-
公开(公告)号：WO2017065344A1
公开(公告)日：2017-04-20
申请号：PCT/KR2015/012513
申请日：2015-11-20
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 펨토초 레이저의 반복률 위상 잡음 측정 방법은, 펨토초 레이저에 의해 생성된 광 펄스열의 제1 파장 성분 및 제2 파장 성분을 이용하여 결합 신호를 생성하는 단계, 상기 결합 신호를 제1 경로 및 제2 경로로 가이드하고, 상기 제1 경로의 신호를 지연시키고 주파수를 시프트한 후 상기 제2 경로의 신호와 서로 간섭시켜 간섭된 결합 신호를 출력하는 단계, 상기 간섭된 결합 신호를 상기 제1 파장 성분에 대응하는 제1 간섭 신호와 상기 제2 파장 성분에 대응하는 제2 간섭 신호로 분리하는 단계, 광전소자를 이용하여 상기 제1 간섭 신호 및 상기 제2 간섭 신호를 각각 제1 무선 주파수 신호 및 제2 무선 주파수 신호로 변환하는 단계, 및 혼합기를 이용하여 상기 제1 무선 주파수 신호 및 상기 제2 무선 주파수 신호로부터 반복률 주파수 잡음 성분을 포함하는 기저대역 신호를 검출하는 단계를 포함한다.
Abstract translation: 飞秒激光器的重复频率相位噪声测量方法包括以下步骤：使用由飞秒激光器产生的光脉冲串的第一波长分量和第二波长分量来产生组合信号， 第一路径和第二步骤，将合并的信号的干扰，其引导到所述第二路径和延迟，然后转移频率输出信号，并相互干涉，在所述第二路径中的干扰的组合信号，该第一路径的信号 其中，所述第一干扰信号并分离所述干扰信号，所述第一干扰信号，并通过使用对应于相应于一个波长分量的第二波长分量的光电装置中的第二干扰信号的第二步骤中，每一个 使用混频器将来自第一射频信号和第二射频信号的重复频率噪声分量转换为射频信号和第二射频信号， 和用于检测以下的基带信号的步骤。
-
公开(公告)号：WO2017042993A1
公开(公告)日：2017-03-16
申请号：PCT/JP2016/002755
申请日：2016-06-07
Applicant: ソニー株式会社
CPC classification number: G01C3/06 , G01J11/00 , G01S7/4861 , G01S7/4865 , G01S7/497 , G01S17/10
Abstract: 受光部から出力される出力信号に基づいて光子数を計数する光子数計数部と、光子数に対応する補正値を取得する補正値取得部と、補正値に基づく補正を行う補正部とを備える補正装置である。 図３
Abstract translation: 该校正装置设置有：光子数计数单元，其基于从光接收单元输出的输出信号对光子数进行计数; 校正值获取单元，其获取与所述光子数相对应的校正值; 以及校正单元，其基于校正值执行校正。
-
3.发明申请SYSTÈME DE MESURE DE DURÉE, DE PROFIL TEMPOREL ET DE SPECTRE D'IMPULSION LASER ULTRABRÈVE 审中-公开用于测量超快激光脉冲的持续时间，时间分布和频谱的系统
公开(公告)号：WO2017037402A1
公开(公告)日：2017-03-09
申请号：PCT/FR2016/052191
申请日：2016-09-05
Inventor： DUBROUIL, Antoine
CPC classification number: H01S3/0014 , G01J11/00 , H01S3/005
Abstract: L'invention concerne un système de mesure de durée, de profil temporel et de spectre d'impulsion laser ultrabrève comportant un autocorrélateur optique monocoup comprenant un composant optique à division de front d'onde (10, 11), un cristal optique non linéaire (20) disposé de manière à ce qu'un premier front d'onde divisé et un second front d'onde divisé se superposent dans le cristal optique non linéaire (20), un système optique (22) formant une image du cristal optique non-linéaire sur un système de détection (30), un dispositif de filtrage (21, 23) disposé entre le cristal optique non linéaire (20) et le système de détection (30) et configuré pour détecter, d'une part, une trace d'autocorrélation interférométrique monocoup d'ordre deux à la fréquence optique double (2 ω) et, d'autre part, au moins une autre trace d'autocorrélation monocoup de type interférométrique d'ordre un à la fréquence optique fondamentale (ω) ou de type intensimétrique d'ordre deux à la fréquence optique double (2ω).
