レベンソン型位相シフトマスク及びその製造方法
    1.
    发明申请
    レベンソン型位相シフトマスク及びその製造方法 审中-公开
    LEVENSON型相移片及其生产方法

    公开(公告)号:WO2005103820A1

    公开(公告)日:2005-11-03

    申请号:PCT/JP2005/007437

    申请日:2005-04-19

    CPC classification number: G03F1/30 G03F1/36

    Abstract:  レベンソン型位相シフトマスクは、透明基板上に形成された遮光部と開口部を有し、前記開口部の透明基板を部分的に掘り込むか又は前記開口部の透明基板上に透明膜を部分的に上置きして形成されたシフター開口部と非シフター開口部とが繰り返し存在し、前記シフター開口部により透過光の位相を反転させるレベンソン型位相シフトマスクであって、隣接する同種類の開口部に両側から挟まれた遮光部パターンを有し、マスクの設計デザインで定められた所定の設計線幅に対して前記遮光部パターンを所定量だけ両側へ広げるバイアス補正が施されている。

    Abstract translation: 具有形成在透明基板上的遮光部分和开口的莱文森型相移掩模,并且反复设置有通过部分地挖掘开口的透明基板部分或部分地将透明膜部分地铺设在透明基板部分上而形成的移位开口 开口和非移位开口,以通过移位器开口反转透射光的相位,其中设置有从相对侧相同类型的相邻开口保持的遮光图案,并且进行偏光校正以加宽光 屏蔽图案相对于由掩模设计定义的规定设计线宽度朝向相对侧的规定量。

    基板温度制御装置用ステージ
    3.
    发明申请
    基板温度制御装置用ステージ 审中-公开
    基板温度控制装置的阶段

    公开(公告)号:WO2009090816A1

    公开(公告)日:2009-07-23

    申请号:PCT/JP2008/072775

    申请日:2008-12-15

    CPC classification number: H05B3/143 H01L21/67248 H01L21/68735

    Abstract:  基板を加熱又は冷却する際に発生する過渡的な温度分布の拡がりを従来よりも小さくすることができる基板温度制御装置用ステージ。この基板温度制御装置用ステージは、基板の温度を制御する基板温度制御装置において所定の直径を有する基板を所定の位置に載置するために用いられるステージであって、基板に対向する第1の面において、基板の端縁に対応する位置を含む領域に中心部よりも低い段差部が形成されたプレートと、プレートの第1の面と反対側の第2の面に配置された温調部とを含む。

    Abstract translation: 提供了一种用于衬底温度控制装置的平台,并且在这种阶段,与传统阶段相比,在加热或冷却衬底时产生的瞬态温度分布的扩大减小。 基板温度控制装置的台阶用于将具有规定直径的基板放置在控制基板的温度的基板温度控制装置的规定位置。 平台包括板,其中在包括在与基板相对的第一表面上的与基板的边缘相对应的位置的区域中形成比中心部分低的台阶部分,以及设置在基板的第二表面上的温度控制部分 侧面与板的第一表面相对。

    ピペリジン環を有するインドール誘導体
    4.
    发明申请
    ピペリジン環を有するインドール誘導体 审中-公开
    含有哌啶环的吲哚衍生物

    公开(公告)号:WO2005108389A1

    公开(公告)日:2005-11-17

    申请号:PCT/JP2005/008632

    申请日:2005-05-11

    Abstract:  本発明は、式 【化1】 [式中、R 1 およびR 2 は、隣接する置換基であって、これら置換基とその各々が結合する2つの炭素原子とが一緒になって、(1)オキソ基または(2)水酸基等から選択される、1ないし4個の置換基で置換されてもよい、5ないし7員環式非芳香族炭化水素環基等を形成し、R 3 は、水素原子等を示し、R 6 は、水素原子等を示す。)]で表される化合物または薬理学的に許容される塩およびその医薬としての用途に関する。該化合物は5-HT1A受容体結合力および受容体拮抗作用を有し、下部尿路症状、特に蓄尿症状の治療剤または予防剤に有用である。

    Abstract translation: 由通式(I)表示的化合物或其药理学上可接受的盐; 并且使用与药物相同的化合物:[其中R 1和R 2相邻的取代基和R 1和R 2与它们所键合的两个碳原子一起分别形成5-7个 可以具有1至4个选自(1)氧代,(2)羟基,等等的取代基的非芳族烃环; R 3是氢等; 和R 6是氢等。 该化合物表现出与5-HT1A受体和5-HT1A受体拮抗作用相结合的能力,可用作下尿路症状特别是尿积聚症状的治疗或预防剂。

    レーザ加工方法およびオイルリング用線材
    5.
    发明申请
    レーザ加工方法およびオイルリング用線材 审中-公开
    激光工作方法和油环线

    公开(公告)号:WO2008153028A1

    公开(公告)日:2008-12-18

    申请号:PCT/JP2008/060617

    申请日:2008-06-10

    Abstract:  エッジを有する部材のレーザ加工方法を開示する。この方法では、エッジを有し、エッジ領域に突起物が形成されている部材の、前記エッジを挟んで交差する二つの面のうち、前記突起物が存在する一方の面と前記エッジ領域にレーザ光を照射して、前記突起物および前記エッジ領域を溶融させ、生じた溶融体を他方の面に移動させる。レーザ加工方法を好適にオイルリングに適用できる。オイルリングは、左右のレール部と該レール部を連結するウェブ部とを有する。ウェブ部は、溶融によって形成された複数の貫通孔を有し、該貫通孔の壁面に再溶融凝固物が付着しており、ウェブ部の外表面には、溶融凝固物としての突起部が存在しない。

