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    GAS OPTIMIZATION IN A GAS DISCHARGE LIGHT SOURCE
    1.
    发明申请
    GAS OPTIMIZATION IN A GAS DISCHARGE LIGHT SOURCE 审中-公开
    气体放散光源的气体优化

    公开(公告)号：WO2017142705A1

    公开(公告)日：2017-08-24

    申请号：PCT/US2017/015889

    申请日：2017-01-31

    申请人： CYMER, LLC

    发明人： AGGARWAL, Tanuj

    IPC分类号： H01S3/11 ,  H01S3/23 ,  H01S3/036 ,  H01S3/225

    CPC分类号： H01S3/134 ,  H01S3/036 ,  H01S3/0385 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/08036 ,  H01S3/09705 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/104 ,  H01S3/1305 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2308 ,  H01S3/2366

    摘要： One or more operating characteristics of a light source are adjusted by estimating a plurality of extreme values of operating parameters of the light source while operating the light source under a set of extreme test conditions. For each extreme test condition, a group of pulses of energy is supplied to a first gas discharge chamber of the light source while operating the first gas discharge chamber under the extreme test condition to produce a first pulsed amplified light beam; a group of pulses of energy is supplied to a second gas discharge chamber of the light source while operating the second «as discharge chamber under the extreme test condition to produce a second pulsed amplified light beam. An extreme value of an operating parameter for the extreme test condition is measured to thereby estimate the extreme value of the operating parameter.

    摘要翻译： 通过在一组极端测试条件下操作光源的同时估计光源的操作参数的多个极值来调整光源的一个或多个操作特性。 对于每种极端测试条件，在极端测试条件下操作第一气体放电室的同时，将一组能量脉冲提供给光源的第一气体放电室，以产生第一脉冲放大光束; 一组能量脉冲被提供给光源的第二气体放电室，同时在极端测试条件下操作第二放电室作为放电室以产生第二脉冲放大光束。 测量极端测试条件的运行参数的极值，从而估计运行参数的极值。

    LASER BEAM GENERATING DEVICE AND METHOD FOR ADJUSTING A WAVELENGTH OF A LASER BEAM
    2.
    发明申请
    LASER BEAM GENERATING DEVICE AND METHOD FOR ADJUSTING A WAVELENGTH OF A LASER BEAM 审中-公开
    激光束生成装置和调整激光束波长的方法

    公开(公告)号：WO2015158929A1

    公开(公告)日：2015-10-22

    申请号：PCT/EP2015059079

    申请日：2015-04-27

    申请人： DIRECTPHOTONICS IND GMBH

    发明人： FERRARIO FABIO ,  KRUSCHKE BASTIAN ,  FRITSCHE HARO ,  KOCH RALF

    IPC分类号： H01S5/14 ,  H01S3/08 ,  H01S5/40

    CPC分类号： H01S5/0078 ,  H01S3/08027 ,  H01S3/08036 ,  H01S5/0228 ,  H01S5/141 ,  H01S5/4012 ,  H01S5/4062 ,  H01S5/4068 ,  H01S5/4075 ,  H01S5/4087

    摘要： The current invention concerns a laser beam generating device and a method for adjusting a wavelength of a laser beam. The current invention addresses the objective of further improving laser beam generation and wavelength adjustment. The current invention particularly allows for simplifying the combination of laser source elements such that they operate at different, but controlled, wavelengths with their beams overlapping. The laser beam generating device (100) comprises at least one laser source element (11) and an external cavity. The external cavity comprises an output coupler (40) and a periodic filter element (30) arranged between the laser source element (11) and the output coupler (40). The laser beam generating device further comprises at least two cut-off filter elements (21, 22) each arranged between the laser source element (11) and the periodic filter element (30).