Abstract translation: 本发明涉及一种用于测量超快激光脉冲的持续时间，时间曲线和光谱的系统，包括具有波前分割（10,11）的单次光学相关器，非线性光学晶体（20）布置成 在非线性光学晶体（20）中的第一分割波前和第二分割波前叠加，在检测系统（30）上形成非线性光学晶体的图像的光学系统（22），滤波装置（ 布置在所述非线性光学晶体（20）和所述检测系统（30）之间并且被配置为检测所述光学双倍频率（2ω）处的二阶单次干涉自相关轨迹以及至少 在光学双倍频率（2ω）下的基本光频率（ω）或二次浓度轨迹的另一个一阶单次干涉自相关曲线。
-
4.发明申请VARIABLE RADIUS MIRROR DICHROIC BEAM SPLITTER MODULE FOR EXTREME ULTRAVIOLET SOURCE 审中-公开用于极端超紫外线源的可变半径双向双光束分束器模块
公开(公告)号：WO2016099758A1
公开(公告)日：2016-06-23
申请号：PCT/US2015/061166
申请日：2015-11-17
Applicant: ASML NETHERLANDS B.V.
Inventor： PURVIS, Michael Anthony , RAFAC, Robert Jay , SCHAFGANS, Alexander Anthony , ZHANG, Kevin Weimin
CPC classification number: H05G2/003 , G01J11/00 , G02B26/0825 , G02B27/141 , H05G2/005 , H05G2/008
Abstract: A laser produced plasma extreme ultraviolet laser source comprising at least one variable radius mirror. The at least one variable radius mirror to adjust a beam diameter of a main pulse at a specified distance from a pre-pulse focal plane, where the pre-pulse radiates droplets into target droplets and the main pulse radiates the target droplets into a plasma state to generate the extreme ultraviolet radiation.
Abstract translation: 激光产生包括至少一个可变半径反射镜的等离子体极紫外激光源。 所述至少一个可变半径镜，以调整与预脉冲焦平面相距规定距离处的主脉冲的光束直径，其中预脉冲将液滴辐射到目标液滴中，并且主脉冲将目标液滴辐射到等离子体状态 以产生极紫外线辐射。
-
公开(公告)号：WO2015187854A1
公开(公告)日：2015-12-10
申请号：PCT/US2015/034025
申请日：2015-06-03
Applicant: CYMER, LLC (A NEVADA COMPANY) , ASML NETHERLANDS B.V.
Inventor： DUFFEY, Thomas Patrick , GODFRIED, Herman Philip
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G01J3/28 , G01J3/027 , G01J3/14 , G01J3/26 , G01J9/00 , G01J11/00 , G01J2003/2853 , G03F7/70041 , G03F7/70058 , G03F7/70575
Abstract: A method is described for estimating a spectral feature of a pulsed light beam produced by an optical source and directed toward a wafer of a lithography apparatus, The method includes receiving a set of N optical spectra of pulses of the light beam; saving the received N optical spectra to a saved set; transforming the optical spectra in the saved set to form a set of transformed optical spectra; averaging the transformed optical spectra to form an averaged spectrum; and estimating a spectral feature of the pulsed light beam based on the averaged spectrum.
