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    TREIBERLASERANORDNUNG MIT EINEM OPTISCHEN ISOLATOR UND EUV-STRAHLUNGSERZEUGUNGSVORRICHTUNG DAMIT
    3.
    发明申请
    TREIBERLASERANORDNUNG MIT EINEM OPTISCHEN ISOLATOR UND EUV-STRAHLUNGSERZEUGUNGSVORRICHTUNG DAMIT 审中-公开
    具有光学隔离器的驱动器激光组件和EUV辐射发生装置

    公开(公告)号：WO2017137074A1

    公开(公告)日：2017-08-17

    申请号：PCT/EP2016/052774

    申请日：2016-02-10

    Applicant: TRUMPF LASERSYSTEMS FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING GMBH

    Inventor： BRUNNE, Jens ,  WISSERT, Matthias ,  KRAUSS, Günther

    IPC: H01S3/00 ,  H05G2/00 ,  H01S3/23 ,  H01S3/223

    CPC classification number: H05G2/008 ,  H01S3/0064 ,  H01S3/2232 ,  H01S3/23

    Abstract: Die Erfindung betrifft eine Treiberlaseranordnung (12) für eine EUV-Strahlungserzeugungsvorrichtung (1), umfassend: eine Strahlquelle (2) zur Erzeugung von Laserstrahlung (7), die in einer ersten Richtung (R1) propagiert, eine Verstärkeranordnung (3) mit mindestens einem optischen Verstärker (4a-e) zur Verstärkung der in der ersten Richtung (R1) propagierenden Laserstrahlung (7), sowie mindestens einen optischen Isolator (13). Der optische Isolator (13) weist eine mit einem Gas (20) gefüllte Kammer (14) auf, die von der in der ersten Richtung (R1) propagierenden Laserstrahlung (7) durchlaufen wird. Der optische Isolator (13) weist auch eine Plasmaerzeugungseinrichtung (16, 17) auf, die zur gepulsten Zündung eines Plasmas (21) in dem Gas (20) der Kammer (14) ausgebildet ist, um einen Durchtritt von Laserstrahlung (7a), die in einer zweiten, der ersten entgegen gesetzten Richtung (R2) propagiert, durch die Kammer (14) zu unterdrücken. Die Erfindung betrifft auch eine EUV-Strahlungserzeugungsvorrichtung (1), welche eine solche Treiberlaseranordnung (12), eine Vakuum-Kammer (11), in der ein Target-Material (8) anordenbar ist, sowie eine Strahlführungseinrichtung (5) zur Führung der in der ersten Richtung (R1) propagierenden Laserstrahlung (7, 7a) von der Treiberlaseranordnung (12) zu dem Target-Material (8) aufweist.

    Abstract translation:

    本发明涉及一种用于产生EUV辐射的导航用途ř装置（1），其包括一个驱动激光组件（12）：光束源（2），用于产生激光辐射（7）在第一方向（R1） 具有用于放大沿第一方向（R1）传播的激光辐射（7）的至少一个光放大器（4a-e）的放大器装置（3）和至少一个光隔离器（13）。 光学隔离器（13）具有填充有气体（20）的腔室（14），气体（20）沿着沿第一方向（R1）传播的激光辐射（7）横穿。 光隔离器（13），还包括等离子生成装置在其上室的气体（20）（14）在等离子体（21）的脉冲Ž导航用途发明形成为激光束的通路（7a）的（16,17） 其沿第二相反方向（R2）传播以被腔室（14）抑制。 本发明还涉及一种EUV辐射产生装置（1），其包括这样的驾驶员激光器阵列（12），其中靶材料（8）可被设置在真空室（11），和一个Strahlf导航使用导向装置（5）适用于F导航使用 包括从所述激励器装置（12）沿所述第一方向（R1）传播到所述靶材料（8）的所述激光辐射（7,7a）

    CARBON MONOXIDE LASER MACHINING SYSTEM
    4.
    发明申请
    CARBON MONOXIDE LASER MACHINING SYSTEM 审中-公开
    一氧化碳激光加工系统

    公开(公告)号：WO2017030738A1

    公开(公告)日：2017-02-23

    申请号：PCT/US2016/043627

    申请日：2016-07-22

    Applicant: COHERENT, INC.

