公开(公告)号：WO2015191542A1

公开(公告)日：2015-12-17

申请号：PCT/US2015/034847

申请日：2015-06-09

Applicant: TERADIODE, INC.

Inventor： CHANN, Bien ,  LOCHMAN, Bryan ,  ZHOU, Wang-long

IPC: H01S3/136 ,  G02B6/43

CPC classification number: H01S5/4012 ,  H01S3/005 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/08059 ,  H01S3/08086 ,  H01S3/0826 ,  H01S3/13 ,  H01S5/005 ,  H01S5/02284 ,  H01S5/141 ,  H01S5/4031 ,  H01S5/405 ,  H01S5/4062 ,  H01S5/4068 ,  H01S5/4087

Abstract: In various embodiments, wavelength beam combining laser systems incorporate optics having optical power along the non-WBC direction (and/or the slow-diverging axis) of the combined multi-wavelength beam proximate to or combined with the partially reflective output coupler in order to correct pointing variation in the non-WBC direction (and/or the slow-diverging axis).

Abstract translation: 在各种实施例中，波长束组合激光系统包括具有沿着组合的多波长光束的非WBC方向（和/或慢发散轴）的光功率的光学器件，其接近或与部分反射输出耦合器组合，以便 非WBC方向（和/或慢发散轴）的正确指向变化。

公开(公告)号：WO2014039221A1

公开(公告)日：2014-03-13

申请号：PCT/US2013/054796

申请日：2013-08-13

Applicant: CYMER, LLC

Inventor： SANDTROM, Richard, L.

IPC: G04F7/00 ,  G04F8/00 ,  G02B26/06

CPC classification number: H01S3/13 ,  H01S3/0085 ,  H01S3/11 ,  H01S3/1305 ,  H01S3/136 ,  H01S3/1398 ,  H01S3/2366 ,  H01S3/2383 ,  H05G2/005 ,  H05G2/008

Abstract: A method and apparatus for stabilizing the seed laser in a laser produced jplasma (LPP) extreme ultraviolet (EUV) light system are disclosed, In one embodiment, the cavity length of the laser may be adjusted by means of a movable mirror forming one end of the cavity. The time delay from the release of an output pulse to the Jasing threshold next being reached is measured at different mirror positions, and a mirror position selected which results in a cavity mode being aligned with the gain peak of the laser, thus producing a minimum time delay from an output pulse of the laser to the next lasing threshold, A Q- switch in the laser allows for pre-lasing and thus jitter-free timing of output pulses. Feedback loops keep the laser output at maximum gain and efficiency, and the attenuation and timing at a desired operating point.

Abstract translation: 公开了一种用于在激光产生的激光产生的光致变色（LPP）极紫外（EUV）光系统中稳定种子激光的方法和装置。在一个实施例中，激光器的腔体长度可以通过可移动镜来调节， 空腔。 在不同的反射镜位置处测量从释放输出脉冲到下一次达到的Jasing阈值的时间延迟，并且选择导致腔模式与激光器的增益峰值对准的反射镜位置，从而产生最小时间 从激光器的输出脉冲延迟到下一个激光阈值，激光器中的Q开关允许预激光，从而使输出脉冲无抖动定时。 反馈回路将激光输出保持在最大的增益和效率，以及在所需工作点的衰减和时序。

公开(公告)号：WO2013171929A1

公开(公告)日：2013-11-21

申请号：PCT/JP2012/082647

申请日：2012-12-17

Applicant: 京セラクリスタルデバイス株式会社

Inventor： 若林　小太郎 ,  古堅　由紀子

IPC: G02B26/00 ,  G02B5/28

CPC classification number: G02B5/284 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/26 ,  G02B1/11 ,  H01S3/13 ,  Y10T29/49771 ,  Y10T29/49826

