Abstract:
본 발명은, 정밀하고 공정 결함이 낮은 관통 배선을 포함하는 반도체 패키지의 제조 방법을 제공한다. 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 패키지의 제조 방법은 도전 부재를 준비하는 단계; 도전 부재의 일부 영역을 제거하여 평면부 및 평면부로부터 돌출된 돌출부를 형성하는 단계; 도전 부재와 반도체 칩을 배치하고, 반도체 칩과 도전 부재를 밀봉하는 밀봉 부재를 형성하는 단계; 밀봉 부재로부터 도전 부재의 돌출부를 노출하여 관통 배선을 형성하는 단계; 관통 배선과 반도체 칩을 전기적으로 연결되는 재배선 패턴층을 형성하는 단계; 및 재배선 패턴층에 전기적으로 연결되는 외부 연결 부재를 형성하는 단계;를 포함한다.
Abstract:
본 발명은, 정밀하고 공정 결함이 낮은 관통 배선을 포함하는 반도체 패키지의 제조 방법을 제공한다. 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 패키지의 제조 방법은 도전 부재를 준비하는 단계; 도전 부재의 일부 영역을 제거하여 평면부 및 평면부로부터 돌출된 돌출부를 형성하는 단계; 도전 부재를 밀봉하는 밀봉 부재를 형성하는 단계; 밀봉 부재의 일부를 제거하여 밀봉 부재로부터 도전 부재의 돌출부를 노출하여 관통 배선을 형성하는 단계; 관통 배선 상에 관통 배선과 전기적으로 연결되는 재배선 패턴층을 형성하는 단계; 재배선 패턴층 상에 반도체 칩을 실장하는 단계; 및 관통 배선에 전기적으로 연결된 외측 연결 부재를 형성하는 단계;를 포함한다.
Abstract:
리드프레임을 이용한 팬-아웃 반도체 패키지 제조방법, 이에 의한 반도체 패키지 및 패키지 온 패키지에 관해 개시한다. 이를 위해 본 발명은 팬 아웃 구조의 반도체 패키지를 구현하기 위해 리드프레임을 반도체 칩 외곽에 설치한다. 따라서 리드프레임을 신호리드를 이용하여 이를 평면적, 입체적으로 이용하여 복잡한 회로 디자인을 단순화시켜 메탈층의 형성 층수를 줄이고, 리드프레임을 반도체 패키지 내부에서 평면형 연결단자 혹은 입체적으로 수직형 연결단자로 활용할 수 있다.