    摘要翻译： 本发明涉及激光束产生装置和用于调节激光束的波长的方法。 本发明解决了进一步改进激光束产生和波长调节的目的。 本发明特别允许简化激光源元件的组合，使得它们以不同波长但受控制的波长在波束重叠的情况下工作。 激光束产生装置（100）包括至少一个激光源元件（11）和外部空腔。 外部空腔包括输出耦合器（40）和布置在激光源元件（11）和输出耦合器（40）之间的周期性滤波器元件（30）。 激光束产生装置还包括至少两个分别布置在激光源元件（11）和周期性滤光器元件（30）之间的截止滤光元件（21,22）。

    准分子激光器复合腔
    3.
    发明申请
    准分子激光器复合腔 审中-公开

    公开(公告)号：WO2014094262A1

    公开(公告)日：2014-06-26

    申请号：PCT/CN2012/086971

    申请日：2012-12-20

    申请人： 中国科学院光电研究院

    发明人： 周翊 ,  单耀莹 ,  范元媛 ,  宋兴亮 ,  张立佳 ,  崔惠绒 ,  王宇

    IPC分类号： H01S3/08 ,  H01S3/10

    CPC分类号： H01S3/08004 ,  H01S3/08 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/08036 ,  H01S3/082 ,  H01S3/10 ,  H01S3/225

    摘要： 本发明公开了一种准分子激光器复合腔，包括激光放电腔、激光输出模块、线宽压窄模块和激光放大模块，所述激光放电腔内包含有工作气体，该工作气体在激励源作用下能产生激光，其中所述激光放电腔、激光输出模块和线宽压窄模块构成一个线宽压窄腔，用于对所述工作气体产生的激光进行线宽压窄；所述激光放电腔、激光输出模块和激光放大模块构成一个放大腔，用于对所述经线宽压窄后的激光进行能量放大。本发明不仅可以实现准分子激光器窄线宽的输出，而且通过复合腔的设计，可以提高输出激光的能量及稳定性，同时本发明的复合腔结构简单，便于加工，调谐方便。

    波長変換レーザ光源及び画像表示装置
    4.
    发明申请
    波長変換レーザ光源及び画像表示装置 审中-公开
    波长转换激光光源和图像显示设备

    公开(公告)号：WO2011132414A1

    公开(公告)日：2011-10-27

    申请号：PCT/JP2011/002314

    申请日：2011-04-20

    申请人： パナソニック株式会社 ,  堀川 信之 ,  楠亀 弘一 ,  杉田 知也 ,  古屋 博之

    发明人： 堀川　信之 ,  楠亀　弘一 ,  杉田　知也 ,  古屋　博之

    IPC分类号： H01S3/109 ,  G02F1/13357 ,  G02F1/37 ,  G03B21/14

    CPC分类号： G02F1/3544 ,  G02F1/3532 ,  G02F2001/3503 ,  G02F2001/3548 ,  G03B21/2033 ,  H01S3/08036 ,  H01S3/09415 ,  H01S3/109 ,  H01S3/1611 ,  H01S3/1673

    摘要： 　基本波光を発生するレーザ媒質と、前記基本波光をレーザ発振させるためのレーザ共振器と、前記レーザ共振器からレーザ発振された前記基本波光を異なる波長の変換光へと変換する波長変換領域を備えた波長変換素子と、前記レーザ媒質を励起するための励起レーザ光源と、を備え、前記レーザ共振器は、前記基本波を反射する少なくとも１つの反射面と、前記波長変換素子の端面に設けられ、前記基本波を反射する第１反射要素と、を含み、前記波長変換領域は、前記少なくとも１つの反射面と前記第１反射要素との間に配置され、前記波長変換素子は、前記波長変換領域に形成された周期状の第１分極反転構造と、前記第１反射要素と前記波長変換領域との間に形成された非変換領域と、を含み、前記非変換領域は、前記基本波光を前記変換光へ変換しないことを特徴とする波長変換レーザ光源。

