本发明公开了一种LPCVD设备在线等离子清洗装置及清洗方法，装置的加热炉体同轴嵌套在石英反应炉外周，石英反应炉的炉口设有炉口门板和炉门，炉门上设有进气孔，炉尾门板上设有抽气管；炉口门板上设有与射频电源组件连接的电极引入插座，炉门上设有相互连接的电极柱和I CP发生器，I CP发生器环绕在石英管进气端的外周，石英管的排气端贯穿炉门；关闭炉门，电极柱插入电极引入插座内，I CP发生器与射频电源组件连接，石英管延伸至石英反应炉内，在石英管内通入氟化物气体，并开启射频电源组件，在I CP发生器的作用下，氟化物气体形成含氟等离子体，以实现石英反应炉在线清洗。本发明具有结构紧凑、便于维护、清洗效率高等优点。