レーザ装置及び極端紫外光生成システム
    2.
    发明申请
    レーザ装置及び極端紫外光生成システム 审中-公开
    激光器件和超极紫外光发生系统

    公开(公告)号:WO2016142995A1

    公开(公告)日:2016-09-15

    申请号:PCT/JP2015/056653

    申请日:2015-03-06

    Abstract:  レーザ装置は、マスタオシレータと、複数の増幅器と、レーザ光路を逆行する光を検出する光センサ装置と、制御部と、を含んでもよい。光センサ装置は、レーザ光路を逆行する光のエネルギを検出する第1光センサと、レーザ光路を逆行する光のパワーを検出する第2光センサと、を含んでもよい。制御部は、エネルギ検出信号の強度が第1閾値を超えた場合、戻り光が発生していると判定してもよい。制御部は、パワー検出信号の強度が第2閾値を超えた場合、自励発振光が発生していると判定してもよい。

    Abstract translation: 该激光装置可以包括主振荡器,多个放大器,检测在激光路径中向后行进的光的光学传感器装置和控制单元。 光传感器装置可以包括检测在激光路径中向后行进的光的能量的第一光学传感器和检测在激光路径中向后行进的光的功率的第二光学传感器。 在能量检测信号的强度超过第一阈值的情况下,控制单元可以确定产生返回光。 在功率检测信号的强度超过第二阈值的情况下,控制单元可以确定产生自振荡光。

    METHOD AND APPARATUS FOR TEMPORALLY CONCENTRATING PUMP POWER TO SUPPORT GENERATION OF HIGH PEAK-POWER PULSE BURSTS OR OTHER TIME-VARYING LASER OUTPUT WAVEFORMS
    3.
    发明申请
    METHOD AND APPARATUS FOR TEMPORALLY CONCENTRATING PUMP POWER TO SUPPORT GENERATION OF HIGH PEAK-POWER PULSE BURSTS OR OTHER TIME-VARYING LASER OUTPUT WAVEFORMS 审中-公开
    用于临时浓缩泵浦功率的方法和装置来支持高功率脉冲脉冲串或其他时变激光输出波形的产生

    公开(公告)号:WO2016081042A1

    公开(公告)日:2016-05-26

    申请号:PCT/US2015/047745

    申请日:2015-08-31

    Abstract: A method includes accumulating (604, 704) optical pump power in a first laser gain medium (218) during a first period of time (TS), where the first laser gain medium is optically located within a resonator (302, 304, 402-406). The method also includes providing (608, 706) at least some of the accumulated optical pump power as a first laser output with a feedback-controlled waveform from the first laser gain medium to a second laser gain medium (204) during a second period of time (TP), where the second period of time is substantially shorter than the first period of time. The method further includes generating (610, 708) a second laser output having a burst (102) of laser pulses (104) using the second laser gain medium as a power amplifier (204). The first and second laser outputs have higher power levels during the second period of time compared to a power level of the optical pump power during the first period of time.

    Abstract translation: 一种方法包括在第一时间段(TS)期间在第一激光增益介质(218)中累积(604,704)光泵浦功率,其中第一激光增益介质光学地位于谐振器(302,304,402- 406)。 该方法还包括在第二激光增益介质(204)的第二周期期间,将累积的光泵浦功率中的至少一些作为第一激光输出提供(608,706),其具有从第一激光增益介质到第二激光增益介质(204)的反馈控制波形 时间(TP),其中第二时间段显着短于第一时间段。 该方法还包括使用第二激光增益介质作为功率放大器(204)产生具有激光脉冲(104)脉冲串(102)的第二激光输出(610,708)。 与第一时间段内的光泵功率的功率水平相比,第一和第二激光输出在第二时间段内具有更高的功率水平。

    CRYSTAL MOUNT FOR LASER APPLICATION
    4.
    发明申请
    CRYSTAL MOUNT FOR LASER APPLICATION 审中-公开
    用于激光应用的水晶安装

    公开(公告)号:WO2016044644A1

    公开(公告)日:2016-03-24

    申请号:PCT/US2015/050780

    申请日:2015-09-17

    Abstract: An optical crystal can be mounted to a mounting block configured to receive the crystal. A base portion on the mounting block utilizes two walls forming a corner and a single biasing spring clip to secure the crystal. The spring clip applies forces in two different directions substantially orthogonal to the two walls. The spring clip is based off a symmetrical geometry which applies nearly the same force application in both directions. The spring also features rounded bend regions that contact the crystal in such a way as to reduce the presence of point loads or stress risers. The length of contact along the crystal is maximized, allowing for proper force distribution and a sufficient surface are contact for static holding capabilities.

