公开(公告)号：CN102127748A

公开(公告)日：2011-07-20

申请号：CN201110029291.3

申请日：2011-01-11

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 朴铉淑 ,  曹昌睦 ,  康熙哲 ,  李润美 ,  成沄澈 ,  崔镕燮 ,  金钟宪 ,  柳在光

IPC: C23C16/04 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52

CPC classification number: C23C14/24 ,  C23C14/042 ,  H01L51/001

Abstract: 本发明公开了一种薄膜沉积设备，所述薄膜沉积设备可被简单应用于大规模生产大尺寸显示装置并提高生产率。薄膜沉积设备包括：沉积源，排出沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧并包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，被设置成与所述沉积源喷嘴单元相对，所述图案化缝隙片包括沿与第一方向垂直的第二方向布置的多个图案化缝隙。在基底或者薄膜沉积设备沿第一方向彼此相对移动的同时执行沉积，沉积源、沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片彼此一体地形成。

公开(公告)号：CN101844865A

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：CN201010143475.8

申请日：2010-03-25

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 李炫澈 ,  卢喆来 ,  韩圭完 ,  明承镐 ,  金钟宪 ,  金俊亨 ,  金成坤 ,  李榕秦

IPC: C03B33/09

CPC classification number: C03B33/091 ,  H01L51/56 ,  H01L2251/566 ,  H05K3/0029 ,  H05K3/0052 ,  H05K2203/1121

Abstract: 本发明公开一种基板切割装置和一种使用该基板切割装置切割基板的方法。该基板切割装置，包括：用于支撑基板的台；用于发射激光束的激光发生器；光束振荡器，用于在所述基板的切割线上振荡所述激光束，以加热所述基板；以及用于冷却加热基板的冷却单元。

公开(公告)号：CN102005541A

公开(公告)日：2011-04-06

申请号：CN201010266406.6

申请日：2010-08-27

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 赵昌睦 ,  金钟宪 ,  崔镕燮 ,  金相洙 ,  姜熙哲 ,  崔永默

IPC: H01L51/56 ,  H01L27/32 ,  H01L21/82

CPC classification number: H01L33/005 ,  C23C14/042 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  C23C14/246 ,  C23C14/568 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67225 ,  H01L21/67236 ,  H01L21/6831 ,  H01L27/3211 ,  H01L51/001 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明公开了一种用来大规模地制造大基底并能够具有高清晰度图案化的薄膜沉积设备和一种使用该薄膜沉积设备制造有机发光显示设备的方法，所述薄膜沉积设备包括：装载单元，将基底固定到静电吸盘上；沉积单元，包括保持在真空状态的室和设置在室中的薄膜沉积组件，用来将薄膜沉积在固定于静电吸盘上的基底上，薄膜沉积组件与基底分开预定的距离；卸载单元，将完成了沉积工艺的基底与静电吸盘分离；第一循环单元，将固定有基底的静电吸盘顺序地移动到装载单元、沉积单元和卸载单元；第二循环单元，将与基底分离的静电吸盘从卸载单元返回到装载单元，其中，第一循环单元在穿过沉积单元时穿过室。

公开(公告)号：CN101997092A

公开(公告)日：2011-03-30

申请号：CN201010263417.9

申请日：2010-08-25

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 柳在光 ,  朴铉淑 ,  李润美 ,  金钟宪 ,  金相洙 ,  吴枝淑

IPC: H01L51/56 ,  H01L27/32 ,  H01L21/82

CPC classification number: C23C14/243 ,  C23C14/042 ,  C23C14/12 ,  C23C14/562 ,  H01L27/3244 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明提供一种薄膜沉积设备和制造有机发光显示装置的方法。提供了一种可以应用于大规模制造大尺寸显示装置并改善了生产率的薄膜沉积设备和通过利用该薄膜沉积设备来制造有机发光显示装置的方法。所述方法包括如下步骤：将基底布置为与薄膜沉积设备分开预定距离；在薄膜沉积设备或基底相对于彼此移动的同时将从薄膜沉积设备排放的沉积材料沉积在基底上。

公开(公告)号：CN102094167A

公开(公告)日：2011-06-15

申请号：CN201010589194.5

申请日：2010-12-10

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 金俊亨 ,  曹永根 ,  申义信 ,  金钟宪 ,  崔丞镐 ,  卢喆来 ,  曹昌睦 ,  朴宰奭

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/24 ,  B23K26/24

CPC classification number: B23K26/402 ,  B23K26/032 ,  B23K26/066 ,  B23K26/0661 ,  B23K26/702 ,  B23K2103/50 ,  H01L51/0011

Abstract: 本发明提供了一种用于蒸发的掩模以及一种用于制造该掩模的方法和装置。该掩模包括第一分离掩模和第二分离掩模。第一分离掩模和第二分离掩模通过焊接彼此直接结合，由此在第一分离掩模和第二分离掩模之间形成焊接部分。根据实施例的分离掩模不使用子框架，并且通过焊接彼此直接结合，从而不发生阴影效应。用于制造用于蒸发的掩模的装置包括：工作台；夹具，将第一分离掩模和第二分离掩模固定到工作台；激光焊接部分，将第一分离掩模焊接到第二分离掩模。所述装置还可以包括引导激光焊接部分的第一辊和跟随激光焊接部分的第二辊。

公开(公告)号：CN101997091A

公开(公告)日：2011-03-30

申请号：CN201010262640.1

申请日：2010-08-24

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 金钟宪 ,  朴铉淑 ,  柳在光 ,  康熙哲 ,  吴枝淑

IPC: H01L51/56 ,  H01L27/32 ,  H01L21/82

CPC classification number: C23C14/042 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明公开了一种薄膜沉积设备、一种使用该薄膜沉积设备制造有机发光显示装置的方法和一种使用该方法制造的有机发光显示装置。薄膜沉积设备包括薄膜沉积组件，所述薄膜沉积组件包括：沉积源，排出沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧，并且包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，与沉积源喷嘴单元相对地设置，并且包括沿第一方向布置的多个图案化缝隙；障碍板组件，包括多个障碍板，多个障碍板沿第一方向设置在沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间并且将沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间划分为多个子沉积空间，其中，每个障碍板与图案化缝隙片分开。

公开(公告)号：CN101997090A

公开(公告)日：2011-03-30

申请号：CN201010248429.4

申请日：2010-08-05

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 吴枝淑 ,  崔镕燮 ,  金钟宪 ,  康熙哲 ,  李润美 ,  曹昌睦

IPC: H01L51/56 ,  H01L51/50

CPC classification number: H01L51/001 ,  C23C14/042 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  H01L27/3211 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明提供一种薄膜沉积设备和利用该薄膜沉积设备制造有机发光显示装置的方法。薄膜沉积设备包括多个薄膜沉积组件，每个薄膜沉积组件包括：沉积源，排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧，并包括多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，设置为面对沉积源喷嘴单元，并包括沿第一方向布置的多个图案化缝隙；障碍板组件，设置在沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间。障碍板组件包括将沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间划分为多个子沉积空间的多个障碍板。