Abstract translation: 描述了一种用于估计由光源产生并指向光刻设备的晶片的脉冲光束的光谱特征的方法。该方法包括接收光束的脉冲的一组N个光谱; 将接收到的N光谱保存到保存的集合; 转换保存集中的光谱，形成一组变换光谱; 对变换的光谱进行平均以形成平均光谱; 以及基于所述平均光谱估计所述脉冲光束的光谱特征。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2014208111A1
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：PCT/JP2014/051295
申请日：2014-01-22
Applicant: ギガフォトン株式会社
CPC classification number: G01J11/00 , G01J1/0414 , G01J1/0429 , G01J1/0477 , G01J1/4257 , G01J4/04 , G01J2001/4261 , G02B5/3066 , G02B27/148 , H01S3/0014 , H01S3/134 , H01S3/2366
Abstract: 光ビーム計測装置は、レーザ光の光路上に設置された第１の計測部ビームスプリッタを含み、前記第１の計測部ビームスプリッタにおいて一部反射されたレーザ光の偏光状態を計測する偏光計測器と、前記レーザ光の光路上に設置された第２の計測部ビームスプリッタを含み、前記第２の計測部ビームスプリッタにおいて一部反射されたレーザ光のビームプロファイルを計測するビームプロファイル計測器と、レーザ光のレーザビーム進行方向の安定性を計測するレーザビーム進行方向の安定性計測器と、を備え、前記第１の計測部ビームスプリッタ及び前記第２の計測部ビームスプリッタは、ＣａＦ ２ を含む材料により形成されていてもよい。
Abstract translation: 光束测量装置设置有：偏振计，其包括放置在激光光路上的第一测量单元分束器，并测量第一测量单元分束器中部分反射的激光的偏振状态; 光束轮廓仪，其包括放置在激光的光路上的第二测量单元分束器，并测量第二测量单元分束器中部分反射的激光的光束分布; 以及激光束行进方向稳定度计，其测量激光束的行进方向的稳定性。 第一测量单元分束器和第二测量单元分束器可以由包括CaF 2的材料形成。
-
公开(公告)号：WO2013179826A1
公开(公告)日：2013-12-05
申请号：PCT/JP2013/062011
申请日：2013-04-24
Applicant: 株式会社日本製鋼所
Inventor： 太田 佑三郎
IPC: H01L21/268 , H01L21/20 , H01S3/00
CPC classification number: H01L21/268 , B23K26/0006 , B23K26/0081 , B23K26/03 , B23K26/0622 , B23K26/0853 , B23K26/127 , B23K2203/52 , B23K2203/56 , G01J11/00
Abstract: パルスレーザ光（Ｌ）を受光し受光強度データ（Ｉ）を出力するレーザ受光部（２）と、受光強度データ（Ｉ）から複数個のパルスにおける平均ピーク値と平均面積値とを少なくとも項目値として含む平均波形情報を取得し、得られた複数の平均波形情報について各項目値の平均値とバラツキと最大値と最小値とを少なくとも項目値として含む群波形情報を取得する制御部（３）と、群波形情報を出力する操作部（１０）とを具備する。ガス励起パルスレーザ発振器や第１ピーク値および第２ピーク値を持つパルス波形に限定されずに、パルスレーザ光の劣化を監視できる。
Abstract translation: 具有脉波波形测量功能的激光退火装置包括：接收脉冲激光（L）并输出光接收强度数据（I）的激光接收单元（2）; 从光接收强度数据（I）中获取至少包括多个脉冲中的平均峰值和平均面积值的平均波形信息的控制单元（3），并且获取作为项目值的组波形 信息至少包括与所述多个所获取的平均波形信息相关联的每个项目值的平均值，色散以及最大值和最小值; 以及输出组波形信息的操作单元（10）。 可以监视脉冲激光的劣化，而不受受激气体脉冲激光振荡器和具有第一和第二峰值的脉冲波形的限制。
-
公开(公告)号：WO2013154232A1
公开(公告)日：2013-10-17
申请号：PCT/KR2012/006036
申请日：2012-07-27
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단 , 김동언 , 안중권
IPC: G01J11/00
CPC classification number: G01J11/00 , G04F13/026
Abstract: 극초단 펄스에 대한 자체상관신호를 발생시켜 측정하는 자체상관기가 개시된다. 자체상관기는 광 펄스를 발생시키는 광원부와, 쐐기 형상의 광학 매질인 제 1 쐐기와 제 2 쐐기의 마주보는 면이 서로 평행하도록 나란히 배치하여, 광원부가 제공한 광 펄스를 분리하여 두 개의 광 펄스를 생성하는 이중 쐐기 간섭계와, 생성된 두 개의 광 펄스를 제공받아 이차 조화파를 생성하는 조화파 매질 및 이차 조화파를 검출하여 자체상관신호를 발생시키는 측정부를 포함한다. 따라서, 두 개의 쐐기 형상의 광학 부품만을 사용하는 간섭계를 이용하여 극초단 펄스에 대한 시간폭을 측정할 수 있다.
