노멀리-오프를 구현하는 질화물계 트랜지스터
    2.
    发明申请
    노멀리-오프를 구현하는 질화물계 트랜지스터 审中-公开
    用于实现正常关闭的基于氮化物的晶体管

    公开(公告)号:WO2016208864A1

    公开(公告)日:2016-12-29

    申请号:PCT/KR2016/004501

    申请日:2016-05-12

    CPC classification number: H01L29/06 H01L29/20 H01L29/417 H01L29/66 H01L29/778

    Abstract: 일 실시 예에 따르는 노멀리-오프를 구현하는 질화물계 트랜지스터는 m-면 상에서 성장한 n형 도핑된 제1 질화물계 제1 반도체층; 상기 제1 반도체층 상에 배치되는 절연성 제2 질화물계 제2 반도체층; 및 상기 제2 반도체층 상에 배치되는 게이트 전극층을 구비한다. 상기 제1 반도체층과 상기 제2 반도체층은 서로 다른 에너지 밴드갭을 가진다.

    Abstract translation: 根据实施例的用于实现常关的氮化物基晶体管包括:在m面上生长的n型掺杂的第一氮化物基第一半导体层; 设置在所述第一半导体层上的绝缘的第二氮化物基第二半导体层; 以及设置在第二半导体层上的栅电极层。 第一半导体层和第二半导体层具有不同的能带隙。

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