Abstract: エタロン１は、温度上昇変化に対する光路長の変化が正である第１透光体７Ａと、温度上昇変化に対する光路長の変化が負である第２透光体７Ｂと、第１外側面５１Ａを覆う第１反射膜５Ａと、第１内側面５５Ａを覆う第１反射防止膜９Ａと、第２内側面５５Ｂを覆う第２反射防止膜９Ｂと、第１外側面５１Ａを覆う第２反射膜５Ｂとを有する。第１内側面５５Ａと第２内側面５５Ｂとはギャップ５３を挟んで対向している。

Abstract translation: 该标准具（1）具有：第一透光体（7A），光路长度相对于升温变化的变化为正; 相对于升温变化的光路长度的变化为负的第二透光体（7B） 覆盖第一外表面（51A）的第一反射膜（5A）; 覆盖第一内表面（55A）的第一防反射膜（9A）; 覆盖第二内表面（55B）的第二防反射膜（9B）; 和覆盖第一外表面（51A）的第二反射膜（5B）。 第一内表面（55A）和第二内表面（55B）彼此面对夹着间隙（53）。

公开(公告)号：WO2013162540A1

公开(公告)日：2013-10-31

申请号：PCT/US2012/034933

申请日：2012-04-25

Applicant: HEWLETT-PACKARD DEVELOPMENT COMPANY, L.P. ,  ZHU, Zhubiao ,  ZHOU, Dacheng ,  BERKRAM, Daniel A.

Inventor： ZHU, Zhubiao ,  ZHOU, Dacheng ,  BERKRAM, Daniel A.

IPC: H01S3/10 ,  H01S5/06 ,  H01S3/13

CPC classification number: H01S5/06 ,  H01S3/13 ,  H01S3/1306 ,  H01S3/131 ,  H01S5/068 ,  H01S5/06832 ,  H01S5/183 ,  H01S5/423 ,  H04B10/564

Abstract: Methods, systems, and computer-readable media are provided for operating a vertical-cavity surface-emitting laser. Operating a vertical-cavity surface-emitting laser can include sending a signal to a driver to decrease an optical power of a vertical cavity surface emitting laser transmitter, and sending a signal to the driver associated with increasing the optical power by a particular amount in response to determining that the optical power is insufficient for reception by a receiver.

Abstract translation: 提供了用于操作垂直腔表面发射激光器的方法，系统和计算机可读介质。 操作垂直腔表面发射激光器可以包括向驾驶员发送信号以降低垂直腔表面发射激光发射器的光功率，并且向响应于发射信号的光功率增加特定量发送信号到驱动器 以确定光功率不足以用于接收机的接收。

公开(公告)号：WO2013157942A1

公开(公告)日：2013-10-24

申请号：PCT/NL2013/050276

申请日：2013-04-17

Applicant: NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO

Inventor： NIEUWLAND, Remco Alexander ,  DE BOER, Bart Michiel

IPC: H01S5/062 ,  H01S5/14 ,  G01J3/28

CPC classification number: G01N21/255 ,  G01J9/0246 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/08 ,  G01N2201/12 ,  H01S3/13 ,  H01S5/0014 ,  H01S5/0622 ,  H01S5/0687 ,  H01S5/14

Abstract: There is provided a frequency tunable laser system (1) comprising a laser, frequency varying means (6) arranged for varying an optical frequency output of the laser (2), an intensity sensor (7m) arranged for receiving light (5b) from the laser (2), and a processor (8) arranged for controlling the frequency varying means (6) for varying the optical frequency output of the laser (2) and receiving an intensity signal (Sm) from the intensity sensor (7m) for monitoring the intensity output of the laser (2). The frequency tunable laser system (1) further comprises an external reflective surface (9), in use, fixedly arranged in a light path of the laser beam (5) outside the laser cavity (9) at a predefined distance (L) from the second reflective surface (2b) along the light path of the laser beam (5) to reflect part (5') of the emitted laser beam (5) back into the laser cavity (9). The processor (8) is further arranged for processing the intensity signal (Sm) and registering oscillations of the intensity output (I) caused by interference of the reflected part (5') of the laser beam (5) in the cavity (9) and responsive to a change in optical frequency and calculating the change in optical frequency output from the registered oscillations of the intensity output and predefined distance (L).

