发明公开
- 专利标题: 一种TOPCon电池结构及其制备方法
-
申请号: CN202311188579.4申请日: 2023-09-14
-
公开(公告)号: CN117117038A公开(公告)日: 2023-11-24
- 发明人: 陈骏 , 赵增超 , 李兵 , 沈永臻 , 刘湘祁 , 周小荣 , 黄嘉斌 , 谢湘洲 , 邓新新
- 申请人: 湖南红太阳光电科技有限公司
- 申请人地址: 湖南省长沙市高新区麓谷街道东方红中路559号
- 专利权人: 湖南红太阳光电科技有限公司
- 当前专利权人: 湖南红太阳光电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 湖南省长沙市高新区麓谷街道东方红中路559号
- 代理机构: 湖南兆弘专利事务所
- 代理商 何文红
- 主分类号: H01L31/18
- IPC分类号: H01L31/18 ; H01L31/0236 ; H01L31/068 ; H01L31/0216
摘要:
本发明公开了一种TOPCon电池结构及其制备方法,包括以下步骤:对硅基体双面制绒;在正面依次沉积隧穿氧化硅层、硼掺杂非晶硅层、碱刻蚀阻挡层和硼掺杂非晶硅层;在正面栅线区域进行图形化掩膜、碱刻蚀;去除正面栅线区域的图形化掩膜;在背面制备隧穿氧化硅层和磷掺杂非晶硅层,退火处理;在沉积钝化层、减反层、印刷电极,烧结和注入。本发明,采用图形化掩膜+碱刻蚀阻挡层+碱刻蚀的方法在正面形成图案化的poly‑finger结构,有利于显著提升电池效率,也能够有效拓宽工艺窗口,具有工艺简单、工艺窗口宽、易于操作、能耗低、易量产等优点,有利于降低制备成本和制备难度,可实现TOPCon电池的批量化生产以及广泛应用。
IPC分类: