基板处理方法及基板处理装置

    公开(公告)号:CN111952218A

    公开(公告)日:2020-11-17

    申请号:CN202010406079.3

    申请日:2020-05-14

    IPC分类号: H01L21/67

    摘要: 本发明涉及基板处理方法和基板处理装置。提供了一种用于处理基板的方法。所述方法包括,在所述基板旋转的情况下,将第一处理液供应至所述基板的处理目标表面;和随后,在处于蒸汽状态的蒸发抑制剂存在于供应至所述基板的所述第一处理液的周围的情况下,将具有比所述第一处理液的表面张力低的表面张力的第二处理液供应至所述基板,使得所述基板上的所述第一处理液被所述第二处理液替代。因此,可以在施用到基板的清洁液周围形成蒸汽气氛。因此,可以在清洁液被有机溶剂替代的过程中,防止液膜破坏现象。

    基板处理方法及基板处理装置

    公开(公告)号:CN111952218B

    公开(公告)日:2024-08-27

    申请号:CN202010406079.3

    申请日:2020-05-14

    IPC分类号: H01L21/67

    摘要: 本发明涉及基板处理方法和基板处理装置。提供了一种用于处理基板的方法。所述方法包括,在所述基板旋转的情况下,将第一处理液供应至所述基板的处理目标表面;和随后,在处于蒸汽状态的蒸发抑制剂存在于供应至所述基板的所述第一处理液的周围的情况下,将具有比所述第一处理液的表面张力低的表面张力的第二处理液供应至所述基板,使得所述基板上的所述第一处理液被所述第二处理液替代。因此,可以在施用到基板的清洁液周围形成蒸汽气氛。因此,可以在清洁液被有机溶剂替代的过程中,防止液膜破坏现象。

    基因扩增芯片、基因扩增设备和用于生物颗粒分析的设备

    公开(公告)号:CN117701374A

    公开(公告)日:2024-03-15

    申请号:CN202310031416.9

    申请日:2023-01-10

    摘要: 公开了基因扩增芯片、基因扩增设备和用于生物颗粒分析的设备。所述基因扩增芯片包括腔室层、覆盖层、底层、入口和出口。腔室层具有第一通路和形成在第一通路的一侧上的通孔。覆盖层被设置在腔室层的一侧上,并且具有形成为与第一通路和通孔连通的覆盖通道,其中,覆盖通道、第一通路和通孔允许液体以划分的方式通过。底层被设置在腔室层的另一侧上,并且具有形成为与第一通路和通孔连通的底部通道。入口形成在覆盖层中并与覆盖通道连通。出口与覆盖通道和底部通道中的任何一个连通。

    用于检测细颗粒的设备和方法
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118294327A

    公开(公告)日:2024-07-05

    申请号:CN202310820202.X

    申请日:2023-07-05

    IPC分类号: G01N15/00

    摘要: 提供了一种被用于检测细颗粒的设备和方法,所述设备包括:细颗粒捕集器,包括被配置为捕获所述细颗粒的多个通孔;测量器,包括光源和检测器,光源被配置为将光发射到所述多个通孔,检测器被配置为检测通过所述多个通孔散射、反射或透射的光并测量光谱;以及处理器,被配置为:基于测量的光谱来估计被捕获到所述多个通孔中的所述细颗粒的数量,其中,所述多个通孔具有等于或小于10μm的直径。

    用于生物颗粒检测的设备
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116840130A

    公开(公告)日:2023-10-03

    申请号:CN202211226627.X

    申请日:2022-10-09

    摘要: 提供用于生物颗粒检测的设备。用于生物颗粒检测的设备包括:生物颗粒检测芯片,包括具有多个通孔组的基底,所述多个通孔组中的每个通孔组包括通孔,通孔从基底的第一表面朝向基底的与第一表面背对的第二表面穿过基底,并且通孔被配置为容纳装载到其中的样本溶液;以及处理器,被配置为:基于与所述多个通孔组中的至少一个通孔组的通孔对应的电信号和光学信号中的至少一个来确定所述至少一个通孔组的通孔之中的具有包封在其中的靶材料的通孔的数量,并且基于确定的数量来估计所述靶材料的浓度。