Abstract translation: 提供了一种包括激光器的频率可调激光器系统（1），用于改变激光器（2）的光频率输出的频率变化装置（6），布置成用于从所述激光器接收光（5b）的强度传感器（7m） 激光器（2）和处理器（8），其被布置用于控制用于改变激光器（2）的光频率输出并且从强度传感器（7m）接收用于监视的强度信号（Sm）的频率变化装置（6） 激光器的强度输出（2）。 频率可调激光系统（1）还包括外部反射表面（9），该外部反射表面（9）在使用中以距离激光腔（9）的预定距离（L）固定地布置在激光器腔（9）外部的激光束（5）的光路中 沿着激光束（5）的光路的第二反射表面（2b），以将发射的激光束（5）的部分（5'）反射回激光腔（9）。 处理器（8）还被布置成用于处理强度信号（Sm）并且记录由激光束（5）的反射部分（5）在空腔（9）中的干涉引起的强度输出（I）的振荡， 并且响应于光频率的变化并计算从强度输出和预定距离（L）的注册振荡的光频率输出的变化。

公开(公告)号：WO2012042249A1

公开(公告)日：2012-04-05

申请号：PCT/GB2011/051812

申请日：2011-09-26

Applicant: OCLARO TECHNOLOGY LIMITED ,  WHITBREAD, Neil, David ,  CARTER, Andrew, Cannon

Inventor： WHITBREAD, Neil, David ,  CARTER, Andrew, Cannon

IPC: H01S5/026 ,  H01S5/0625 ,  H01S5/40 ,  H01S5/06 ,  H01S5/00 ,  H01S5/042

CPC classification number: H01S3/13 ,  H01S5/0085 ,  H01S5/026 ,  H01S5/0265 ,  H01S5/042 ,  H01S5/0612 ,  H01S5/06256 ,  H01S5/1209 ,  H01S5/4012 ,  H01S5/4031 ,  H04J14/02

Abstract: There is described a laser assembly for providing light at a switchable output wavelength. The assembly comprises first and second tuneable lasers (101, 201), each configurable to emit light at a laser wavelength chosen from a range of wavelengths. Light is transmitted from the first laser while the second laser is retuned to change the chosen laser wavelength thereof. Each laser comprises one or more thermally sensitive control components for controlling the operation of the laser and an additional component electrode (104, 204) located adjacent to at least one of the one or more control components (103, 203). The laser is configured so that the sum of electrical currents supplied to each control component (103, 203) and its corresponding additional component (104, 204) remains substantially constant in use. Switching from one laser to the other may be realized by monolithically integrated SOA (108, 208) with adjacent dummy SOA (109, 209) to keep the thermal load of the assembly constant and to prevent a thermal drift after wavelength switching.

Abstract translation: 描述了用于以可切换输出波长提供光的激光组件。 该组件包括第一和第二可调谐激光器（101,201），每个可调激光器可配置成以从波长范围选择的激光波长发射光。 光从第一激光器传输，而第二激光器被重新调整以改变其选择的激光波长。 每个激光器包括用于控制激光器的操作的一个或多个热敏感控制部件和与一个或多个控制部件（103,203）中的至少一个相邻定位的附加部件电极（104,204）。 激光器被配置为使得提供给每个控制部件（103,203）及其对应的附加部件（104,204）的电流的总和在使用中保持基本恒定。 从一个激光器切换到另一个激光器可以通过具有相邻虚拟SOA（109,209）的单片集成SOA（108,208）来实现，以保持组件的热负载恒定并且防止波长切换之后的热漂移。