    Abstract translation: 光学晶体可以安装到被配置为接收晶体的安装块。 安装块上的基座部分使用形成角部的两个壁和用于固定晶体的单个偏置弹簧夹。 弹簧夹在基本上垂直于两个壁的两个不同方向上施加力。 弹簧夹基于对称的几何形状,其在两个方向上施加几乎相同的力应用。 该弹簧还具有圆形弯曲区域,其与晶体接触以减少点载荷或应力梯度的存在。 沿着晶体的接触长度最大化,允许适当的力分布和足够的表面接触静电保持能力。

    LASER LIGHT-SOURCE APPARATUS AND LASER PULSE LIGHT GENERATING METHOD
    5.
    发明申请
    LASER LIGHT-SOURCE APPARATUS AND LASER PULSE LIGHT GENERATING METHOD 审中-公开
    激光光源装置和激光脉冲发光方法

    公开(公告)号:WO2015122374A3

    公开(公告)日:2015-10-15

    申请号:PCT/JP2015053458

    申请日:2015-02-09

    Abstract: This relatively inexpensive, compact laser light source device improves energy utilization efficiency when amplifying pulse light with a solid state amplifier and removes heat-generating loss of the amplifier, and comprises: a seed light source (10); a fiber amplifier that amplifies the pulse light output from the seed light source using gain switching; a solid-state amplifier that further amplifies that output; a non-linear optical element that performs wavelength conversion on the pulse light outputted from the solid-state amplifier; a light-switching element (40) which reduces ASE noise and which is positioned between the fiber amplifier (30) and the solid-state amplifier (50); and a control unit (100). The control unit controls the light-switching element so as to allow the propagation of light during the output of pulse light from the seed light source and hinder the propagation of light while pulse light is not being output, and cyclically or intermittently controls the excitation light source of the fiber amplifier and/or the solid-state amplifier in such a manner that the fiber amplifier and/or the solid-state amplifier inverts the pulse light output from the seed light source before input.

    Abstract translation: 这种相对便宜的紧凑型激光光源装置在用固态放大器放大脉冲光时提高了能量利用效率,并且消除了放大器的发热损失,并且包括:种子光源(10); 光纤放大器,利用增益切换放大从种子光源输出的脉冲光; 固态放大器,进一步放大该输出; 对从固态放大器输出的脉冲光进行波长转换的非线性光学元件; 光隔离元件(40),其减少ASE噪声并位于光纤放大器(30)和固态放大器(50)之间; 和控制单元(100)。 控制单元控制光开关元件,以便在来自种子光源的脉冲光的输出期间允许光的传播,并且在脉冲光不被输出时阻碍光的传播,并循环或间歇地控制激发光 光纤放大器和/或固态放大器的源极,使得光纤放大器和/或固态放大器在输入之前反转从种子光源输出的脉冲光。

    波長変換装置
    6.
    发明申请
    波長変換装置 审中-公开
    波长转换器

    公开(公告)号:WO2015125635A2

    公开(公告)日:2015-08-27

    申请号:PCT/JP2015/053461

    申请日:2015-02-09

    Abstract:  光学素子等が外気に晒されて劣化するような事態を極力回避して、非線形光学素子の交換作業を速やかに行なうことができる波長変換装置1Fで、ケーシング700が隔壁730を介して領域分割され、一方に入射窓720が設けられ、方に出射窓750が設けられる。非線形光学素子70が収容された収容部80と、収容部を着脱自在に固定するとともに入射窓720から入射したレーザ光の光軸と直交する方向に非線形光学素子70を収容部と一体に移動させるステージ71と、収容部80から出射して隔壁に形成した開口740を通過したレーザ光を出射窓750に導く光学系M5,M6と、収容部と隔壁に形成された開口740とを接続するフレキシブルチューブ800とを備え、パージガス供給部910から収容部80に供給されたパージガスがフレキシブルチューブを介してケーシングの他方の領域に供給される。

    Abstract translation:

    如尽可能的光学元件避免的情况,当暴露于环境空气,使得降解,在波长转换装置1F它可以快速地进行,并且更换非线性光学元件的,壳体700 分隔壁通过分隔壁730分隔,分隔壁730中的一个设置有入口窗720,另一个设置有出口窗750。 用于非线性光学元件70的容纳部80被容纳于移动非线性光学元件70与壳体一体部分可拆卸垂直的方向固定到壳体部入射的激光的从入口窗720的光轴 柔性连接的台71,一个光学系统M5,M6导致穿过形成在分隔壁上的孔740中的激光束的出射窗750被从壳体部80和形成在壳体部分中的开口740和隔壁发射 以及管800.从净化气体供应单元910供应到壳体单元80的净化气体经由挠性管供应到壳体的另一区域。

    レーザ光源装置及びレーザパルス光生成方法
    7.
    发明申请
    レーザ光源装置及びレーザパルス光生成方法 审中-公开
    激光光源装置和激光脉冲发光方法