    摘要翻译： 公开了一种波长转换激光光源，其特征在于包括：产生基波光的激光介质; 用于激光振荡基波光的激光谐振器; 以及波长转换元件，其具有将从激光谐振器激光振荡的基波光转换成具有不同波长的转换光的波长转换区域。 波长转换激光光源的特征还在于：激光谐振器包括反射基波的至少一个反射表面，并包括反射基波的第一反射元件，并设置在波长转换元件的端面上; 所述波长转换区域位于所述至少一个反射表面和所述第一反射元件之间; 所述波长转换元件包括形成在所述波长转换区域中的周期性第一极化反转结构和形成在所述第一反射元件和所述波长转换区域之间的非转换区域; 以及不将基波光转换成转换光的非转换区域。

    モード同期ファイバーレーザーおよびモード同期ファイバーレーザーを用いたパルスレーザー光の発振方法
    5.
    发明申请
    モード同期ファイバーレーザーおよびモード同期ファイバーレーザーを用いたパルスレーザー光の発振方法 审中-公开
    使用模式锁定光纤激光器的脉冲激光器的锁模光纤激光器和振荡方法

    公开(公告)号：WO2010029663A1

    公开(公告)日：2010-03-18

    申请号：PCT/JP2009/002417

    申请日：2009-06-01

    申请人： 株式会社メガオプト ,  浦田佳治 ,  和田智之

    发明人： 浦田佳治 ,  和田智之

    IPC分类号： H01S3/106 ,  H01S3/06 ,  H01S3/11

    CPC分类号： H01S3/1118 ,  H01S3/0675 ,  H01S3/08036 ,  H01S3/10046 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/106 ,  H01S3/1062 ,  H01S3/1109

    摘要： 　従来の技術と比較すると、装置構成をあまり複雑化することなく、パルス発振されるレーザー光の繰り返し周波数をより広い範囲で変更することを可能にし、利得ファイバーの一方の端部側にモード同期手段を配置し、かつ、上記利得ファイバーの他方の端部側にそれぞれが異なる波長の光を高反射率で反射する複数の帰還素子を配置して、上記モード同期手段と上記帰還素子とにより共振器を構成し、上記共振器内に上記利得ファイバーにより発振するレーザー光の波長を選択する波長選択手段を有する。

    摘要翻译： 与传统技术相比，锁模光纤激光器的器件结构不是太复杂，脉冲激光的重复频率可以在更宽的范围内变化。 在增益光纤的一端配置有模式锁定装置，并且在增益光纤的另一端设置多个反射具有高反射率的不同波长光的反馈元件。 模式锁定装置和反馈元件构成谐振器，并且谐振器具有用于选择由增益光纤泵浦的激光的波长的波长选择装置。

    ACTIVE BANDWIDTH CONTROL FOR A LASER
    7.
    发明申请
    ACTIVE BANDWIDTH CONTROL FOR A LASER 审中-公开
    激光的主动带宽控制

    公开(公告)号：WO2007005511A3

    公开(公告)日：2007-06-14

    申请号：PCT/US2006025349

    申请日：2006-06-28

    申请人： CYMER INC ,  REILEY DANIEL J ,  RYLOV GERMAN E ,  BERGSTEDT ROBERT A

    发明人： REILEY DANIEL J ,  RYLOV GERMAN E ,  BERGSTEDT ROBERT A

    IPC分类号： H01S3/10

    CPC分类号： G03F7/70575 ,  G03F7/70025 ,  H01S3/005 ,  H01S3/08036 ,  H01S3/106 ,  H01S3/137 ,  H01S3/225

    摘要： In a first aspect, a lithography apparatus may comprise a mask designed using optical proximity correction (OPC), a pulsed laser source, and an active bandwidth control system configured to increase the bandwidth of a subsequent pulse in response to a measured pulse bandwidth that is below a predetermined bandwidth range and increase a bandwidth of a subsequent pulse in response to a measured pulse bandwidth that is above the predetermined bandwidth range. In another aspect an active bandwidth control system may include an optic for altering a wavefront of a laser beam in a laser cavity of the laser source to selectively adjust an output laser bandwidth in response to the control signal. In yet another aspect, the bandwidth of a laser having a wavelength variation across an aperture may be actively controlled by an aperture blocking element that is moveable to adjust a size of the aperture.