    Inventor： MUELLER, Eric, R. ,  BELLOS, Michael, Alexander

    IPC: H01S3/00 ,  H01S3/223 ,  B23K26/06 ,  B23K26/08 ,  H01S3/08

    CPC classification number: B23K26/0643 ,  B23K26/032 ,  B23K26/06 ,  B23K26/062 ,  B23K26/064 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/0665 ,  B23K26/08 ,  H01S3/005 ,  H01S3/0064 ,  H01S3/0071 ,  H01S3/0085 ,  H01S3/08086 ,  H01S3/2232

    Abstract: Laser-machining apparatus includes a carbon monoxide (CO) laser emitting a beam of laser-radiation having forty-four different wavelength components and optical elements for delivering the radiation to workpiece. An acousto-optic modulator is provided for modulating the beam on the workpiece. A birefringent plate is provided in the beam transported to the workpiece for randomly polarizing radiation incident on the workpiece. A minimum distance of the workpiece from the laser, and the number of different-wavelength components in the laser beam provides that no optical isolator is required for preventing feedback of radiation into the laser.

    Abstract translation: 激光加工设备包括发射具有四十四种不同波长分量的激光辐射束的一氧化碳（CO）激光器和用于将辐射传送到工件的光学元件。 提供了用于调制工件上的光束的声光调制器。 在输送到工件的光束中设置双折射板，用于随机偏振入射在工件上的辐射。 工件与激光器的最小距离以及激光束中的不同波长分量的数量提供了不需要光隔离器来防止辐射反射到激光器中。

    OPTICAL AMPLIFIER MODULE
    5.
    发明申请
    OPTICAL AMPLIFIER MODULE 审中-公开
    光放大器模块

    公开(公告)号：WO2016149622A1

    公开(公告)日：2016-09-22

    申请号：PCT/US2016/023146

    申请日：2016-03-18

    Applicant: II-VI INCORPORATED

    Inventor： GARRETT, Mark, H. ,  GURUSAMI, Aravanan ,  MCCLEAN, Ian, Peter ,  ZAYER, Nadhum ,  GREEN, Eric, Timothy ,  FILIPOWICZ, Mark ,  MARTINELLI, Massimo

    IPC: G02F1/39 ,  G02F1/383

    CPC classification number: H01S3/06704 ,  G02B6/3897 ,  G02B6/4256 ,  G02B26/023 ,  H01S3/0064 ,  H01S3/0071 ,  H01S3/0078 ,  H01S3/06758 ,  H01S3/094003 ,  H01S3/094049 ,  H01S3/094053 ,  H01S3/0941 ,  H01S3/1608 ,  H01S3/302 ,  H04B10/11 ,  H04B10/291 ,  H04B2210/003

    Abstract: An optical amplifier module is configured as a multi-stage free-space optics arrangement, including at least an input stage and an output stage. The actual amplification is provided by a separate fiber-based component coupled to the module. A propagating optical input signal and pump light are provided to the input stage, with the amplified optical signal exiting the output stage. The necessary operations performed on the signal within each stage are provided by directing free- space beams through discrete optical components. The utilization of discrete optical components and free-space beams significantly reduces the number of fiber splices and other types of coupling connections required in prior art amplifier modules, allowing for an automated process to create a "pluggable" optical amplifier module of small form factor proportions.

    Abstract translation: 光放大器模块被配置为至少包括输入级和输出级的多级自由空间光学装置。 实际的放大由耦合到模块的单独的基于光纤的组件提供。 传输的光输入信号和泵浦光被提供到输入级，放大的光信号离开输出级。 通过将自由空间光束引导通过分立的光学部件来提供在每个阶段中对信号执行的必要操作。 离散光学部件和自由空间光束的利用显着减少了现有技术的放大器模块中所需的光纤接头和其他类型的耦合连接的数量，允许自动化过程创建小尺寸比例的“可插拔”光放大器模块 。

    WAVELENGTH CONVERSION DEVICE
    6.
    发明申请
    WAVELENGTH CONVERSION DEVICE 审中-公开
    波长转换器件