    Abstract translation: 公开了一种具有边缘的构件的激光加工方法。 该方法适用于具有形成在边缘区域的边缘和突起的构件。 该方法利用激光束照射与该突起和边缘区域相交的两边的两个面之一,从而熔化边缘区域,并将熔融部分移动到另一个面。 该激光加工方法可以适用于具有右轨道部分和左轨道部分的油环和连接轨道部分的腹板部分。 腹板部分具有多个通过熔化而形成的通孔,并且再粘固固定在通孔的壁面上,但是在腹板部分的外表面上不存在作为熔融固体的突起。

    位相シフトマスク及び位相シフトマスクの製造方法並びに半導体素子の製造方法
    6.
    发明申请
    位相シフトマスク及び位相シフトマスクの製造方法並びに半導体素子の製造方法 审中-公开
    相移屏蔽,相移屏蔽制造方法和半导体元件制造方法

    公开(公告)号:WO2006064679A1

    公开(公告)日:2006-06-22

    申请号:PCT/JP2005/022201

    申请日:2005-12-02

    CPC classification number: G03F1/30 G03F1/28

    Abstract: 透明基板と、この透明基板上に形成された遮光膜とを具備し、前記遮光膜には、第1の開口部と第2の開口部とが交互に形成され、前記第2の開口部から前記透明基板が所定の深さに掘り込まれて凹部が形成されており、前記第1及び第2の開口部を通過する透過光の位相が交互に反転する位相シフトマスクであって、前記遮光膜の前記第1の開口部における開口端部と第2の開口部における開口端部との間のピッチに応じて、前記透過光の位相差が設定されていることを特徴とする位相シフトマスク。

    Abstract translation: 相移掩模包括透明基板和形成在透明基板上的遮光膜。 在遮光膜上交替地形成第一开口和第二开口。 透明基板具有从第二开口预定深度的压痕。 通过第一和第二开口透射的透射光的相位交替地反转。 相移掩模的特征在于,根据第一开口的开口端和遮光膜中的第二开口的开口端之间的间距来设定透射光的相位差。

    部材着脱装置
    7.
    发明申请
    部材着脱装置 审中-公开
    会员连接/拆卸设备

    公开(公告)号:WO2005097400A1

    公开(公告)日:2005-10-20

    申请号:PCT/JP2005/004945

    申请日:2005-03-18

    CPC classification number: B23P11/025 B23P19/04 F16D27/112

    Abstract: A member attaching/detaching device not requiring the supply of an external power for extracting a member from a shaft and the preparation of a separate device for shrinkage fitting. The device comprises a ring (3) formed of a non-magnetic metal, a coil (4) for generating magnetic field disposed adjacent to the ring, a first fixing means (6) for maintaining the position relation of the ring (3) to the shaft (1), and a second fixing means (7) for maintaining the position relation of the coil (4) to the member (2). The member (2) is attached to and detached from the shaft (1) by a magnetic repulsion generated between the ring (3) and the coil (4).

    Abstract translation: 一种不需要提供用于从轴提取构件的外部动力的构件安装/拆卸装置以及用于收缩装配的单独装置的准备。 该装置包括由非磁性金属形成的环(3),用于产生邻近环的磁场的线圈(4),用于将环(3)的位置关系保持为 轴(1)和用于保持线圈(4)与构件(2)的位置关系的第二固定装置(7)。 构件(2)通过在环(3)和线圈(4)之间产生的磁性斥力而附接到轴(1)上并与轴(1)分离。

    光導波路及びその製造方法
    8.
    发明申请
    光導波路及びその製造方法 审中-公开
    光波导及其制造方法

    公开(公告)号:WO2004027472A1

    公开(公告)日:2004-04-01

    申请号:PCT/JP2003/011770

    申请日:2003-09-16

    Abstract: 本発明の幾つかの実施形態は、コア材の使用効率が良く、安価な光導波路及びその製造方法を提供する。この光導波路の製造方法は、基板(20)上に樹脂を塗布及び硬化させて第1クラッド(2)を形成する工程と、コアパターン形状の窪みを有する凹型(10)と基板上の第1クラッドとの間にコア材(1')を挟む工程と、挟まれたコア材を硬化させて窪みに対応したコアパターン(1)を第1クラッド上に形成する工程と、凹型(10)をコアパターン及び第1クラッドから剥離する工程と、を備えている。

    Abstract translation: 公开了一种其中芯材的使用效率高的低成本光波导和这种光波导的制造方法。 制造光波导的方法包括通过在基板(20)上施加和固化树脂而形成第一包层(2)的步骤,其中将芯材料(1')供给到模腔(10) ),具有芯图案形状的凹部和基板上的第一包层,其中通过固化芯材而在第一包层上形成与凹部相对应的芯图案(1)的步骤,以及其中腔 模具(10)从芯图案和第一包层移除。

Patent Agency Ranking