    摘要翻译： 在第一方面，光刻设备可以包括使用光学邻近校正（OPC），脉冲激光源和有源带宽控制系统设计的掩模，该有源带宽控制系统被配置为响应于测量的脉冲带宽而增加后续脉冲的带宽， 低于预定带宽范围，并且响应于高于预定带宽范围的测量脉冲带宽增加随后脉冲的带宽。 在另一方面，有源带宽控制系统可以包括用于改变激光源的激光腔中的激光束的波前的光学器件，用于响应于控制信号选择性地调节输出激光器带宽。 在另一方面，具有穿过孔的波长变化的激光器的带宽可以由可移动以调节孔径的孔径阻挡元件主动地控制。

    FIBER GRATING COUPLED LIGHT SOURCE CAPABLE OF TUNABLE, SINGLE FREQUENCY OPERATION
    10.
    发明申请
    FIBER GRATING COUPLED LIGHT SOURCE CAPABLE OF TUNABLE, SINGLE FREQUENCY OPERATION 审中-公开
    光纤光栅耦合光源，单频，单频操作

    公开(公告)号：WO99060677A1

    公开(公告)日：1999-11-25

    申请号：PCT/US1999/010710

    申请日：1999-05-14

    IPC分类号： H01S3/00 ,  H01S3/098 ,  H01S5/00 ,  H01S5/062 ,  H01S5/12 ,  H01S5/14 ,  H01S3/085

    CPC分类号： H01S3/08036 ,  H01S3/005 ,  H01S3/1053 ,  H01S5/005 ,  H01S5/0622 ,  H01S5/1206 ,  H01S5/141 ,  H01S5/146

    摘要： Fiber Bragg grating coupled light sources can acheive tunable single-frequency (single axial and lateral spatial mode) operation by correcting for a quadratic phase variation in the lateral dimension using an aperture stop. The output of a quasi-monochromatic light source such as a Fabry-Perot laser diode is astigmatic. As a consequence of the astigmatism, coupling geometries that accommodate the transverse numerical aperture of the laser are defocused in the lateral dimension, even for apsherical optics. The mismatch produces the quadratic phase variation in the feedback along the lateral axis at the facet of the laser that excites lateral modes of higher order than the TM00. Because the instability entails excitation of higher order lateral submodes, single frequency operation also is accomplished by using fiber Bragg gratings whose bandwidth is narrower than the submode spacing. This technique is particularly pertinent to the use of lensed fiber gratings in lieu of discrete coupling optics. Stable device operation requires overall phase match between the fed-back signal and the laser output. The fiber Bragg grating acts as a phase-preserving mirror when the Bragg condition is met precisely. The phase-match condition is maintained throughout the fiber tuning range by matching the Fabry-Perot axial mode wavelength to the passband center wavelength of the Bragg grating.

    摘要翻译： 光纤布拉格光栅耦合光源可以通过使用孔径光阑校正横向尺寸的二次相位变化来实现可调谐单频（单轴向和横向空间模式）操作。 诸如法布里 - 珀罗激光二极管的准单色光源的输出是散光的。 作为散光的结果，即使对于球面光学器件，适应激光器的横向数值孔径的耦合几何也在侧向尺寸上散焦。 该不匹配产生激光横截面上沿横轴的二次相位变化，激发比TM00更高阶的横向模式。 由于不稳定性需要激发高阶横向子模式，单频操作也可以通过使用带宽窄于子模式间距的光纤布拉格光栅来实现。 这种技术与使用透镜光纤光栅代替离散耦合光学器件特别相关。 稳定的器件操作需要反馈信号和激光输出之间的整体相位匹配。 光纤布拉格光栅作为相位保持镜，当布拉格条件被精确地满足时。 通过将法布里 - 珀罗轴模式波长与布拉格光栅的通带中心波长匹配，在整个光纤调谐范围内保持相位匹配条件。