公开(公告)号：WO2007097855A2

公开(公告)日：2007-08-30

申请号：PCT/US2007001667

申请日：2007-01-22

Applicant: CYMER INC ,  DUNSTAN WAYNE J ,  JACQUES ROBERT N ,  RAO RAJASEKHAR M ,  TRINTCHOUK FEDOR B

Inventor： DUNSTAN WAYNE J ,  JACQUES ROBERT N ,  RAO RAJASEKHAR M ,  TRINTCHOUK FEDOR B

IPC: H01S3/13

CPC classification number: H01S3/13 ,  G03F7/70575 ,  H01S3/134 ,  H01S3/136

Abstract: According to aspects of an embodiment of the disclosed subject matter, a line narrowed high average power high pulse repetition laser micro-photolithography light source bandwidth control method and apparatus are disclosed which may comprise a bandwidth metrology module measuring the bandwidth of a laser output light pulse beam pulse produced by the light source and providing a bandwidth measurement; a bandwidth error signal generator receiving the bandwidth measurement and a bandwidth setpoint and providing a bandwidth error signal; an active bandwidth controller providing a fine bandwidth correction actuator signal and a coarse bandwidth correction actuator signal responsive to the bandwidth error. The fine bandwidth correction actuator and the coarse bandwidth correction actuator each may induce a respective modification of the light source behavior that reduces bandwidth error. The coarse and fine bandwidth correction actuators each may comprise a plurality of bandwidth correction actuators.

Abstract translation: 根据所公开主题的实施例的方面，公开了一种窄的高平均功率高脉冲重复激光微光刻光源带宽控制方法和装置，其可以包括测量激光输出光脉冲带宽的带宽测量模块 由光源产生的光束脉冲并提供带宽测量; 接收带宽测量和带宽设定点并提供带宽误差信号的带宽误差信号发生器; 有源带宽控制器提供精细的带宽校正致动器信号和响应于带宽误差的粗略带宽校正致动器信号。 精细带宽校正致动器和粗带宽校正致动器各自可以引起减少带宽误差的光源特性的相应修改。 粗略和精细带宽校正致动器各自可以包括多个带宽校正致动器。

公开(公告)号：WO2007052702A1

公开(公告)日：2007-05-10

申请号：PCT/JP2006/321862

申请日：2006-11-01

Applicant: 松下電器産業株式会社 ,  古屋 博之 ,  水内 公典 ,  山本 和久

Inventor： 古屋 博之 ,  水内 公典 ,  山本 和久

IPC: G02F1/37

CPC classification number: G02F1/353 ,  G02B6/02204 ,  G02F2201/305 ,  H01S3/0675 ,  H01S3/13 ,  H01S3/1317

Abstract: 　Ｗ級の高出力の波長変換光を得ようとすると、波長変換素子の内部温度の上昇量が大きくなって位相整合波長の変動量が大きくなり過ぎ、基本波の波長と位相整合波長とを一致させることが難しい。このため、ファイバに希土類元素を設定した濃度でドーピングすることにより、ファイバを伝播する基本波または励起光の出力の一部を吸収し、吸収により生じた熱で加熱してファイバグレーティングの温度を上昇させる。このことにより、グレーティング間隔を拡げてファイバグレーティングで得られる基本波の波長と、波長変換素子で変換可能な位相整合波長と略一致させて、Ｗ級までの安定した高出力が得られる波長変換装置を実現する。

Abstract translation: 当尝试获得等级W的高输出波长转换光时，波长转换元件的内部温度显着上升，引起相位匹配波长的不适当的变化，从而难以将基波的波长与相位匹配波长 。 因此，通过用设定浓度的稀土元素掺杂纤维来吸收在纤维上传播的基波或泵浦光的一部分，并且通过通过吸收产生的热量来加热纤维来提高纤维光栅的温度。 因此，通过光栅间隔加宽而获得的基波的波长基本上与能够被波长转换元件转换的相位匹配波长相匹配，并且提供确保稳定的高输出达到等级W的波长转换器 。

公开(公告)号：WO02056432A1

公开(公告)日：2002-07-18

申请号：PCT/US2001/031353

申请日：2001-10-05

IPC: H01S3/225 ,  G02B5/18 ,  G02B27/44 ,  G03F7/20 ,  H01S3/03 ,  H01S3/034 ,  H01S3/08 ,  H01S3/081 ,  H01S3/086 ,  H01S3/13 ,  H01S3/134 ,  H01S3/137 ,  H01S3/139 ,  H01S3/10