    公开(公告)号:WO2015122375A2

    公开(公告)日:2015-08-20

    申请号:PCT/JP2015/053459

    申请日:2015-02-09

    Abstract:  装置から一時的にパルス光の出力を停止させる場合に、固体増幅器の過剰励起に起因する破損を回避するとともに、出力再開直後のビーム伝播特性の劣化を回避できるレーザ光源装置で、ゲインスイッチンング法を用いて種光源10から出力されるパルス光を増幅するファイバ増幅器20,30及び固体増幅器50と、固体増幅器から出力されるパルス光を波長変換する非線形光学素子60,70と、ファイバ増幅器から固体増幅器へのパルス光の伝播を許容または阻止する光スイッチ素子40と、種光源10からのパルス光の出力期間に光の伝播を阻止し、種光源からのパルス光の出力期間と異なる期間に光の伝播を許容するように光スイッチ素子40を制御することにより、非線形光学素子60,70からパルス光の出力を停止する出力停止状態を生成するように構成されている制御部100とを備えている。

    Abstract translation: 提供了一种激光光源装置,其可以避免当来自装置的脉冲光的输出暂时停止时固体放大器的过度激励造成的损耗,并且在输出后立即进行光束传播特性的劣化 重启后可以避免。 激光光源装置包括:光纤放大器(20,30)和固态放大器(50),其通过增益切换放大从种子光源(10)输出的脉冲光; 对从固体放大器输出的脉冲光进行波长转换的非线性光学元件(60,70) 允许或阻止脉冲光从光纤放大器传播到固态放大器的光开关元件(40); 以及控制单元(100),其控制所述光开关元件(40),以便阻止来自所述种子光源(10)的脉冲光输出期间的光的传播,并且允许在不存在脉冲光的同时传播光 从种子光源输出,从而产生停止来自光学元件(60,70)的脉冲光的输出的输出停止状态。

    LASER APPARATUS AND EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION SYSTEM
    8.
    发明申请
    LASER APPARATUS AND EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION SYSTEM 审中-公开
    激光装置和极光超紫外光发生系统

    公开(公告)号:WO2013144690A1

    公开(公告)日:2013-10-03

    申请号:PCT/IB2013/000029

    申请日:2013-01-09

    Abstract: A laser apparatus may include a master oscillator, an optical unit provided in a beam path of a laser beam from the master oscillator, a beam adjusting unit provided upstream from the optical unit in a beam path of the laser beam and configured for adjusting at least one of a beam path and a wavefront of the laser beam, a first detection unit provided between the beam adjusting unit and the optical unit in a beam path of the laser beam and configured for detecting the laser beam, a second detection unit provided downstream from the optical unit in a beam path of the laser beam and configured for detecting the laser beam, and a controller configured for controlling the beam adjusting unit based on outputs from the first and second detection units.

    Abstract translation: 激光装置可以包括主振荡器,设置在来自主振荡器的激光束的光束路径中的光学单元,光束调节单元,其设置在激光束的光束路径中的光学单元的上游,并被配置为至少调节 激光束的光束路径和波前的一个;第一检测单元,设置在激光束的光束路径中的光束调整单元和光学单元之间,并且被配置为检测激光束;第二检测单元, 激光束的光束路径中的光学单元,被配置为检测激光束;以及控制器,被配置为基于来自第一和第二检测单元的输出来控制光束调整单元。

    ファイバレーザ装置
    9.
    发明申请
    ファイバレーザ装置 审中-公开
    光纤激光装置

    公开(公告)号:WO2011055812A1

    公开(公告)日:2011-05-12

    申请号:PCT/JP2010/069786

    申请日:2010-11-08

    Abstract:  出力されるレーザ光の立ち上がり期間短くしつつ、出力されるレーザ光の立ち上がり期間のばらつきを抑制することができるファイバレーザ装置を提供する。 ファイバレーザ装置100は、種レーザ光源10と、励起光源20と、増幅用光ファイバ30と、制御部60と、出力設定部63と、出力命令部65とを備え、出力命令が制御部60に入力されるとき、制御部60は、予備励起状態と、出力状態となる様に種レーザ光源10と励起光源20とを制御し、予備励起状態においては、レーザ光が種レーザ光源10から出力されず、出力設定部63により設定されるレーザ光の強度に基づく所定の強度の励起光が励起光源20から一定期間出力され、出力状態においては、出力設定部により設定される強度のレーザ光が出力されるように、レーザ光が種レーザ光源10から出力されると共に励起光が励起光源20から出力されることを特徴とする。

    Abstract translation: 提供一种光纤激光装置,其中可以限制要输出的激光束的上升时间的变化,同时缩短输出的激光束的上升时间。 光纤激光装置(100)包括种子激光束源(10),激发光源(20),放大光纤(30),控制单元(60),输出设定单元(63)和 输出指令单元(65),并且当输出命令被输入到控制单元(60)时,控制单元(60)将控制种子激光束源(10)和激发光源(20),使得准备 激发状态和输出状态。 在准备激励状态下,激光束不从种子激光源(10)输出,基于由输出设定部(63)设定的激光束强度的规定强度的激发光从 激励光源(20)在规定时间段内,在输出状态下,从种子激光源(10)输出激光,从激发光源(20)输出激发光,使激光 输出由输出设定单元设定的强度的光束。

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