Abstract translation: 公开了一种用于产生超短脉冲自相关信号以测量超短脉冲的自相关器。 该自相关器包括：用于产生光脉冲的光源单元; 双楔形干涉仪，其中第一楔形件和用作楔形光学介质的第二楔形件布置成使得第一和第二楔形物的相对表面彼此平行，以便分离由光提供的光脉冲 源单元产生两个光脉冲; 用于接收产生的两个光脉冲以产生二次谐波光的谐波光介质; 以及用于检测所述二次谐波光以产生自相关信号的测量单元。 因此，可以通过仅使用两个楔形光学部件的干涉仪来测量超短脉冲的时间宽度。
-
公开(公告)号：WO2013152781A1
公开(公告)日：2013-10-17
申请号：PCT/EP2012/001569
申请日：2012-04-11
Applicant: GOTTFRIED WILHELM LEIBNIZ UNIVERSITÄT HANNOVER , RAUSCH, Stefan , MORGNER, Uwe , PROCHNOW, Oliver , MATYSCHOK, Jan , BINHAMMER, Thomas
Inventor： RAUSCH, Stefan , MORGNER, Uwe , PROCHNOW, Oliver , MATYSCHOK, Jan , BINHAMMER, Thomas
IPC: G01J11/00
CPC classification number: G01J11/00
Abstract: Eine Messanordnung (1) zum Vermessen von Laserpulsen (2) umfasst einen Strahlteiler (4) zum Erzeugen zweier Laserpulskopien, einen Pulsverdoppler (4) zum Aufteilen einer ersten Laserpulskopie auf zwei Teilpulse (2a, 2b) mit einem zeitlichen Abstand voneinander, sowie einen Pulsstrecker (7) zum zeitlichen Strecken der zweiten Laserpulskopie zu einem gestrecktem Laserpuls (2) und einen Frequenzmischer (11) zum Erzeugen eines Frequenzmischsignals (12) aus den zwei Teilpulsen (2a, 2b) und den gestrecktem Laserpuls (2c). Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass als Pulsstrecker (7) ein gechirpter Bragg-Reflektor vorgesehen ist.
Abstract translation: 的测量装置（1），用于测量激光脉冲（2）包括一个分束器（4），用于产生两个激光脉冲副本，一个Pulsverdoppler（4），用于将第一激光脉冲复制到两个部分脉冲（2A，2B）与来自彼此的时间间隔，和脉冲展宽器 （7）的所述第二激光脉冲拷贝的时间展宽到延伸的激光脉冲（2）和一个混频器（11），用于产生两个分脉冲的频率混合信号（12）（图2a，2b）和所述扩展的激光脉冲（图2c）。 本发明的特征在于，啁啾布拉格反射器被作为一个脉冲展宽器（7）提供。
-
10.发明申请
公开(公告)号：WO2013140159A1
公开(公告)日：2013-09-26
申请号：PCT/GB2013/050712
申请日：2013-03-19
Applicant: ISIS INNOVATION LTD
Inventor： BOOTH, Martin , SALTER, Patrick , SIMMONDS, Richard
CPC classification number: H01S3/0057 , G01J11/00 , G02B13/22 , G02B26/007 , G02B26/02 , G02B26/06 , G02B26/0816 , G02B26/0825 , G02B26/0833 , G02B26/0841 , G02B27/0068 , G02B27/09 , G02F1/01 , H01S3/10053
Abstract: In a method and system for controlling the shape of an optical pulse, the two-dimensional shape of the phase front is controlled using a first control device and the shape of the phase front and the two-dimensional shape of the pulse front is controlled using a second control device. The combined effect on the phase front results in a desired overall phase front control and the second device provides the desired overall pulse front control. This enables the phase front control and pulse front control to be decoupled. Correcting for pulse lengthening of femtosecond laser pulses during focusing by a dispersive lens. The spatially varying phase (72) introduced by the lens can be corrected for by a spatial light modulator like (SLM) a liquid crystal modulator. The spatially varying arrival time at the focus (70) can be compensated for by a deformable mirror (DM). A controller with a feedback loop and pulse characterization in the focus can compensate for the errors introduced by any dispersive focusing means.
Abstract translation: 在用于控制光脉冲形状的方法和系统中，使用第一控制装置控制相位前端的二维形状，并且使用相位前沿的形状和脉冲前沿的二维形状来控制 第二控制装置。 对相位前沿的组合效应导致期望的整体相位前沿控制，并且第二装置提供期望的总体脉冲前沿控制。 这使得相位前沿控制和脉冲前沿控制能够解耦。 通过色散透镜校正飞秒激光脉冲的脉冲延长。 由透镜引入的空间变化相（72）可以通过液晶调制器（SLM）等空间光调制器进行校正。 在焦点（70）处的空间变化的到达时间可以由可变形反射镜（DM）补偿。 在焦点中具有反馈回路和脉冲表征的控制器可以补偿由任何色散聚焦装置引入的误差。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
156
records
(took 0.019 seconds)