CPC classification number: H01S3/13 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70575 ,  H01S3/02 ,  H01S3/03 ,  H01S3/0401 ,  H01S3/08059 ,  H01S3/0812 ,  H01S3/086 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/134 ,  H01S3/139 ,  H01S3/1392 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2256

Abstract: A smart laser having automatic computer control of pulse energy, wavelength and bandwidth using feedback signals from a wavemeter. Pulse energy is controlled by controlling discharge voltage, wavelength by controlling the position of an RMAX mirror and bandwidth is controlled by adjusting the curvature of a grating (82) to shapes more complicated than simple convex or simple concave. A preferred embodiment provides seven piezoelectric driven pressure-tension locations(84) on the back side of the grating(82) at 5 horizontal locations to produce shapes such as S shapes, W shapes and twisted shapes. Preferred embodiment include automatic feedback control of horizontal and vertical beam profile by automatic adjustment of a prism plate on which beam expander prisms are located and automatic adjustment of the RMAX tilt.

Abstract translation: 智能激光器具有使用来自波形计的反馈信号自动计算脉冲能量，波长和带宽的计算机控制。 通过控制RMAX镜的位置来控制放电电压，波长来控制脉冲能量，并且通过调整光栅（82）的曲率使形状比简单的凸形或简单凹形形状更复杂来控制带宽。 优选实施例在5个水平位置处在光栅（82）的背侧提供七个压电驱动压力 - 张力位置（84），以产生诸如S形，W形和扭曲形状的形状。 优选的实施例包括通过自动调整光束扩展器棱镜所在的棱镜板并自动调整RMAX倾斜来自动反馈控制水平和垂直光束轮廓。

公开(公告)号：WO01020733A1

公开(公告)日：2001-03-22

申请号：PCT/JP2000/005875

申请日：2000-08-30

IPC: B23K26/06 ,  G02F1/35 ,  G03F7/20 ,  H01S3/067 ,  H01S3/13 ,  H01S3/131 ,  H01S3/23 ,  G02F1/01 ,  G02F1/37 ,  H01S3/00

CPC classification number: H01S3/1301 ,  B23K26/064 ,  B23K26/0643 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/0665 ,  G02F2001/354 ,  G03F7/70058 ,  G03F7/70566 ,  G03F7/70575 ,  H01S3/06758 ,  H01S3/13 ,  H01S3/1305 ,  H01S3/1312 ,  H01S3/2383

Abstract: A light source (16) comprises a light producing unit (160) having a single wavelength producing light source (160A) and a light modulator (160c) for converting light from the light source to an optical pulse and outputting the optical pulse, an optical amplifying unit (161) having a group of optical fibers each provided with a fiber amplifier for amplifying the optical pulse from the light modulator, and a light intensity control unit (16c). The light intensity control unit (16c) controls stepwise the intensity of light outputted from each optical fiber by turning on/off the output separately and controls the intensity of light such as at least either the control of frequency of the optical pulse from the light modulator or the peak power thereof. Therefore it is possible to adjust minutely the intensity of light at each stage, in addition to the stepwise control of intensity of light, by controlling at least either the frequency of the optical pulse or the peak power thereof, thereby enabling the intensity of light to be controlled to any preset intensity if the intensity of light is in a predetermined range.

Abstract translation: 光源（16）包括具有单波长产生光源（160A）的光产生单元（160）和用于将来自光源的光转换成光脉冲并输出光脉冲的光调制器（160c） 具有一组光纤的放大单元（161），每个光纤设置有用于放大来自光调制器的光脉冲的光纤放大器，以及光强度控制单元（16c）。 光强度控制单元（16c）通过分开地导通/关闭输出来逐步地控制从每个光纤输出的光的强度，并且控制光的强度，例如来自光调制器的光脉冲的频率的控制 或其峰值功率。 因此，除了通过控制光脉冲的频率或其峰值功率的至少一个以外，还可以通过控制光强度的逐渐控制，从而能够精确地调整各级的光强度，从而能够使光的强度 如果光强度在预定范围内，则被控制到任何预设强度。