的固定のための組成物および方法 审中-公开
    用于固定固体的组合物和方法

    公开(公告)号:WO2003095579A1

    公开(公告)日:2003-11-20

    申请号:PCT/JP2003/005899

    申请日:2003-05-12

    Abstract: 2つの固体を相互に且つ一時的に堅固に固定する方法である。その方法は、2つの固体を、液晶化合物またはそれを含む組成物により、相互に且つ一時的に固定する一時的固定法である。この方法は、例えば1つの固体を半導体デバイス用ウエハの化学機械研磨用パッドとし、もう1つの固体をそれを固定するための定盤としたとき、半導体デバイス用ウエハをその上に固定して研磨するための、化学機械研磨用パッドの一時的固定法として用いられる。

    Abstract translation: 一种用于牢固地固定两种固体的方法。 该方法是通过液晶化合物或含有它们的组合物相互临时固定两种固体的临时固定方法。 该方法是用于化学机械抛光垫的临时固定方法,其中当例如使用固体作为半导体器件晶片的化学机械抛光垫时,使用另一种固体作为其上固定的表面板,半导体 将器件晶片固定在其上并进行抛光。

    積層フィルム
    3.
    发明申请
    積層フィルム 审中-公开
    层压膜

    公开(公告)号:WO2003084741A1

    公开(公告)日:2003-10-16

    申请号:PCT/JP2003/004220

    申请日:2003-04-02

    CPC classification number: B32B27/00 G02B1/111

    Abstract: 透明性、帯電防止性に優れ、反射率が低く、反射防止膜に有用な積層フィルムを得る。 透明樹脂フィルムの少なくとも一方の表面に(A)透明樹脂フィルムの屈折率よりも高い屈折率を有する光学的に透明な化合物からなる層を設け、さらにその上に(B)透明性および導電性を有する化合物からなる層を設けた積層フィルム。

    Abstract translation: 一种层压膜,其包含透明树脂膜,并且在其至少一个表面上设置(A)包含折射率高于透明树脂膜的折射率并且是光学透明的化合物的层,并且设置在 该层,(B)包含具有透明性和导电性的化合物的层。 层压膜的透明性和抗静电性优异,反射率低,因此可用作抗反射涂膜。

    熱可塑性エラストマー組成物及びその製造方法
    5.
    发明申请
    熱可塑性エラストマー組成物及びその製造方法 审中-公开
    热塑性弹性体组合物及其制造方法

    公开(公告)号:WO2003025055A1

    公开(公告)日:2003-03-27

    申请号:PCT/JP2002/006522

    申请日:2002-06-27

    Inventor:

    Abstract: A thermoplastic elastomer composition which is obtained by dynamically crosslinking a polymer composition comprising a rubber, an olefin resin, etc. and in which the rubber particles have an average particle diameter in a specific range. Due to this constitution, the composition has an excellent balance between mechanical properties, such as flexibility and elastic recovery, and moldability. When the composition contains a methacrylate resin and a hydrogenated diene polymer, it especially has excellent scratch resistance. When the composition contains a maleimide compound, it especially has excellent injection fusibility. When the composition contains an unmodified organopolysiloxane having a specific viscosity and a modified organopolysiloxane, it is excellent especially in initial sliding properties and long-term sliding properties.

    Abstract translation: 一种热塑性弹性体组合物,其通过动态交联包含橡胶,烯烃树脂等的聚合物组合物,其中所述橡胶颗粒的平均粒径在特定范围内而获得。 由于这种结构,组合物在诸如柔软性和弹性恢复性的机械性能和成型性方面具有优异的平衡。 当组合物含有甲基丙烯酸酯树脂和氢化二烯聚合物时,其具有优异的抗划伤性。 当组合物含有马来酰亚胺化合物时,其具有优异的注射熔融性。 当组合物含有未改性的具有比粘度的有机聚硅氧烷和改性的有机聚硅氧烷时,特别是在初始滑动性能和长期滑动性能方面是优异的。

    ポジ型感放射線性組成物およびパターン形成方法
    7.
    发明申请
    ポジ型感放射線性組成物およびパターン形成方法 审中-公开
    积极类型的放射性组合物和形成图案的方法

    公开(公告)号:WO2003010603A1

    公开(公告)日:2003-02-06

    申请号:PCT/JP2002/007343

    申请日:2002-07-19

    Abstract: A positive type radiosensitive composition comprising the following components (A) to (C): (A) at least one compound selected from the group consisting of a hydrolyzable silane compound represented by the general formula (1): (R 1 ) p Si(X) 4−p (1) wherein R 1 represents a non−hydrolyzable organic group having 1 to 12 carbon atoms, X represents a hydrolyzable group, and p represents an integer of 0 to 3, a hydrolyzate thereof and a condensed product therefrom; (B) an agent generating an acid by the irradiation with a light; and (C) a basic compound. The use of the above composition allows the production of a cured product excellent in the precision of a pattern and the like, and the above composition can be used as a material for forming an optical wave guide.

    Abstract translation: 一种阳离子型放射敏感性组合物,其包含以下成分(A)〜(C):(A)至少一种选自由通式(1)表示的可水解硅烷化合物的化合物:(R 1) (1)其中R 1表示具有1至12个不可水解的有机基团,其中R 1表示不可水解的有机基团,其具有1至12个 碳原子,X表示可水解基团,p表示0〜3的整数,其水解产物和缩合产物; (B)通过用光照射产生酸的试剂; 和(C)碱性化合物。 通过使用上述组合物,可以制造图案等的精度优异的固化物,并且可以将上述组合物用作形成光波导的材料。

    2層積層膜およびこれを用いたパターン形成方法
    10.
    发明申请
    2層積層膜およびこれを用いたパターン形成方法 审中-公开
    两层膜及其形成图案的方法

    公开(公告)号:WO2003065124A1

    公开(公告)日:2003-08-07

    申请号:PCT/JP2002/011936

    申请日:2002-11-15

    CPC classification number: G03F7/0236 G03F7/0233 G03F7/095 G03F7/40

    Abstract: A method of forming a film by vapor deposition and/or sputtering by the lift−off technique; and a two−layer resist film with which a burr−free film layer can be easily formed on a substrate surface. The method of forming a pattern uses this two−layer resist film. The method of pattern formation is characterized by including the step of forming, on a substrate (1), a two−layer film which comprises: a resist film (2) formed from a positive radiation−sensitive resin composition comprising (A) a radical polymer having a hydroxy and/or carboxy group, (B) a compound having a quinonediazide group, and (C) a solvent; and a resist film (3) formed from a positive radiation−sensitive resin composition comprising (D) a polymer having a phenolic hydroxy group, (E) a compound having a quinonediazide group, and (F) a solvent.

    Abstract translation: 通过剥离技术通过气相沉积和/或溅射形成膜的方法; 以及可以在基板表面上容易地形成无毛刺膜层的双层抗蚀剂膜。 形成图案的方法使用该双层抗蚀剂膜。 图案形成方法的特征在于包括在基板(1)上形成双层膜的步骤,该双层膜包括:由正性辐射敏感性树脂组合物形成的抗蚀剂膜(2),其包含(A)基团 具有羟基和/或羧基的聚合物,(B)具有醌二叠氮基的化合物和(C)溶剂; 和由(D)具有酚羟基的聚合物,(E)具有醌二叠氮基的化合物和(F)溶剂)的正性辐射敏感性树脂组合物形成的抗蚀剂膜(3)。

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