    公开(公告)号：WO2015125635A3

    公开(公告)日：2015-10-15

    申请号：PCT/JP2015053461

    申请日：2015-02-09

    Applicant: SPECTRONIX CORP

    Inventor： OKADA JOJI ,  ORII YOSUKE ,  MATSUBARA SHOJI

    IPC: G02F1/37

    CPC classification number: G02F1/37 ,  G02F1/3501 ,  G02F2001/3505 ,  G02F2001/3507 ,  H01S3/0064 ,  H01S3/0085 ,  H01S3/0092 ,  H01S3/06758 ,  H01S3/094003 ,  H01S3/094076 ,  H01S3/09415 ,  H01S3/10007 ,  H01S3/1611 ,  H01S3/1618 ,  H01S3/2316 ,  H01S3/2333 ,  H01S3/2375 ,  H01S5/06216 ,  H01S2301/02

    Abstract: a wavelength conversion device (1F) with which it is possible to avoid situations in which optical elements and the like are exposed to outside air, causing deterioration, and with which the conversion operation of nonlinear optical elements can be carried out rapidly, wherein a casing (700) is divided into regions by a partition wall (730), with one being provided with an incident window (720) and the other provided with an exit window (750). The wavelength conversion device comprises: a housing (80) that houses a nonlinear optical element (70); a stage (71) that is detachably fixed to the housing and that moves, together with the housing, a nonlinear optical element, in a direction that intersects with the optical axis of laser light that has entered from the incident window (720); optical systems (M5, M6) that guide laser light that has passed through openings (740) formed in the partition wall after being emitted from the housing (80) to the exit window (750); and a flexible tube (800) that connects the housing and the opening (740) formed in the partition wall. Purge gas supplied from the purge gas supply unit (910) to the housing (80) is supplied via a flexible tube to the other regions of the casing.

    Abstract translation: 可以避免光学元件等暴露于外部空气的情况的波长转换装置（1F），导致劣化，并且可以快速地执行非线性光学元件的转换操作，其中壳体 （700）通过分隔壁（730）分成区域，一个设置有入射窗（720），另一个设置有出射窗（750）。 波长转换装置包括：容纳非线性光学元件（70）的壳体（80）; 能够可拆卸地固定到壳体并且与壳体一起沿与从入射窗（720）进入的激光的光轴相交的方向移动非线性光学元件的台（71）; 在从壳体（80）发射到出射窗（750）之后，引导穿过形成在分隔壁上的开口（740）的激光的光学系统（M5，M6）; 以及连接壳体和形成在分隔壁中的开口（740）的柔性管（800）。 从净化气体供给单元（910）供应到壳体（80）的净化气体通过柔性管供给到壳体的其他区域。

    광섬유를 이용한 광 증폭기
    7.
    发明申请
    광섬유를 이용한 광 증폭기 审中-公开
    光学放大器使用光纤

    公开(公告)号：WO2014193197A1

    公开(公告)日：2014-12-04

    申请号：PCT/KR2014/004868

    申请日：2014-05-30

    Applicant: 광주과학기술원

    Inventor： 신우진

    IPC: G02B26/02

    CPC classification number: H01S3/1616 ,  H01S3/0064 ,  H01S3/0675 ,  H01S3/06754 ,  H01S3/06762 ,  H01S3/06783 ,  H01S3/07 ,  H01S3/094003 ,  H01S3/094015 ,  H01S3/094053 ,  H01S3/094084 ,  H01S3/1608

    Abstract: 본 발명은 복수의 희토류 원소가 동시에 첨가된 단일모드 광섬유; 광섬유의 양단에 구비되며 광섬유에서 여기된 일정 파장 대역의 광을 전반사하는 제1 광섬유 격자 및 제2 광섬유 격자; 광섬유 내의 희토류 이온을 여기시키는 펌핑광을 생성하는 펌핑 광원; 및 광섬유와 연결되며 광원으로부터 생성된 광신호와 펌핑 광원에서 출력된 펌핑광을 광섬유로 전달하는 광결합기를 포함하는 광섬유를 이용한 광 증폭기를 제공하여, 복수의 희토류 원소가 첨가된 광섬유를 이용한 간단한 구성으로 효과적인 광신호의 증폭이 가능하다.

    Abstract translation: 本发明提供一种使用光纤的光放大器，该光放大器包括：同时添加多个稀土元素的单模光纤; 设置在光纤两端的第一和第二光纤网格，以全反射在光纤激发的预定波长带的光; 用于产生激发光纤内的稀土离子的泵浦光的泵浦光源; 连接到光纤的光耦合器将由光源生成的光信号和从泵浦光源输出的泵浦光传送到光纤，从而能够有效地放大光信号 通过使用已经添加有多个稀土元素的光纤的简单配置。

    CO2 LASER WITH RAPID POWER CONTROL
    9.
    发明申请
    CO2 LASER WITH RAPID POWER CONTROL 审中-公开
    与快速功率控制CO2激光

    公开(公告)号：WO2013113306A8

    公开(公告)日：2014-01-09

    申请号：PCT/DE2013000069

    申请日：2013-01-31

    Applicant: IAI IND SYSTEMS B V ,  STAUPENDAHL GISBERT

    Inventor： STAUPENDAHL GISBERT

    IPC: H01S3/223 ,  B23K26/02 ,  B23K26/06 ,  H01S3/08

    CPC classification number: B23K26/0626 ,  B23K26/032 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/066 ,  B23K26/067 ,  B23K26/704 ,  H01S3/0064 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/08054 ,  H01S3/10061 ,  H01S3/115 ,  H01S3/117 ,  H01S3/121 ,  H01S3/2232

    Abstract: The invention relates to a CO2 laser which allows for rapid power modulation, particularly highly efficient Q-switching. The key concept is the sub-division of the resonator into a high-power branch, containing inter alia the active medium (1), and a low-power feedback branch (14), in which the power-sensitive beam-shaping elements, particularly the modulators, are arranged. This is made possible by a suitable arrangement of a polarisation beam splitter (5) and a lambda/4-phase shifter (2). The free adjustability of an angle phi between said two components permits the extremely flexible realisation of various operating modes, particularly optimisation of the feedback degree during pulse generation.

    Abstract translation: 本发明是一种CO 2激光器，其允许快速功率调制，特别是高效率的Q开关。 其核心思想是谐振器的划分在一个高性能的分支，其中除其他外， 激活介质（1），和一个低功耗的反馈支路（14），其中，用于光束整形性能敏感元件，特别是调制器布置。 这是通过一个偏振分束器（5）和一个lambda / 4移相器（2）的一个合适的布置成为可能。 这两个部件之间的角度披的自由调节性允许非常灵活的实现不同的操作模式的，特别是在反馈脉冲发生的程度的优化。

    LASER APPARATUS
    10.
    发明申请
    LASER APPARATUS 审中-公开
    激光装置

    公开(公告)号：WO2013144677A8

    公开(公告)日：2013-11-21

    申请号：PCT/IB2012002758

    申请日：2012-12-19

    Applicant: GIGAPHOTON INC

    Inventor： NOWAK KRZYSZTOF ,  WAKABAYASHI OSAMU

    IPC: H01S3/23 ,  G02F1/35 ,  H01S3/00 ,  H01S3/03 ,  H01S3/038 ,  H01S3/041 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/223

    CPC classification number: H01S3/005 ,  H01S3/0064 ,  H01S3/0315 ,  H01S3/038 ,  H01S3/041 ,  H01S3/2232 ,  H01S3/2316 ,  H01S3/2366 ,  H05G2/005 ,  H05G2/008

    Abstract: A laser apparatus may include a master oscillator (310) configured to output a laser beam, at least one amplifier (320) provided in a beam path of the laser beam, at least one saturable absorber gas cell (330) provided downstream from the at least one amplifier (321) and configured to contain a saturable absorber gas for absorbing a part of the laser beam, the part having a beam intensity equal to or lower than a predetermined beam intensity, and a cooling unit (3304,3305) for cooling the saturable absorber gas. The saturable absorber gas cell (330) includes a chamber (3301) filled with saturable absorber gas (3308) and delimited by input/output windows (3302,3303). Furthermore, the chamber comprises a pair of cooling plates (3304,3305). The cooling plates have flow channels (3306,3307) for water cooling.

    Abstract translation: 激光装置可以包括被配置为输出激光束的主振荡器（310），设置在激光束的光束路径中的至少一个放大器（320），设置在激光束的下游的至少一个可饱和吸收器气体单元（330） 至少一个放大器（321），并且被配置为包含用于吸收激光束的一部分的可饱和吸收剂气体，所述部件具有等于或低于预定光束强度的光束强度，以及用于冷却的冷却单元（3304,3305） 可饱和吸收气体。 可饱和吸收器气体池（330）包括填充有可饱和吸收气体（3308）并由输入/输出窗口（3302,3303）限定的室（3301）。 此外，腔室包括一对冷却板（3304,3305）。 冷却板具有用于水冷却的流动通道（3306,3307）。

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