一种TOPCon电池结构及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种TOPCon电池结构及其制备方法,包括以下步骤:对硅基体双面制绒;在正面依次沉积隧穿氧化硅层、硼掺杂非晶硅层、碱刻蚀阻挡层和硼掺杂非晶硅层;在正面栅线区域进行图形化掩膜、碱刻蚀;去除正面栅线区域的图形化掩膜;在背面制备隧穿氧化硅层和磷掺杂非晶硅层,退火处理;在沉积钝化层、减反层、印刷电极,烧结和注入。本发明,采用图形化掩膜+碱刻蚀阻挡层+碱刻蚀的方法在正面形成图案化的poly‑finger结构,有利于显著提升电池效率,也能够有效拓宽工艺窗口,具有工艺简单、工艺窗口宽、易于操作、能耗低、易量产等优点,有利于降低制备成本和制备难度,可实现TOPCon电池的批量化生产以及广泛应用。
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